{"id":324490,"date":"2021-06-07T15:00:30","date_gmt":"2021-06-07T15:00:30","guid":{"rendered":"http:\/\/savepearlharbor.com\/?p=324490"},"modified":"-0001-11-30T00:00:00","modified_gmt":"-0001-11-29T21:00:00","slug":"","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/savepearlharbor.com\/?p=324490","title":{"rendered":"ASML \u0437\u0430\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0442 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u044b \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u2014 \u0438 \u044d\u0442\u043e \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u043e \u0434\u043b\u044f \u043d\u0435\u0451"},"content":{"rendered":"\n<div class=\"post__text post__text-html post__text_v1\" id=\"post-content-body\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/nb\/wi\/ba\/nbwibagcq6x9dunwpdmotrlnvoy.png\"><br \/>  <i>\u0411\u0443\u0434\u0443\u0449\u0438\u0439 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440 ASML \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 0,55 (high-NA EUV) \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e $300 \u043c\u043b\u043d. \u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: \u043f\u0440\u0435\u0437\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f ASML<\/i> <\/p>\n<p>  \u0413\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f ASML \u2014 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043f\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442 \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0432 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u043c \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u0435 (EUV) \u0441 \u0437\u0430\u043f\u0430\u0441\u043e\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0434\u0435\u0440\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043b\u0435\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0437\u0430\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0430 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0438\u0431\u044b\u043b\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438, <a href=\"https:\/\/seekingalpha.com\/article\/4433147-asml-stock-next-gen-euv-tool-delayed-by-three-years\">\u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u044e\u0442<\/a> \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 Seeking Alpha. \u0414\u0430\u0436\u0435 \u043d\u0430\u043e\u0431\u043e\u0440\u043e\u0442, ASML \u0437\u0430\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0449\u0451 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0430\u0436\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. <\/p>\n<p>  \u041d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0442\u044b \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u044e\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u043d\u044b\u043d\u0435\u0448\u043d\u0435\u0439 \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435 \u043d\u0435 \u0434\u043e \u0430\u043f\u0433\u0440\u0435\u0439\u0434\u043e\u0432. \u0414\u0435\u0444\u0438\u0446\u0438\u0442 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438, \u043d\u0430\u043e\u0431\u043e\u0440\u043e\u0442, \u0432\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c <i>\u043f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e<\/i> \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0440\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0441\u043d\u044f\u0442\u044b\u0435 \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430. <br \/>  <a name=\"habracut\"><\/a><br \/>  \u041d\u043e \u044d\u0442\u043e \u043a\u043e\u043d\u044a\u044e\u043d\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430. \u0412 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u0435 TSMC \u0438 Samsung, \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e, \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0430\u0442\u044c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441. \u0415\u0434\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441 \u0431\u044b\u043b: \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u043e\u0432\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u044b \u043d\u0430 \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0435\u043c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0441 \u0435\u0433\u043e \u0430\u043f\u0433\u0440\u0435\u0439\u0434\u043e\u043c \u0434\u043e \u043c\u0443\u043b\u044c\u0442\u0438\u043f\u0430\u0442\u0442\u0435\u0440\u043d\u0438\u043d\u0433\u0430 (\u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043e\u043f\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0441 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432 \u0434\u043e 5\/3 \u043d\u043c)\u00a0\u2014 \u0438\u043b\u0438 \u0436\u0434\u0430\u0442\u044c \u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b EUV \u0441 \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u043c \u043d\u0430 3\/2 \u043d\u043c.<\/p>\n<p>  \u0422\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0432 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u043c \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u0435 \u2014 \u044d\u0442\u043e ASML NXE:3400C, \u0430 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 (high-NA EUV) \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 ASML EXE:5000. \u0415\u0433\u043e \u043e\u0441\u043d\u0430\u0441\u0442\u044f\u0442 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u043e\u0439 0,55 NA, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u0442 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435.<\/p>\n<p>  <img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/l8\/vz\/gi\/l8vzgid3ktyro5ejkwxs57joqiy.png\"><br \/>  <i>\u041a\u0430\u043a \u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u2014 \u0434\u0432\u0435 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u0430. \u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: \u043f\u0440\u0435\u0437\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f ASML<\/i><\/p>\n<p>  <img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/post_images\/7d3\/f7e\/f6c\/7d3f7ef6c3c808213b54e8e6828762c7.jpg\"><br \/>  <i>\u041c\u0430\u0440\u0448\u0440\u0443\u0442 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u043e\u0432 \u043e\u0442 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430 (\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430 \u0432\u043d\u0438\u0437\u0443) \u043a \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u0443 \u043f\u043e\u0434\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438, \u043c\u0430\u0441\u043a\u0435 \u0441 \u0442\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0435\u0439 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0443\u044e \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0443 \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u0435 ASML<\/i><\/p>\n<p>  \u0422\u0435\u043f\u0435\u0440\u044c \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430 \u00ab\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0430\u00bb. \u041f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434 \u043d\u0430 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e 2025 \u0438\u043b\u0438 2026 \u0433\u043e\u0434\u0430. \u0423\u0436 \u0441\u043b\u0438\u0448\u043a\u043e\u043c \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u043c \u0438 \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u0438\u043c\u0438 \u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u044d\u0442\u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435, <a href=\"https:\/\/seekingalpha.com\/article\/4433147-asml-stock-next-gen-euv-tool-delayed-by-three-years\">\u043f\u0438\u0448\u0435\u0442<\/a> Seeking Alpha. \u041d\u0430\u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b \u0432\u0435\u0441\u043e\u043c 180 \u0442\u043e\u043d\u043d \u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u043c \u0441 \u0434\u0432\u0443\u0445\u044d\u0442\u0430\u0436\u043d\u044b\u0439 \u0430\u0432\u0442\u043e\u0431\u0443\u0441 \u0441\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043e \u0441\u0435\u0431\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0432\u0438\u0434\u0435\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0439 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 5000 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u043e\u0432. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043d\u0435\u043c\u0435\u0446\u043a\u0430\u044f Carl Zeiss \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043b\u0438\u043d\u0437\u044b. \u0413\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0441\u043a\u0430\u044f VDL \u2014 \u0440\u043e\u0431\u043e\u0442\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u043d\u0438\u043f\u0443\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440\u044b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0430\u044e\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0432 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0443. \u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f Cymer, \u043a\u0443\u043f\u043b\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f ASML \u0432 2013 \u0433\u043e\u0434\u0443. <\/p>\n<p>  \u041a\u0430\u043a \u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u043e\u0434\u0438\u043d \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440 high-NA EUV \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0441\u0442\u043e\u0438\u0442\u044c \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e $300 \u043c\u043b\u043d (\u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u044b ASML \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u043e\u044f\u0442 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e $180 \u043c\u043b\u043d \u0437\u0430 \u0448\u0442\u0443\u043a\u0443). \u0412\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e, \u043e\u043d \u0441\u0442\u0430\u043d\u0435\u0442 \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u0438\u043c \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u043c \u0432 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0435.<\/p>\n<p>  <img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/xg\/ba\/ob\/xgbaobbdiqbockmboaxtb-9zpog.jpeg\"><\/p>\n<p>  \u0412 \u0437\u0430\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0435 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432 ASML EXE:5000 \u043d\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0438\u0447\u0435\u0433\u043e \u0441\u0442\u0440\u0430\u0448\u043d\u043e\u0433\u043e. \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b 3 \u043d\u043c \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0431\u044b\u043b\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u043d\u0430 \u043d\u043e\u0432\u043e\u043c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438, \u043d\u043e \u0442\u0435\u043f\u0435\u0440\u044c, \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e, \u0438\u0445 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u0434\u0435\u043b\u0430\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0430\u0440\u044b\u0445 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u0430\u0445 \u2014 \u0432 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0438 \u0441 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440. \u0410 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u044b \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432 2 \u043d\u043c.<\/p>\n<p>  \u0422\u0435\u043a\u0443\u0449\u0435\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 EUV \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c 7 \u0438 5 \u043d\u043c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443 \u0441 \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 0,33 NA \u0438 \u043e\u0434\u043d\u0443-\u0434\u0432\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u0438. \u0412 \u043a\u0430\u043a\u043e\u0439-\u0442\u043e \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0434\u0432\u043e\u0439\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434 \u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0441\u044f \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u044b\u043c. \u0422\u0435\u043f\u0435\u0440\u044c \u0436\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0443\u0442 \u043e\u043f\u0430\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0432\u043e\u0439\u043d\u043e\u0439 \u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d EUV \u0441\u043b\u0438\u0448\u043a\u043e\u043c \u0441\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d \u0438 \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433 \u0434\u043b\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u0410 \u043f\u0440\u0438 3 \u043d\u043c \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0442\u0440\u043e\u0439\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434, \u0447\u0442\u043e \u0435\u0449\u0451 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0435\u0435.<\/p>\n<h1>\u0424\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u0432 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u043c \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u0435<\/h1>\n<p>  \u041d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0442\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u043b\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u043f\u043b\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u0443\u0437\u043b\u0430 \u043d\u0430 30% \u0432 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u043c \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438, \u0442\u0435\u043c \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430. \u0412 \u0441\u0432\u043e\u044e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u044c, \u044d\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u043b\u043e \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u044b. \u0426\u0438\u043a\u043b \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u00ab\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u00bb \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0435 18 \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0435\u0432.<\/p>\n<p>  \u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0431\u044b\u043b\u043e \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u044b\u043c \u0434\u043e \u043e\u0442\u043c\u0435\u0442\u043a\u0438 20 \u043d\u043c, \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b \u0443\u043f\u0451\u0440\u043b\u0438\u0441\u044c \u0432 \u0441\u0442\u0435\u043d\u0443. \u041d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u044f \u0441 2011 \u0433\u043e\u0434\u0430, \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0448\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b \u0441 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u043c (FinFET) 22 \u043d\u043c \u0438 16\/14 \u043d\u043c.<\/p>\n<p>  FinFET \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0442 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u0435\u0435 \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438, \u043d\u043e \u0438\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e \u0438 \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0442\u044c. \u0422\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u0430 \u043d\u0430 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0443\u0437\u043b\u044b \u0432\u044b\u0440\u043e\u0441\u043b\u043e \u0441 18 \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0435\u0432 \u0434\u043e 2,5\u00a0\u043b\u0435\u0442.<\/p>\n<p>  \u041b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u0442\u043e\u0436\u0435 \u0441\u0442\u043e\u043b\u043a\u043d\u0443\u043b\u0430\u0441\u044c \u0441\u043e \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u043c\u0438. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0430. <\/p>\n<p>  <img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/bj\/fa\/au\/bjfaauiwmqenlecn33ephygxmv0.jpeg\"><br \/>  <i>\u0424\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d<\/i> <\/p>\n<p>  \u041d\u0430 \u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d \u043f\u043e\u043c\u0435\u0449\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440. \u0422\u043e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0435\u0446\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0441\u0432\u0435\u0442 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043c\u0430\u0441\u043a\u0443 \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435\u0432\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443, \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u044f \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0439 \u0443\u0437\u043e\u0440\u044b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043c \u0432\u044b\u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u043e\u0439. \u042d\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435 \u0448\u0430\u0433\u0430 28 \u043d\u043c, \u043d\u043e \u0443\u0436\u0435 \u0441 20 \u043d\u043c \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u044f\u0442\u0441\u044f \u0441\u043b\u0438\u0448\u043a\u043e\u043c \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438, \u0447\u0442\u043e \u0437\u0430\u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u044f\u0435\u0442 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u044c \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435. <\/p>\n<p>  <img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/wp\/uj\/nq\/wpujnqmlxjzdvmyxzr44oqhsazi.png\"><br \/>  <i>\u0420\u0435\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d \u0441 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u0440\u0440\u0435\u043a\u0446\u0438\u0435\u0439 \u0431\u043b\u0438\u0437\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0410\u0432\u0442\u043e\u0440: <a href=\"https:\/\/en.wikipedia.org\/wiki\/File:OpcedPhotomask.png\">LithoGuy<\/a><\/i> <\/p>\n<p>  \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440\u044b \u043f\u0435\u0440\u0435\u0448\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u043c\u0443\u043b\u044c\u0442\u0438\u043f\u0430\u0442\u0442\u0435\u0440\u043d\u0438\u043d\u0433, \u0433\u0434\u0435 \u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u0437\u0430\u0439\u043d \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0451\u043d \u043d\u0430 \u0434\u0432\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u00ab\u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445\u00bb \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432. \u0427\u0442\u043e\u0431\u044b \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0442\u0438 \u044d\u0442\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443, \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434\u0435, \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435\u0441\u044f \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438 (self-aligned spacer) \u0438 \u0434\u0432\u043e\u0439\u043d\u043e\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 (double patterning).<\/p>\n<p>  <img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/kj\/bi\/k1\/kjbik1jh2gh-7tjqfjokm6mdv5a.jpeg\"><br \/>  <i>\u0421\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435\u0441\u044f \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0438\u0437\u0431\u0435\u0436\u0430\u0442\u044c \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0430. \u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Lam Research<\/i><\/p>\n<p>  <img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/vm\/6z\/ts\/vm6ztsjlozpiqmugrvcbbfiqm1k.jpeg\"><br \/>  <i>\u0414\u0432\u043e\u0439\u043d\u043e\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c. \u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: Lam Research<\/i> <\/p>\n<p>  \u0421\u0430\u043c\u044b\u0439 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440 ASML NXE:3400C \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0443 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13,5 \u043d\u043c \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443 \u0441 \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 0,33 NA. \u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 246 \u0412\u0442 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043d\u0443\u044e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c 170 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u0447\u0430\u0441 (WPH).<\/p>\n<p>  Samsung, TSMC \u0438 Intel \u043f\u043e\u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0437\u043b\u044b 7 \u0438 5 \u043d\u043c, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044f \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u044b ASML NXE:3400C. \u041f\u043e <a href=\"https:\/\/semiengineering.com\/multi-patterning-euv-vs-high-na-euv\/\">\u0438\u043c\u0435\u044e\u0449\u0435\u0439\u0441\u044f \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438<\/a>, \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 7 \u043d\u043c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0430 \u0441 \u0448\u0430\u0433\u043e\u043c 40 \u043d\u043c, \u043d\u043e \u0443\u0436\u0435 \u0432 5-\u043d\u043c \u0447\u0438\u043f\u0430\u0445 \u0442\u0430 \u0436\u0435 TSMC \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442 \u0448\u0430\u0433 30 \u043d\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0431\u043b\u0438\u0437\u043a\u043e \u043a \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0443 \u043d\u0430 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0435.<\/p>\n<h1>\u0427\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435 high-NA?<\/h1>\n<p>  \u0425\u043e\u0442\u044f \u0434\u0432\u043e\u0439\u043d\u043e\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e-\u043f\u0440\u0435\u0436\u043d\u0435\u043c\u0443 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0451\u0442\u0441\u044f \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f 5 \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0430\u0436\u0435 3 \u043d\u043c, \u043d\u043e \u044d\u0442\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0441 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u043c. \u0414\u0430\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0443\u0436\u043d\u043e \u043e\u0441\u0432\u0430\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c <a href=\"https:\/\/www.researchgate.net\/publication\/348559314_Nanosheet_FETs\">\u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b<\/a> (nanosheet FET).<\/p>\n<p>  <img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/zc\/lg\/wi\/zclgwi8c1pt6il5qalzqm0xsshg.jpeg\"><\/p>\n<p>  <img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/jz\/7n\/mh\/jz7nmhew0zk-wrik9jyzeqi-rr8.jpeg\"><br \/>  <i>\u041d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b<\/i> <\/p>\n<p>  \u0417\u0434\u0435\u0441\u044c \u0443\u0436\u0435 \u043d\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0439\u0442\u0438\u0441\u044c \u0431\u0435\u0437 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432 ASML \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 (high-NA), \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0430\u0440\u0442\u0438\u043d\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0435.<\/p>\n<p>  ASML \u0435\u0449\u0451 \u043d\u0430 \u044f\u043d\u0432\u0430\u0440\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0442\u0447\u0451\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u0437\u0430\u044f\u0432\u0438\u043b\u0430, \u0447\u0442\u043e \u0437\u0430\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441 \u0432\u043d\u0435\u0434\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0438 EUV \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0443\u043c \u043d\u0430 \u0442\u0440\u0438 \u0433\u043e\u0434\u0430. \u0420\u0430\u043d\u0435\u0435 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u043e\u0441\u0432\u043e\u0438\u0442\u044c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044e \u043a 2023 \u0433\u043e\u0434\u0443, \u0430 \u0442\u0435\u043f\u0435\u0440\u044c \u043f\u043b\u0430\u043d\u044b \u043e\u0442\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e 2025 \u0438\u043b\u0438 2026 \u0433\u043e\u0434\u0430.<\/p>\n<p>  \u041f\u043e <a href=\"https:\/\/semiengineering.com\/multi-patterning-euv-vs-high-na-euv\/\">\u043c\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0442\u043e\u0432<\/a>, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0443\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0435\u0449\u0451 \u0440\u044f\u0434 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043e\u0441\u0432\u043e\u0438\u0442\u044c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 high-NA. \u0418\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0430\u0434 \u043d\u0438\u043c\u0438, \u043d\u043e \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u0435\u0441\u0442\u044c \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043d\u0435\u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432.<\/p>\n<p>  \u0412 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 \u0433\u043e\u0434\u044b \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u043f\u0430\u0440\u0430\u043b\u043b\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043b\u0438 \u043d\u0430\u0434 <a href=\"https:\/\/semiengineering.com\/knowledge_centers\/packaging\/advanced-packaging\/\">\u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u043c\u0438 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432<\/a> (2.5D, 3D-IC \u0438 \u0434\u0440.), \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0438 \u0434\u0430\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0432 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u0437\u0430\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0438 high-NA.<\/p>\n<p>  \u041a\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438, \u043d\u044b\u043d\u0435\u0448\u043d\u044f\u044f \u0437\u0430\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0430 high-NA \u043d\u0430\u043f\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u0435\u0442, \u043a\u0430\u043a \u0438\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u044f \u043d\u0430\u0434\u043e\u043b\u0433\u043e \u0437\u0430\u0441\u0442\u0440\u044f\u043b\u0430 \u043d\u0430 \u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 193 \u043d\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0438\u0442\u043e\u0433\u0435 <i>\u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043b\u043e<\/i> \u043f\u0440\u043e\u0434\u0430\u0436\u0438 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u0422\u0430\u043a \u0447\u0442\u043e \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0437\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u0438\u0437\u043d\u0435\u0441\u0430 ASML \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c \u0432\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435 \u043d\u0435\u0442: \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0437\u0430\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0430 EUV \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041e\u043d\u043e \u0442\u043e\u0436\u0435 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0438\u043b\u043e \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u0441 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043c\u0438 \u0437\u0430\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0430\u043c\u0438, \u0438 \u043d\u0438\u0447\u0435\u0433\u043e \u0441\u0442\u0440\u0430\u0448\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0435 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0438\u043b\u043e\u0441\u044c.<\/p>\n<p>  \u0412\u043d\u0435\u0434\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432 ASML NXE:3400C \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u0432 2020 \u0433\u043e\u0434\u0443. \u0418\u0437 \u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0438 \u0432\u0435\u0434\u0443\u0449\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 TSMC, Samsung \u0438 Intel \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0434\u0432\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043b\u0438\u0434\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043f\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u043d\u043e\u0432\u0435\u0439\u0448\u0435\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f ASML \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0432 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u043c \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u0435, \u0430 Intel \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0439\u0442\u0438 \u043d\u0430 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435 2022 \u0433\u043e\u0434\u0430.<\/p><\/div>\n<p> \u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0440\u0438\u0433\u0438\u043d\u0430\u043b \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438 <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/company\/itsumma\/blog\/561498\/\"> https:\/\/habr.com\/ru\/company\/itsumma\/blog\/561498\/<\/a><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"\n<div class=\"post__text post__text-html post__text_v1\" id=\"post-content-body\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/nb\/wi\/ba\/nbwibagcq6x9dunwpdmotrlnvoy.png\"><br \/>  <i>\u0411\u0443\u0434\u0443\u0449\u0438\u0439 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440 ASML \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 0,55 (high-NA EUV) \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e $300 \u043c\u043b\u043d. \u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: \u043f\u0440\u0435\u0437\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f ASML<\/i> <\/p>\n<p>  \u0413\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f ASML \u2014 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043f\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442 \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0432 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u043c \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u0435 (EUV) \u0441 \u0437\u0430\u043f\u0430\u0441\u043e\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0434\u0435\u0440\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043b\u0435\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0437\u0430\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0430 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0438\u0431\u044b\u043b\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438, <a href=\"https:\/\/seekingalpha.com\/article\/4433147-asml-stock-next-gen-euv-tool-delayed-by-three-years\">\u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u044e\u0442<\/a> \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 Seeking Alpha. \u0414\u0430\u0436\u0435 \u043d\u0430\u043e\u0431\u043e\u0440\u043e\u0442, ASML \u0437\u0430\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0449\u0451 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0430\u0436\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. <\/p>\n<p>  \u041d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0442\u044b \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u044e\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u043d\u044b\u043d\u0435\u0448\u043d\u0435\u0439 \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435 \u043d\u0435 \u0434\u043e \u0430\u043f\u0433\u0440\u0435\u0439\u0434\u043e\u0432. \u0414\u0435\u0444\u0438\u0446\u0438\u0442 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438, \u043d\u0430\u043e\u0431\u043e\u0440\u043e\u0442, \u0432\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c <i>\u043f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e<\/i> \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0440\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0441\u043d\u044f\u0442\u044b\u0435 \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430.   <\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[],"tags":[],"class_list":["post-324490","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/324490","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=324490"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/324490\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=324490"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=324490"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=324490"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}