{"id":213379,"date":"2014-02-28T11:59:03","date_gmt":"2014-02-28T07:59:03","guid":{"rendered":"http:\/\/savepearlharbor.com\/?p=213379"},"modified":"-0001-11-30T00:00:00","modified_gmt":"-0001-11-29T21:00:00","slug":"","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/savepearlharbor.com\/?p=213379","title":{"rendered":"<span class=\"post_title\">\u0412\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438: \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043a\u043e\u0432\u0430\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u043e\u0442 Mapper Lithography<\/span>"},"content":{"rendered":"<div class=\"content html_format\">   \t<img decoding=\"async\" src=\"http:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/post_images\/664\/6fc\/469\/6646fc469df39edd58ff212df4d48334.png\" align=\"right\"\/>\u041a\u0442\u043e-\u0442\u043e \u0432\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u043e \u0443\u0436\u0435 \u0441\u043b\u044b\u0448\u0430\u043b \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0420\u043e\u0441\u043d\u0430\u043d\u043e \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435 2012-\u0433\u043e \u0433\u043e\u0434\u0430 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0430 \u0432 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044e-\u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Mapper Lithography. \u0427\u0442\u043e \u0438 \u043a\u0430\u043a \u043e\u043d\u0438 \u0434\u0435\u043b\u0430\u044e\u0442, \u0441\u043f\u0430\u0441\u0435\u0442 \u043b\u0438 \u044d\u0442\u043e \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u2014 \u0443\u0437\u043d\u0430\u0435\u043c \u0432 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435.<\/p>\n<p>  <a href=\"http:\/\/habrahabr.ru\/post\/155371\/\">\u041a\u0430\u043a \u043c\u044b \u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c<\/a>, \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u043f\u043e\u0434\u0440\u0430\u0437\u0443\u043c\u0435\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430, \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u043c: \u00ab\u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u00bb \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043e\u0431\u044a\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0435\u0446\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0430. <\/p>\n<p>  \u042d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u044f\u0434 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432: \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0439 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b (\u043e\u043f\u0443\u0441\u0442\u0438\u043c \u0442\u0443\u0442 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430) \u2014 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0442\u043e\u043c\u0443, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u044b \u043e\u0431\u044f\u0437\u0430\u043d\u044b \u0431\u044b\u0442\u044c \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u044b\u043c\u0438, \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d\u044b \u0448\u0442\u0443\u043a, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043e\u043a\u0443\u043f\u0430\u0442\u044c \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432 (\u0434\u043e \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 $ \u043d\u0430 \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u0442\u0438\u043f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b). \u0418 \u0441 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u2014 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u0440\u0438\u0441\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u0421\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0436\u0435 \u0432\u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u0443\u044e \u043f\u043e\u0434\u043e\u0448\u043b\u0430 \u043a \u0442\u0435\u043e\u0440\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0443 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438: ~35nm \u0434\u043b\u044f \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432 NA=1.35 \u0441 ArF \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 193\u043d\u043c \u0438 ~18\u043d\u043c \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u043e\u043c \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u0435 EUV (\u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0432 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u044d\u0442\u043e \u043f\u043e\u043a\u0430 \u043d\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f). <\/p>\n<p>  \u0415\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0430\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u0430: \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 \u043d\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u043c, \u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u043c \u2014 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f. \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0443 \u0433\u043e\u0440\u0430\u0437\u0434\u043e \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430, \u0434\u0430\u0436\u0435 1\u043d\u043c \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430, \u043d\u043e \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0438 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b. <\/p>\n<p>  \u041d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u2014 \u0441\u0438\u043c\u0443\u043b\u044f\u0446\u0438\u044f \u043f\u043e\u043f\u0430\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430 \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442, \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0443 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u044f\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432.<a name=\"habracut\"><\/a><\/p>\n<h1>\u041e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438<\/h1>\n<p><b>\u042d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u044f<\/b><br \/>  \u0414\u043b\u044f \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u00ab\u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u0438\u0442\u044c\u00bb \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 \u2014 \u043d\u0430 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u0443 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u043f\u0430\u0441\u0442\u044c \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432. \u0414\u043b\u044f \u0442\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d-\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u2014 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0430 30 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043a\u0443\u043b\u043e\u043d \u043d\u0430 \u043a\u0432\u0430\u0434\u0440\u0430\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0430\u043d\u0442\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440. \u042d\u0442\u043e \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0434\u0438\u043d \u043b\u0443\u0447 \u0441 \u0442\u043e\u043a\u043e\u043c 10nA (10 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043a\u0443\u043b\u043e\u043d \u0432 \u0441\u0435\u043a\u0443\u043d\u0434\u0443) \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u0438\u0442 300\u043c\u043c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044c\u044e 706 \u0441\u043c<sup>2<\/sup> \u0437\u0430 706*30\/(10*0.001) = 24 \u0434\u043d\u044f. \u0418 \u044d\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 \u043d\u0443\u0436\u043d\u043e \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e. \u042d\u0442\u043e \u0438 \u0431\u044b\u043b \u043e\u0434\u0438\u043d \u0438\u0437 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 (\u0442\u0430\u043a\u0430\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043d\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0435\u0435 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0430 \u2014 \u0430 \u043e\u043d\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0430\u0432\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u0443\u0436\u0435 \u0432 1965 \u0433\u043e\u0434\u0443).<\/p>\n<p>  \u041c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0442\u043e\u043a \u0432 \u043b\u0443\u0447\u0435?<\/p>\n<p>  <b>\u0422\u043e\u043a \u043b\u0443\u0447\u0430<\/b><br \/>  \u0422\u0443\u0442 \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f 2 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b: \u043a\u0430\u043a \u043c\u044b \u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c, \u043e\u0434\u0438\u043d\u0430\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u044b \u043e\u0442\u0442\u0430\u043b\u043a\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f. \u0421\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0442\u0435 \u00ab\u0440\u0430\u0441\u0442\u0430\u043b\u043a\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u00bb \u0434\u0440\u0443\u0433 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0430 \u0438 \u0434\u0435\u043b\u0430\u044e\u0442 \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u0448\u0438\u0440\u0435. \u0427\u0435\u043c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0442\u043e\u043a (=\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0442\u0435) \u2014 \u0442\u0435\u043c \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442 \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f. \u0421\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e, \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0442\u043e\u043a \u0431\u0435\u0437 \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435 \u0432\u044b\u0439\u0434\u0435\u0442. <\/p>\n<p>  \u041d\u0443 \u0438 \u043d\u0430\u043a\u043e\u043d\u0435\u0446, \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u0441 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043c \u0442\u043e\u043a\u043e\u043c \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 \u2014 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0436\u0430\u0440\u0438\u0442\u044c\/\u0438\u0441\u043f\u0430\u0440\u0438\u0442\u044c \u0435\u0433\u043e (\u043a\u0430\u043a \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0432\u0430\u0440\u043a\u0435). <\/p>\n<p>  <b>\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442<\/b><br \/>  \u041e\u0434\u043d\u0430 \u0438\u0437 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0448\u0438\u0445\u0441\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c \u2014 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u043f\u0430\u0434\u0430\u043d\u0438\u0438, \u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u043d\u043e \u0442\u0435\u0440\u044f\u044e\u0442 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044e, \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u044f\u0441\u044c \u0432 \u0435\u0433\u043e \u0442\u043e\u043b\u0449\u0435 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u043c\u0435\u043d\u044f\u044f \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u0411\u043e\u0440\u043e\u0442\u044c\u0441\u044f \u0441 \u044d\u0442\u0438\u043c \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u043c \u043e\u0442\u0447\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 (=\u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c) \u2014 \u043d\u043e \u044d\u0442\u043e \u0437\u0430\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0442\u044c \u0438 \u0442\u043e\u043a, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u043d\u0435 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0438 \u00ab\u0440\u0430\u0441\u0442\u0430\u043b\u043a\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u00bb \u0434\u0440\u0443\u0433 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0430 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0442\u0435. Mapper \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044e 5 kV, \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c, \u0432 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u043d\u0430\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0432 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435.<\/p>\n<h1>\u041f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b<\/h1>\n<p>\u0414\u043b\u0430 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 Mapper \u2014 \u0441\u043b\u0435\u0432\u0430, \u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430 \u2014 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043e\u0434\u043d\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f. <br \/>  <img decoding=\"async\" src=\"http:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/post_images\/14a\/372\/b5e\/14a372b5ecff69725d1eea172b5224a7.jpg\"\/> <img decoding=\"async\" src=\"http:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/post_images\/35d\/9c6\/11a\/35d9c611adb053ec59291a0f1cf19e06.png\" align=\"right\"\/><\/p>\n<p>  \u0412 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0435 (\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430) \u2014 \u043b\u0443\u0447 \u043e\u0442 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0443\u0448\u043a\u0438 (\u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0443) \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043b\u0438\u043d\u0437\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043d\u0443\u0436\u043d\u043e\u0435 \u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u043a\u0430\u0442\u0443\u0448\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0434\u0435\u0444\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438. \u041d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u0430\u043a\u0443\u044e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443 \u0431\u044b\u043b\u043e \u0431\u044b \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e \u2014 \u043f\u0440\u0438\u0448\u043b\u043e\u0441\u044c \u0431\u044b \u0432\u0441\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0434\u0443\u0431\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c. <\/p>\n<p>  <img decoding=\"async\" src=\"http:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/post_images\/fba\/c7f\/53d\/fbac7f53d1045665c6b3086a2b341547.jpg\" align=\"right\"\/>\u0423 Mapper \u2014 \u043e\u0434\u0438\u043d \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432, \u043a\u043e\u043b\u043b\u0438\u043c\u0430\u0442\u043e\u0440 (\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043b\u0438\u043d\u0437\u0430, \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0438\u0445 \u0442\u0430\u043a, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u043b\u0441\u044f \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043b\u043b\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432). \u0417\u0430\u0442\u0435\u043c \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u043f\u043e\u043f\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u0443 \u0431\u043b\u0430\u043d\u043a\u0435\u0440\u043e\u0432 (\u043d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e \u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430) \u2014 \u0444\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u0441 \u0434\u044b\u0440\u043a\u0430\u043c\u0438, \u0443 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u2014 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u044f\u044e\u0449\u0438\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434. \u041a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043d\u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434 \u043f\u043e\u0434\u0430\u044e\u0442 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u2014 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0438 \u043d\u0435 \u043f\u043e\u043f\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0434\u0430\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043d\u0438\u043a\u0443\u0434\u0430. \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0442\u043e\u043a\u0430 \u043d\u0435\u0442 \u2014 \u0442\u0430\u043a \u043f\u0430\u0440\u0430\u043b\u043b\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u043c \u0438 \u043b\u0435\u0442\u044f\u0442 \u0434\u0430\u043b\u044c\u0448\u0435. \u0412 \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0431\u044b\u043b\u043e 7&#215;7, \u0441\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441 \u0434\u0435\u043b\u0430\u044e\u0442 \u00ab\u0431\u043e\u0435\u0432\u0443\u044e\u00bb \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443 \u0441 13\u0442\u044b\u0441 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 (\u0444\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u00ab\u0434\u044b\u0440\u043e\u043a\u00bb \u0438 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043a \u043d\u0438\u043c \u0438 \u0432\u0441\u0435). <\/p>\n<p>  \u0418\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e (~2008 \u0433\u043e\u0434) Mapper \u0445\u043e\u0442\u0435\u043b \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u044d\u0442\u0438\u043c\u0438 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430, \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u043e \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0435 \u0432\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0438 \u0438\u0441\u043a\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u00ab\u043d\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0438\u00bb \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u044b.<\/p>\n<p>  \u041f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0434\u0430\u0436\u0435 13000 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 \u043d\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0443 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u043e\u0439 26\u043c\u043c \u0441 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0430 \u2014 \u043d\u0438\u0436\u0435 \u0438\u0434\u0443\u0442 \u0438\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0435\u0444\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u044b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u044f\u0442\u044c \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u043d\u0430 2 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 \u0432\u0434\u043e\u043b\u044c \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0441\u0438 (\u043f\u0435\u0440\u043f\u0435\u043d\u0434\u0438\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b). \u0418 \u043d\u0430\u043a\u043e\u043d\u0435\u0446 \u2014 \u0434\u043b\u044f \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u043b\u0443\u0447\u0430 \u0441\u0432\u043e\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043b\u0438\u043d\u0437\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438. <\/p>\n<p>  \u0412 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u0442\u0430\u043a\u0443\u044e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443 \u043d\u0430\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0449\u0435 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u2014 \u0432\u0441\u0435 \u044d\u0442\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u043a\u0438 \u0441 \u00ab\u0434\u044b\u0440\u043a\u0430\u043c\u0438\u00bb \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e \u0443\u0436\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c MEMS \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c \u043d\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434\u0430\u0445, \u0438 \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u0445 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0438 \u0434\u0430\u043b\u044c\u0448\u0435. \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0430 \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0443\u043f\u0440\u043e\u0449\u0435\u043d\u0430 (=\u0443\u0434\u0435\u0448\u0435\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430) \u2014 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u044f\u0442\u044c \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u043d\u0443\u0436\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0441\u043e\u0432\u0441\u0435\u043c \u043d\u0435\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0435 (2 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u0430), \u0434\u0430 \u0435\u0449\u0435 \u0438 \u0432\u0434\u043e\u043b\u044c \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0441\u0438. <\/p>\n<p>  \u042d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432\u0441\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0443\u0436\u0435 \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u043b\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0430\u043c\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438. \u042d\u0442\u043e\u0442 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0443\u0436\u0435 \u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u044b\u0445 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u0430\u0445 \u2014 \u0442\u0430\u043a \u0447\u0442\u043e \u0442\u0443\u0442 \u0432\u0441\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u0443\u0436\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u044b. <\/p>\n<p>  <img decoding=\"async\" src=\"http:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/post_images\/a69\/fca\/e48\/a69fcae4800b2debcef83d54ffa31409.png\"\/><\/p>\n<h1>\u0420\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u0438 \u0440\u0435\u0437\u044e\u043c\u0435<\/h1>\n<p>\u041f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f \u0443 Mapper \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0435\u0442, \u0445\u043e\u0442\u044f\u0442 \u0434\u043e\u0431\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f 16\u043d\u043c (\u0441 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0435\u0439, \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u043d\u0430 193\u043d\u043c \u0432 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0432\u044b\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0443\u043c 35-40\u043d\u043c). \u041d\u0430 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u043e 2014 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0437\u0430\u043f\u0443\u0441\u043a\u0438 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0441 13\u0442\u044b\u0441 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0435\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043b\u043e\u0436\u043a\u0430 \u0434\u0435\u0433\u0442\u044f: \u0441\u0440\u0430\u0437\u0443 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u043d\u0435\u0433 \u043e\u0442 \u0420\u043e\u0441\u043d\u0430\u043d\u043e \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435 2012 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u043d\u0430 \u0441\u0430\u0439\u0442\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043d\u0435 \u0431\u044b\u043b\u043e \u043d\u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0441\u0442\u0438. \u042f \u0438\u043c 2 \u0440\u0430\u0437\u0430 \u043f\u0438\u0441\u0430\u043b \u043d\u0430 \u044d\u0442\u0443 \u0442\u0435\u043c\u0443 \u2014 \u043c\u043e\u043b\u0447\u0430\u0442 \u043a\u0430\u043a \u0440\u044b\u0431\u0430 \u043e\u0431 \u043b\u0435\u0434. <\/p>\n<p>  \u041f\u0440\u0438 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0420\u043e\u0441\u043d\u0430\u043d\u043e \u043e\u0431\u044f\u0437\u0430\u043b\u043e \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u0435\u0441\u0442\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432 \u0420\u0424, \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0443. \u0421\u0434\u0435\u043b\u0430\u043d\u043e \u0431\u044b\u043b\u043e \u044d\u0442\u043e \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0435\u0442 \u043d\u0435 \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e, \u0432 \u043b\u044e\u0431\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043e\u0434\u043d\u0430 \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438, \u0432 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043c \u043f\u0440\u0438\u0431\u043b\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u044d\u0442\u043e \u0444\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u0441 \u0434\u044b\u0440\u043a\u0430\u043c\u0438. \u0421\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0448\u0430\u0433 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0438, \u0438\u043b\u0438 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0434\u043e\u043b\u044f \u0434\u043e\u0431\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u2014 \u043d\u0435\u043b\u044c\u0437\u044f.<\/p>\n<p>  \u041f\u043e \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u043f\u043f\u0430\u0440\u0430\u0442\u0430 \u2014 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043c\u0443\u044e \u0441 EUV \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0438\u0437 \u0440\u0430\u0441\u0447\u0435\u0442\u0430 \u043d\u0430 1 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 \u0432 \u0447\u0430\u0441 (~500\u0442\u044b\u0441$\/wph). \u0422.\u043a. \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443 Mapper \u043d\u0430 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f 10 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u0447\u0430\u0441, \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043c\u044b\u0445 100 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u0447\u0430\u0441 \u2014 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u0432 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043a\u0437\u0435\u043c\u043f\u043b\u044f\u0440\u0430\u0445.<\/p>\n<p>  \u041a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u043e\u0439\u0434\u0435\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e (2015-2016) \u2014 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0442\u044c \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0439\u0448\u0435\u0433\u043e \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0442.\u043a. \u0442\u0443\u0442 \u043d\u0435\u0442 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u0431\u043e\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0441\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u2014 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 (\u0438 EUV \u0438 ArF \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b \u0441\u0442\u043e\u044f\u0442 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u0434\u0435\u043d\u0435\u0433), \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438 \u0447\u0443\u0434\u043e\u0432\u0438\u0449\u043d\u043e \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u044a\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430 \u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043d\u0443\u0436\u043d\u043e \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c. \u0410 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0430 \u2014 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e \u0445\u043e\u0442\u044c \u0432 \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d\u0435 \u044d\u043a\u0437\u0435\u043c\u043f\u043b\u044f\u0440\u043e\u0432 \u0431\u0435\u0437 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c. <\/p>\n<p>  \u041f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u2014 \u043e\u0431\u0435\u0449\u0430\u0435\u0442 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0441\u043d\u0438\u0437\u0438\u0442\u044c \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0435\u043b\u043a\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c, \u043f\u043e\u044f\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0430\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u0430 FPGA \u0441 \u043d\u0430\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u041e\u043b\u044c\u0448\u0435\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e. <\/p>\n<p>  \u041e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043d\u0440\u0430\u0432\u044f\u0442\u0441\u044f \u0432\u043e\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0438 \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u043f\u0438\u0441\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0443\u044e \u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u0443\u044e \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043f\u0446\u0438\u044e \u00ab\u043c\u0430\u043b\u0435\u043d\u044c\u043a\u043e\u0433\u043e \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0434\u0432\u043e\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u00bb. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e, \u0440\u0430\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0440\u0430\u043d\u043e \u2014 \u0420\u043e\u0441\u043d\u0430\u043d\u043e \u043b\u0438\u0448\u044c \u043e\u0434\u0438\u043d \u0438\u0437 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u0432 \u043b\u044e\u0431\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0432\u044b\u043d\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u0442\u044c \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0432\u0441\u0435\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d, \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435. \u0410 \u044d\u0442\u043e \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0442\u0430\u043a\u0443\u044e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443 \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u043f\u043e \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u0435\u043c\u0443 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u043b\u044f \u0433\u0440\u0430\u0436\u0434\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432, \u0430 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0441 \u043d\u0438\u043c\u0438 (\u0432\u0435\u0440\u043d\u0435\u0435 \u0441 \u0438\u0445 \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c) \u0443 \u043d\u0430\u0441 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430 \u2014 \u043e\u0431 \u044d\u0442\u043e\u043c \u044f \u0435\u0449\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0438\u0448\u0443 \u043f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435. <\/p>\n<p>  <b>\u0421\u0441\u044b\u043b\u043a\u0438<\/b><br \/>  2008: <a href=\"http:\/\/www.sematech.org\/meetings\/archives\/litho\/8352\/pres\/D2_ML_P03_JanKampherbeek.pdf\">MAPPER: High Throughput Maskless Lithography<\/a><br \/>  2010: <a href=\"http:\/\/www.sematech.org\/meetings\/archives\/litho\/8940\/pres\/M_02_Bert%20Jan%20Kampherbeek.pdf\">MAPPER: High Throughput Maskless lithography<\/a><br \/>  2010, SPIE: <a href=\"http:\/\/repository.tudelft.nl\/assets\/uuid:e429ba53-8cfc-432e-95fb-6417d33aa299\/Mapper.Slot.pdf\">MAPPER: High Throughput Maskless lithography<\/a><br \/>  2012: <a href=\"http:\/\/www.rusnano.com\/about\/press-centre\/news\/75812\">\u0420\u041e\u0421\u041d\u0410\u041d\u041e \u0438\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0432 \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u0443\u044e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043e 10 \u043d\u043c<\/a><br \/>  2013: <a href=\"http:\/\/www.leti.fr\/en\/layout\/set\/print\/layout\/set\/print\/content\/download\/2040\/25958\/file\/IEDM2013_Lithography_S_Tedesco.pdf\">Lithography Cost-Effective Solutions for 1X nodes<\/a>    \t<\/p>\n<div class=\"clear\"><\/div>\n<\/p><\/div>\n<p> \u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0440\u0438\u0433\u0438\u043d\u0430\u043b \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438 <a href=\"http:\/\/habrahabr.ru\/post\/213379\/\"> http:\/\/habrahabr.ru\/post\/213379\/<\/a><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<div class=\"content html_format\">   \t<img decoding=\"async\" src=\"http:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/post_images\/664\/6fc\/469\/6646fc469df39edd58ff212df4d48334.png\" align=\"right\"\/>\u041a\u0442\u043e-\u0442\u043e \u0432\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u043e \u0443\u0436\u0435 \u0441\u043b\u044b\u0448\u0430\u043b \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0420\u043e\u0441\u043d\u0430\u043d\u043e \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435 2012-\u0433\u043e \u0433\u043e\u0434\u0430 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0430 \u0432 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044e-\u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 Mapper Lithography. \u0427\u0442\u043e \u0438 \u043a\u0430\u043a \u043e\u043d\u0438 \u0434\u0435\u043b\u0430\u044e\u0442, \u0441\u043f\u0430\u0441\u0435\u0442 \u043b\u0438 \u044d\u0442\u043e \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u2014 \u0443\u0437\u043d\u0430\u0435\u043c \u0432 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435.<\/p>\n<p>  <a href=\"http:\/\/habrahabr.ru\/post\/155371\/\">\u041a\u0430\u043a \u043c\u044b \u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c<\/a>, \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u043f\u043e\u0434\u0440\u0430\u0437\u0443\u043c\u0435\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430, \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u043c: \u00ab\u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u00bb \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043e\u0431\u044a\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0435\u0446\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0430. <\/p>\n<p>  \u042d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u044f\u0434 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432: \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0439 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b (\u043e\u043f\u0443\u0441\u0442\u0438\u043c \u0442\u0443\u0442 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430) \u2014 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0442\u043e\u043c\u0443, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u044b \u043e\u0431\u044f\u0437\u0430\u043d\u044b \u0431\u044b\u0442\u044c \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u044b\u043c\u0438, \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d\u044b \u0448\u0442\u0443\u043a, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043e\u043a\u0443\u043f\u0430\u0442\u044c \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432 (\u0434\u043e \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 $ \u043d\u0430 \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u0442\u0438\u043f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b). \u0418 \u0441 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u2014 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u0440\u0438\u0441\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u0421\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0436\u0435 \u0432\u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u0443\u044e \u043f\u043e\u0434\u043e\u0448\u043b\u0430 \u043a \u0442\u0435\u043e\u0440\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0443 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438: ~35nm \u0434\u043b\u044f \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432 NA=1.35 \u0441 ArF \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 193\u043d\u043c \u0438 ~18\u043d\u043c \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u043e\u043c \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u0435 EUV (\u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0432 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u044d\u0442\u043e \u043f\u043e\u043a\u0430 \u043d\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f). <\/p>\n<p>  \u0415\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0430\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u0430: \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 \u043d\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u043c, \u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u043c \u2014 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f. \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0443 \u0433\u043e\u0440\u0430\u0437\u0434\u043e \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430, \u0434\u0430\u0436\u0435 1\u043d\u043c \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430, \u043d\u043e \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0438 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b. <\/p>\n<p>  \u041d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u2014 \u0441\u0438\u043c\u0443\u043b\u044f\u0446\u0438\u044f \u043f\u043e\u043f\u0430\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430 \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442, \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0443 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u044f\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432.<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[],"tags":[],"class_list":["post-213379","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/213379","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=213379"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/213379\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=213379"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=213379"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=213379"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}