{"id":341233,"date":"2022-11-15T03:00:20","date_gmt":"2022-11-15T03:00:20","guid":{"rendered":"http:\/\/savepearlharbor.com\/?p=341233"},"modified":"-0001-11-30T00:00:00","modified_gmt":"-0001-11-29T21:00:00","slug":"","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/savepearlharbor.com\/?p=341233","title":{"rendered":"<span>\u041f\u0443\u0442\u044c \u043a \u0441\u0435\u0440\u0434\u0446\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0438: \u043a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u044b \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438?<\/span>"},"content":{"rendered":"<div><\/div>\n<div id=\"post-content-body\">\n<div>\n<div class=\"article-formatted-body article-formatted-body article-formatted-body_version-2\">\n<div xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xhtml\">\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780q1\/getpro\/habr\/upload_files\/4a1\/f42\/c28\/4a1f42c2823ea5c12f579aecc01984f9.jpg\" width=\"1280\" height=\"767\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/upload_files\/4a1\/f42\/c28\/4a1f42c2823ea5c12f579aecc01984f9.jpg\" data-blurred=\"true\"\/><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0412\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0430\u043d\u043a\u0446\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0438, \u043a\u0430\u043a \u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435, \u043e\u0442\u043a\u0430\u0437 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 TSMC \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u0442\u044c \u0437\u0430\u043a\u0430\u0437\u044b \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0438\u0437\u0430\u0439\u043d-\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u043e\u0432, \u043f\u0440\u0438\u0432\u0451\u043b\u0438 \u043a \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441 \u00ab\u0433\u0434\u0435 \u0438 \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0447\u0438\u043f\u044b\u00bb \u0441\u0442\u0430\u043b \u0440\u0435\u0431\u0440\u043e\u043c. \u0421\u0430\u043c\u044b\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u043c, \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u043c \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438, \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f 90 \u043d\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u0432 \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439\u00a0 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443, \u043f\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0430 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434\u0430 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u0440\u0440\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u0438 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c \u0447\u0438\u043f\u044b \u043d\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445, \u0441\u0442\u0430\u043b\u0430 \u043a\u0430\u043a \u043d\u0438\u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0430\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439. \u0414\u043b\u044f \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0438 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u043d\u0430\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0435\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0439, \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438, \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u041d\u043e \u0431\u0435\u0437 \u043f\u0440\u0435\u0443\u0432\u0435\u043b\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u043b\u044e\u0431\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f <strong>\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444<\/strong> (\u0432\u0435\u0440\u043d\u0435\u0435 \u0434\u0430\u0436\u0435, <strong>\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u042b<\/strong>). \u00a0\u0418\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0432 \u043f\u0435\u0440\u0432\u0443\u044e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u044c \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0438\u043c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c, \u0432\u043e\u043a\u0440\u0443\u0433 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e, \u043f\u043e \u0441\u0443\u0442\u0438, \u0441\u0442\u0440\u043e\u0438\u0442\u0441\u044f \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434. \u0412 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u043e\u0431\u0437\u043e\u0440\u0435 \u0445\u043e\u0442\u0435\u043b\u043e\u0441\u044c \u0431\u044b \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0435\u0442\u044c \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0443\u044e \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u044e \u0441 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u2013 \u0447\u0442\u043e \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f\/\u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0443 \u043d\u0430\u0441 \u0438 \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043a\u0443\u043f\u0438\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0435.<\/p>\n<p>\u0421\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0430 \u0445\u043e\u0442\u0435\u043b\u043e\u0441\u044c \u0431\u044b \u043e\u0441\u0432\u0435\u0442\u0438\u0442\u044c \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043e\u0431\u0449\u0438\u0445 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0430\u00a0\u00a0 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u0421\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 \u0438\u00a0 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a, \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0438\u0445 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0438 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041d\u043e \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0435\u043a\u0441\u0442\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u044b \u043d\u0430\u043c \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u0442\u044c \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u044f.<\/p>\n<p>\u0412\u043e-\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0445, \u0432 \u0438\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f 2 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0432\u0438\u0434\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438: \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u0430\u044f. \u0412 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0440\u0435\u0447\u044c\u0435 \u0438\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u043d\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u0438 \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f, \u0442.\u043a. \u0432 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0430(\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438), \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0432\u043e \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u043c \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0438 \u043c\u0430\u0441\u043a\u0430 \u043d\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f. \u0418\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0430 ( \u0432\u0435\u0440\u043d\u0435\u0435, \u043d\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432, \u0442.\u043a. \u0438\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u043e\u0432 \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430) \u0432\u0435\u0449\u044c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0430\u044f, \u0434\u043b\u044f \u0442\u043e\u043f\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0434\u043e\u043b\u043b\u0430\u0440\u043e\u0432. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443, \u0432 \u0442\u0435\u043e\u0440\u0438\u0438, \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0446\u0435\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0433 \u0432\u0445\u043e\u0434\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432. \u041d\u043e \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043e\u043a (\u0434\u0430\u0436\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0438) \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0430\u043c\u0438 \u0441 \u043b\u0438\u0445\u0432\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0435\u043d\u0441\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u043a. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443, \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f. \u0411\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u043c\u0435\u043b\u043a\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n<p>\u0412\u043e-\u0432\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445, \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u043b\u044e\u0431\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u2013 \u044d\u0442\u043e \u0442\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0441 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u043c \u043e\u043d \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 (\u0438 \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e) \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435. \u0412 \u0441\u0432\u043e\u044e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u044c, \u0433\u043b\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c, \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435, \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b, \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u044b (\u043f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0440\u0430\u0441\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438):<\/p>\n<div>\n<div class=\"table\">\n<table>\n<tbody>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"350\" width=\"350\">\n<p align=\"center\">\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">\u0414\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"350\" width=\"350\">\n<p align=\"left\">i-line (Hg)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">365 \u043d\u043c <\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"350\" width=\"350\">\n<p align=\"left\">KrF<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">248 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"350\" width=\"350\">\n<p align=\"left\">ArF dry<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">193 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"350\" width=\"350\">\n<p align=\"left\">ArF immersion<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">193 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"350\" width=\"350\">\n<p align=\"left\">EUV (Sn)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">13.5 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0418\u0437 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0435\u0441\u0442\u044c \u043a\u0430\u043a \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0443\u043c \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b:<\/p>\n<div>\n<div class=\"table\">\n<table>\n<tbody>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"192\" width=\"192\">\n<p align=\"left\">\u041d\u0430\u0438\u043c\u0435\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"175\" width=\"175\">\n<p align=\"center\">\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">\u0414\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">\u041f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u0435<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"192\" width=\"192\">\n<p align=\"left\">ASML PAS 5500\/250\u0421<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"175\" width=\"175\">\n<p align=\"center\">i-line (Hg)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">365 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">\u041d\u0418\u0418\u0421\u0418<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"192\" width=\"192\">\n<p align=\"left\">ASML PAS 5500\/275D<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"175\" width=\"175\">\n<p align=\"center\">i-line (Hg)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">365 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">\u041c\u0430\u043f\u043f\u0435\u0440<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"192\" width=\"192\">\n<p align=\"left\">ASML PAS 5500\/300C<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"175\" width=\"175\">\n<p align=\"center\">KrF<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">248 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">\u0417\u041d\u0422\u0426<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"192\" width=\"192\">\n<p align=\"left\">ASML PAS 5500\/750F<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"175\" width=\"175\">\n<p align=\"center\">KrF<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">248 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"192\" width=\"192\">\n<p align=\"left\">ASML PAS 5500\/1150C<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"175\" width=\"175\">\n<p align=\"center\">ArF<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">193 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443 45 \u043d\u043c \u0438 \u043d\u0438\u0436\u0435 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0443\u0436\u0435 \u043d\u0443\u0436\u043d\u044b \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 (ArF immersion), \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043d\u0438\u0436\u0435 7 \u043d\u043c \u2013 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b.\u00a0 \u0418\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438, \u043d\u0430\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u043d\u0435 \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e, \u0432 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u043d\u0435\u0442.<\/p>\n<p>\u041a\u0442\u043e \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b? \u041f\u043e\u0447\u0442\u0438 100% \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 \u0432 \u0434\u0435\u043d\u0435\u0436\u043d\u043e\u043c \u0432\u044b\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u044e\u0442 3 \u0438\u0433\u0440\u043e\u043a\u0430: <strong>ASML<\/strong>, \u0413\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0438\u044f (91%), <strong>Nikon<\/strong>, \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u044f (6%), <strong>Canon<\/strong>, \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u044f (3%). \u041e\u0441\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0433\u0440\u043e\u043a\u0438 \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u044e\u0442 \u043f\u0440\u0435\u043d\u0435\u0431\u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u043e \u043c\u0430\u043b\u0443\u044e \u0434\u043e\u043b\u044e. \u041f\u0440\u0438\u0447\u0451\u043c, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043c\u044b \u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u0438\u043c \u043e\u0431 \u00a0\u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430\u0445, \u0442\u043e \u0438\u0445 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e 2 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 \u2013 ASML \u0438 Nikon, \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0445 \u0434\u043e\u043b\u0435\u0439 \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u0438\u0442 \u0442\u0430\u043a:<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/getpro\/habr\/upload_files\/6f6\/2bd\/fcc\/6f62bdfcc138621dd8d0968ce92abb97.png\" width=\"640\" height=\"465\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/upload_files\/6f6\/2bd\/fcc\/6f62bdfcc138621dd8d0968ce92abb97.png\"\/><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0421 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430\u043c\u0438 \u0432\u0441\u0451 \u0435\u0449\u0451 \u043f\u0440\u043e\u0449\u0435 \u2013 \u043d\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0438\u0445 \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 <strong>\u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e ASML<\/strong>.<\/p>\n<p>\u041f\u043e\u0434\u0432\u043e\u0434\u044f \u043d\u0435\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u0438\u0442\u043e\u0433 \u2013 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u0445 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 \u0444\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0441\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u043e\u0447\u0435\u043d\u043e \u0432 2-\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0430\u0445 &#8212;\u00a0 \u0413\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0438\u0438 \u0438 \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u0438, \u0430 \u0432 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 \u2013 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432 \u0413\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0438\u0438. \u041f\u043e\u043d\u044f\u0442\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0443 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043d\u0435\u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e.<\/p>\n<p>\u041a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0432 \u0442\u0430\u043a\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u043e\u043f\u0446\u0438\u0438 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 \u0443 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438?<\/p>\n<h2>1. \u041c\u0438\u043d\u0441\u043a\u0438\u0439 \u041f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440<\/h2>\n<p>\u041f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u0435 \u0432 \u041c\u0438\u043d\u0441\u043a\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u043b\u043e\u0441\u044c \u0447\u0443\u0442\u044c \u043b\u0438 \u043d\u0435 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0421\u0421\u0421\u0420. \u041a \u0441\u0447\u0430\u0441\u0442\u044c\u044e, \u043e\u043d\u043e \u0441\u043c\u043e\u0433\u043b\u043e \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0438 \u0434\u043e\u0436\u0438\u0442\u044c \u0434\u043e \u043d\u044b\u043d\u0435\u0448\u043d\u0438\u0445 \u0434\u043d\u0435\u0439. \u041d\u0430 \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0439 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u043e\u043d\u043e \u0432 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u044b \u043d\u0430 350 \u043d\u043c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u043f\u043e\u043b\u0435. \u041f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u044c <a href=\"https:\/\/www.electronics.ru\/files\/article_pdf\/9\/article_9279_310.pdf?ysclid=l91ijs4qsn429729024\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0437\u0434\u0435\u0441\u044c<\/a>.<\/p>\n<p>\u041b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u043d\u0430 350 \u043d\u043c\u00a0 &#8212; \u044d\u0442\u043e \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0435 \u0442\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0438\u0442\u044c \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438, \u043f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u043f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u043e \u043d\u0430 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u0443\u043d\u043a\u0442\u0435 \u043c\u044b \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u0430\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0435\u043c. <\/p>\n<p>\u041f\u043e \u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0435 \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0442\u0430\u043a \u0436\u0435 \u0443\u043f\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 350 \u043d\u043c \u0438 130 \u043d\u043c \u0441 \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442 \u0432 2025-2026 \u0433\u043e\u0434\u0430\u0445. \u041e\u0431 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u043e\u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u0438\u043c \u0432 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u043c \u043f\u0443\u043d\u043a\u0442\u0435.\u00a0<\/p>\n<h2>2. \u00a0\u0417\u0435\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u0440\u0430\u0434\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440<\/h2>\n<p>\u0412 2021-\u043e\u043c \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0417\u041d\u0422\u0426 \u0432\u044b\u0438\u0433\u0440\u0430\u043b 2 \u0442\u0435\u043d\u0434\u0435\u0440\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 \u043d\u0430<a href=\"https:\/\/zakupki.gov.ru\/epz\/order\/notice\/ok504\/view\/documents.html?regNumber=0173100009521000160\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\"> 350 \u043d\u043c<\/a> \u043a 2025-\u043e\u043c\u0443 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0438 \u043d\u0430 <a href=\"https:\/\/zakupki.gov.ru\/epz\/order\/notice\/ok504\/view\/supplier-results.html?regNumber=0173100009521000159\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">130 \u043d\u043c<\/a> \u043a 2026-\u043e\u043c\u0443 \u0433\u043e\u0434\u0443. \u0412 \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0417\u041d\u0422\u0426 \u0437\u0430\u044f\u0432\u043b\u044f\u043b\u0438 \u043e\u0431 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0438 \u043c\u0438\u043d\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u041f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0430 \u0432 \u043a\u043e\u043e\u043f\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u042d\u0442\u043e \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u0438\u0442 \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u043e \u0438 \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043d\u0430\u0432\u0435\u0440\u043d\u044f\u043a\u0430 \u0443\u043f\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u0445 \u0436\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u0440\u043e\u043a\u043e\u0432 \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0435\u043c \u043f\u0443\u043d\u043a\u0442\u0435 \u2013 \u044d\u0442\u043e \u043e\u0434\u0438\u043d \u0438 \u0442\u043e\u0442 \u0436\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442.\u00a0<\/p>\n<p>\u041e\u043f\u044f\u0442\u044c-\u0442\u0430\u043a\u0438, \u043e\u043f\u0443\u0441\u0442\u0438\u043c \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440 \u043d\u0430 350 \u043d\u043c \u0438 \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u043c\u0441\u044f \u0447\u0443\u0442\u044c \u043f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435 \u043d\u0430 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u0445 130 \u043d\u043c \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u0430.\u00a0<\/p>\n<p>\u0412\u043e-\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0445, \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u0438\u043c \u0432\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0437\u0430\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u0446\u0435\u043b\u044c \u041e\u041a\u0420:<\/p>\n<blockquote>\n<p>\u0426\u0435\u043b\u044c\u044e \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u041e\u041a\u0420 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u043e\u0440\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441 \u043b\u0438\u0442\u0435\u0440\u043e\u0439 \u00ab\u041e\u00bb,<s> <\/s>\u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u043f\u044b\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0442\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430 \u0418\u0421 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 (Step&amp;Repeat)\u00a0 \u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 193 \u0438 248 \u043d\u043c, \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 (\u0411\u0422\u041f) \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 (Step&amp;Repeat) \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u043c \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 130 \u043d\u043c*. \u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 \u0438 \u043c\u0443\u043b\u044c\u0442\u0438\u043f\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0435\u0433\u043e \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0421\u0411\u0418\u0421 \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043d\u043e\u0440\u043c\u043e\u0439 0,13 \u043c\u043a\u043c<\/p>\n<\/blockquote>\n<p>\u0417\u0434\u0435\u0441\u044c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0449\u0430\u0435\u0442 \u0432\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435, \u0447\u0442\u043e \u0437\u0430\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430 \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u0430 \u043d\u0430 2-\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u2013 193 \u0438 248 \u043d\u043c.<\/p>\n<p>\u0414\u0430\u043b\u0435\u0435, \u043f\u043e\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0438\u043c \u043d\u0430 \u0437\u0430\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0438 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043c \u0435\u0433\u043e \u0441 ASML PAS 5500\/300C, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043d\u0430\u043b\u0438\u0447\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0417\u041d\u0422\u0426 \u0441\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441:<\/p>\n<div>\n<div class=\"table\">\n<table>\n<tbody>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u00a0<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">\u0421\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440 \u0417\u041d\u0422\u0426<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">ASML PAS 5500\/300C<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u0414\u0430\u0442\u0430 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">2026 \u0433<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">2002 \u0433<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u0414\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">193\/248 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">248 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u041c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">10 \u0412\u0442<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">10 \u0412\u0442<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u0427\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">1000 \u0413\u0446<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">1000 \u0413\u0446<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u041c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431   \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">1:5<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">1:4<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u0427\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 <\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">0,4-0,63<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">0,4-0,63<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u0420\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u043f\u043e\u043b\u044f \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">22 \u0445 22 \u043c\u043c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">22 \u0445 22 \u043c\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u0420\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">150 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">150 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u041c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u0441\u0432\u0435\u0449\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">225 \u043c\u0412\u0442\/\u0441\u043c<sup>2<\/sup><\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">225 \u043c\u0412\u0442\/\u0441\u043c<sup>2<\/sup><\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u0414\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u00a0<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">150 \u0438 200 \u043c\u043c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">150 \u0438 200 \u043c\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">100 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432   \u0447\u0430\u0441<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">88-120 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d   \u0432 \u0447\u0430\u0441<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0421\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e, \u043d\u0435\u0432\u043e\u043e\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0432\u0437\u0433\u043b\u044f\u0434\u043e\u043c \u0432\u0438\u0434\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440 \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u0438\u0442 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u043e\u043c \u0441\u0432\u043e\u0435\u0433\u043e \u0433\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u0430, \u0447\u0442\u043e \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u043e. \u0422\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0437\u0430\u043c\u0435\u0442\u0435\u043d \u0437\u0430\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f ArF \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0434\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0439\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0435 90-65 \u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b.<\/p>\n<h2>3. \u0411\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u043d\u0430 28 \u043d\u043c \u043e\u0442 \u041c\u0418\u042d\u0422<\/h2>\n<p>\u041e\u043f\u044f\u0442\u044c \u0436\u0435 \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435 2021-\u0433\u043e \u0433\u043e\u0434\u0430 \u041c\u0438\u043d\u043f\u0440\u043e\u043c\u0442\u043e\u0440\u0433 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0451\u043b \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0441:<\/p>\n<blockquote>\n<p>\u043d\u0430 \u043f\u0440\u0430\u0432\u043e \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u043e\u0439<em> <\/em>\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u00ab\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u041c\u042d\u041c\u0421 \u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043e\u0442 13 \u043d\u043c \u0438 \u043d\u0438\u0436\u0435 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\/\u0438\u043b\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430\u00bb, <strong>\u0448\u0438\u0444\u0440 \u00ab\u0420\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d-\u041b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u00bb<\/strong><\/p>\n<\/blockquote>\n<p>\u0421\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0441 <a href=\"https:\/\/zakupki.gov.ru\/epz\/order\/notice\/ok504\/view\/common-info.html?regNumber=0173100009521000167\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0437\u0434\u0435\u0441\u044c<\/a>.<\/p>\n<p>\u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043a \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430:<\/p>\n<div>\n<div class=\"table\">\n<table>\n<tbody>\n<tr>\n<td>\n<p align=\"left\">\u0414\u0430\u0442\u0430 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">30.11.2022 \u0433<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\n<p align=\"left\">\u0414\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">13,5 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\n<p align=\"left\">\u041f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u0435   \u043d\u043e\u0440\u043c\u044b <\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">28 \u0438\u043b\u0438 16 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\n<p align=\"left\">\u0414\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">300 \u043c\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\n<p align=\"left\">\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">0,1 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u0447\u0430\u0441<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0421\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u044f\u0442 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043e\u0431\u0435\u0449\u0430\u044e\u0449\u0435, \u043f\u043e \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u2013 \u043e\u043d\u0430 \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u0442\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 (\u0438\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u0432\u0438\u0434\u0443 \u0431\u0435\u0437 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432, \u043e \u0447\u0451\u043c \u0431\u044b\u043b\u043e \u0443\u043f\u043e\u043c\u044f\u043d\u0443\u0442\u043e \u0432 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0435 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438, \u0442.\u043a. \u0443\u043f\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u0435\u043c\u0430\u044f \u0432 \u041d\u0418\u0420 \u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043c\u0430\u0441\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u041c\u042d\u041c\u0421 \u043d\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u043e\u0439). \u0421\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e \u0441\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c,\u00a0\u043d\u0430\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u044b, \u043d\u043e \u0432 \u0437\u0430\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u0432\u0438\u0434\u0435 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0438. \u0414\u0430 \u0438 \u0441\u0442\u0430\u0442\u0443\u0441 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0432 \u0432\u0438\u0434\u0435 \u041d\u0418\u0420, \u0432 \u043a\u0443\u043f\u0435 \u0441 \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0441\u0440\u043e\u043a\u0430\u043c\u0438, \u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u0441 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0430 \u043d\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<h2>4.\u00a07 \u043d\u043c \u043e\u0442 \u0418\u041f\u0424\/\u0418\u0424\u041c \u0420\u0410\u041d<\/h2>\n<p>\u0411\u0443\u043a\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u043e\u0432\u0441\u0435\u043c \u043d\u0435\u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u0432 \u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u043c \u0441\u0435\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u0435 \u0441\u0435\u0442\u0438 \u0418\u043d\u0442\u0435\u0440\u043d\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0435\u043c\u0435\u043b\u0430 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e <a href=\"https:\/\/www.cnews.ru\/news\/top\/2022-10-21_v_rossii_vedetsya_razrabotka\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u00ab\u0412 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0434\u0443\u0442 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0441 \u0442\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0435\u0439 7 \u043d\u043c\u00bb<\/a>.<\/p>\n<p>\u041d\u043e\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0436\u0434\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u0432\u043e\u0442 \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u043d\u044b\u043c \u043e\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438:<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/getpro\/habr\/upload_files\/c26\/f54\/d5b\/c26f54d5b23d5af181ddada5e4677314.png\" width=\"3416\" height=\"2250\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/upload_files\/c26\/f54\/d5b\/c26f54d5b23d5af181ddada5e4677314.png\"\/><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0418 \u0432\u043e\u0442 \u0442\u0443\u0442 \u0435\u0441\u0442\u044c \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b.<\/p>\n<p>\u0412\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435 \u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u044f, \u0438\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0434\u0430\u043d\u043d\u0443\u044e \u043d\u043e\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u044f \u0441\u043f\u0438\u0441\u0430\u043b \u043d\u0430 \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u0443\u044e \u0448\u0443\u043c\u0438\u0445\u0443 \u043f\u043e \u043f\u043e\u0432\u043e\u0434\u0443 \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0438\u0437 \u043f. 3. \u041a\u0430\u0437\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u0431\u044b, \u0442\u043e \u0436\u0435 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0442\u0435 \u0436\u0435 \u043b\u044e\u0434\u0438 \u0438\u0437 \u0418\u041f\u0424\/\u0418\u0424\u041c \u0420\u0410\u041d, \u0442\u0435 \u0436\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0432\u0430 \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u00ab\u0412 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b \u043f\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0443 \u043d\u0438\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043d\u0435 \u043d\u0443\u0436\u043d\u044b\u00bb, \u0442.\u0435. \u0440\u0435\u0447\u044c \u043e \u043d\u0435\u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041d\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u043d\u0438\u043c\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430 \u0432\u044b\u044f\u0432\u0438\u043b\u043e \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043d\u0435\u0441\u0442\u044b\u043a\u043e\u0432\u043a\u0438:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u041e\u041a\u0420 \u043d\u0430 \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u0438\u0437 \u043f.3 \u0437\u0430\u043a\u0430\u043d\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043d\u043e\u044f\u0431\u0440\u0435 2022 \u0433\u043e\u0434\u0430. \u0410\u043d\u043e\u043d\u0441\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0436\u0435 7 \u043d\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044e \u0432 \u0442\u0440\u0438 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430: 2024-\u044b\u0439 \u0433\u043e\u0434 \u0430\u043b\u044c\u0444\u0430 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0430, 2026-\u043e\u0439 \u0433\u043e\u0434 \u0431\u0435\u0442\u0430 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0430, 2028-\u043e\u0439 \u0433\u043e\u0434 \u0444\u0438\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f (\u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f?) \u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u044f.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0423 \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 13.5 \u043d\u043c (\u0442.\u0435. \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u043c \u043e\u0431\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u043b\u043e\u0432\u043e, \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435, \u043a\u0430\u043a \u0432 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430\u0445 \u043e\u0442 ASML), \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0443 7 \u043d\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0441\u0435\u043d\u043e\u043d \u0438 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 11.5 \u043d\u043c.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u041d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0451\u043d\u043d\u043e\u043c \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e\u043c \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 7 \u043d\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u043d\u0430\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442 \u043d\u0430 \u043c\u044b\u0441\u043b\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u044b\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u043c.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0421\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e, \u0431\u0435\u0437 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u0438\u0435\u0432 \u043b\u044e\u0434\u0435\u0439, \u0438\u043c\u0435\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0443, \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e \u0441\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c, \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043b\u0438 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 7 \u043d\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u0438\u0434\u0435\u0439\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u041d\u0418\u0420 \u0438\u0437 \u043f.3, \u0438\u043b\u0438 \u0432\u0441\u0451 \u0436\u0435 \u043c\u044b \u0438\u043c\u0435\u0435\u043c \u0434\u0435\u043b\u043e \u0441 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u044b\u043c EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u043c, \u043f\u0443\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043e\u043a \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u041d\u0418\u0420. \u0415\u0441\u043b\u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0435\u0435, \u0442\u043e \u044d\u0442\u043e \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0430\u043c\u0431\u0438\u0446\u0438\u043e\u0437\u043d\u043e, \u0438 \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043a 2028-\u043e\u043c\u0443 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0443\u0434\u0430\u0441\u0442\u0441\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0442\u044c \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u2013 \u044d\u0442\u043e \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442, \u043d\u0435\u0441\u043e\u043c\u043d\u0435\u043d\u043d\u043e, \u043e\u0433\u0440\u043e\u043c\u043d\u044b\u043c \u0443\u0441\u043f\u0435\u0445\u043e\u043c, \u0442.\u043a. \u043d\u0430\u043f\u043e\u043c\u043d\u044e, \u043d\u0430 \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0439 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e ASML.<\/p>\n<p>\u0415\u0449\u0451 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441\u043d\u044b\u0439 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043d \u0433\u0430\u0437 \u043a\u0441\u0435\u043d\u043e\u043d. \u041d\u0430 \u0437\u0430\u0440\u0435 \u0437\u0430\u0440\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0433\u0430\u0437 \u043a\u0441\u0435\u043d\u043e\u043d \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u043b\u0441\u044f \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u043e\u043c, \u043d\u043e \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0435\u00a0 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u043b\u0438 \u0438\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u044e \u043a \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0443 \u043e\u043b\u043e\u0432\u0430, \u0430 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043a\u0441\u0435\u043d\u043e\u043d\u0435 \u0442\u0430\u043a \u0438 \u043d\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u043b\u0438 \u0431\u0438\u043b\u0435\u0442 \u0432 \u0436\u0438\u0437\u043d\u044c. \u0427\u0435\u043c \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043a\u0441\u0435\u043d\u043e\u043d\u0430 \u0438 \u043a\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0443\u0434\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u043f\u043e\u0431\u0435\u0434\u0438\u0442\u044c \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b\u00a0 &#8212; \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0440\u0438\u0433\u0443\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441.<\/p>\n<h2>5.\u00a0\u041a\u0438\u0442\u0430\u0439<\/h2>\n<p>\u0418\u0437 \u0432\u0441\u0435\u0439 \u0437\u0430\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b,\u00a0 \u0435\u0441\u0442\u044c \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043e\u0434\u043d\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043d\u0430\u043c \u043f\u043e\u043c\u043e\u0447\u044c \u2013 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439.\u00a0<\/p>\n<p>\u041d\u0430 \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0439 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0433\u043b\u0430\u0432\u043d\u044b\u0439 (\u0438 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0434\u043e\u0441\u0442\u043e\u0432\u0435\u0440\u043d\u043e \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u0439) \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0435 \u2013 \u044d\u0442\u043e \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f Shanghai Microelectronics Equipment. \u0418\u0437 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430 \u0441\u0430\u0439\u0442\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f 90 \u043d\u043c \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u044c <a href=\"http:\/\/www.smee.com.cn\/eis.pub?service=homepageService&amp;method=indexinfo&amp;onclicknodeno=1_4_4_1\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">SSA600\/20<\/a>. \u0422.\u0435. \u044d\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434\u0435 \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d.<\/p>\n<p>\u041f\u0440\u0430\u0432\u0434\u0430, \u0442\u0443\u0442 \u0435\u0441\u0442\u044c \u043e\u0434\u0438\u043d \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0439 \u043d\u044e\u0430\u043d\u0441. \u0412 \u043d\u0430\u0439\u0434\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u043d\u0435\u0442\u0430 \u043e\u0442\u0447\u0451\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 SMEE \u0435\u0441\u0442\u044c \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e \u0432\u044b\u0440\u0443\u0447\u043a\u0435 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0431\u0438\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043e \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c, \u0438 \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u044f\u0442 \u043e\u043d\u0438 \u0432\u043e\u0442 \u0442\u0430\u043a:<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/getpro\/habr\/upload_files\/7a1\/91c\/de9\/7a191cde999c5265513d1b1e6fbe0989.png\" width=\"1143\" height=\"831\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/upload_files\/7a1\/91c\/de9\/7a191cde999c5265513d1b1e6fbe0989.png\"\/><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0421\u0442\u0430\u0442\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u0437\u0430\u043a\u0430\u043d\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f 2019-\u044b\u043c \u0433\u043e\u0434\u043e\u043c. \u0415\u0441\u043b\u0438 \u043e\u043d\u0430 \u0432\u0435\u0440\u043d\u0430, \u0442\u043e \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u0442\u044c \u0432\u044b\u0432\u043e\u0434, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e \u0444\u0430\u043a\u0442\u0443 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0434\u0430\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u043e\u043c \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 SMEE \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f i-line \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440 \u043d\u0430 280 \u043d\u043c. \u0411\u044b\u043b\u043e \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u0440\u043e\u0434\u0430\u0436 KrF-\u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 110 \u043d\u043c, \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0434\u0430\u0442\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f 2014-\u044b\u043c \u0433\u043e\u0434\u043e\u043c. \u041f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0430 90 \u043d\u043c ArF-\u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u043d\u0438\u044f 2019-\u0433\u043e \u0433\u043e\u0434\u0430 \u0432 \u043e\u0442\u0447\u0451\u0442\u0435 \u043d\u0435 \u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442, \u0438 \u043d\u0438\u043a\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0434\u043e\u0441\u0442\u043e\u0432\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0442 \u043b\u0438 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u044b \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043c\u043d\u0435 \u043d\u0430\u0439\u0442\u0438 \u043d\u0435 \u0443\u0434\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c.<\/p>\n<p>\u0422\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 2 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u0432 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u043e\u043c \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u043d\u0435\u0442\u0435 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u043b\u0430\u0441\u044c \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u044f \u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 SSA800\/10W \u043d\u0430 28 \u043d\u043c (\u0441 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0447\u0443\u0442\u044c \u043b\u0438 \u043d\u0435 \u0434\u043e 7 \u043d\u043c). \u041d\u043e \u043e\u043f\u044f\u0442\u044c-\u0442\u0430\u043a\u0438, \u043d\u0438\u043a\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0434\u043e\u0441\u0442\u043e\u0432\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0432 \u043a\u0430\u043a\u043e\u043c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0434\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430, \u043c\u043d\u0435 \u043d\u0430\u0439\u0442\u0438 \u043d\u0435 \u0443\u0434\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c. \u0415\u0441\u0442\u044c \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f <a href=\"http:\/\/www.eepw.com.cn\/zhuanlan\/206526.html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0434\u0430<\/a>:<\/p>\n<blockquote>\n<p>\u0412 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0435\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0432 \u0418\u043d\u0442\u0435\u0440\u043d\u0435\u0442\u0435 \u043f\u043e\u044f\u0432\u0438\u043b\u0438\u0441\u044c \u0441\u043b\u0443\u0445\u0438 \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u043a Shanghai Microelectronics \u0441 \u00ab28-\u043d\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0435\u0439\u00bb (\u043f\u043e \u0441\u043b\u0443\u0445\u0430\u043c, \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u044c SSA800\/10W) \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0448\u0435\u043b \u043d\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043f\u0440\u0438\u0435\u043c\u043a\u0443 \u043f\u043e \u0441\u043f\u0435\u0446\u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0443 02 \u0438 \u043d\u0435 \u0441\u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0437\u0430\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d \u043a \u043a\u043e\u043d\u0446\u0443 2021 \u0433\u043e\u0434\u0430<\/p>\n<\/blockquote>\n<p>\u0410 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f Beijing GuoWang Optical Technology Co. \u0441\u0442\u043e\u043b\u043a\u043d\u0443\u043b\u0430\u0441\u044c \u0441 \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0432\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434\u0430, \u0433\u0434\u0435 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432, \u0438 \u0435\u0433\u043e \u0437\u0430\u043f\u0443\u0441\u043a \u0431\u044b\u043b \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u0435\u0441\u0451\u043d \u0441 2019-\u0433\u043e \u043d\u0430 2023-\u0438\u0439 \u0433\u043e\u0434.<\/p>\n<p>\u0422\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0432 \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u0447\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e \u0446\u0438\u0440\u043a\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u044f \u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0435\u043c \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438. \u041d\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0430 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u043e \u043c\u0440\u0430\u043a\u043e\u043c \u0438 \u043d\u0435\u0442 \u043d\u0438\u043a\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0434\u043e\u0441\u0442\u043e\u0432\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043e \u0442\u043e\u043c, \u043d\u0430 \u043a\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0434\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442 \u0438 \u043d\u0430\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043e\u043d \u0431\u043b\u0438\u0437\u043e\u043a \u043a \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u0430 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f. \u0412\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e, \u0443\u0432\u0430\u0436\u0430\u0435\u043c\u044b\u0439 <a class=\"mention\" href=\"\/users\/koreec\">@koreec<\/a> \u043c\u043e\u0433 \u0431\u044b \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u0434\u0430\u0442\u044c \u0441\u0432\u043e\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u0438\u0438.<\/p>\n<p>\u0420\u0435\u0437\u044e\u043c\u0438\u0440\u0443\u044f, \u043d\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439 \u043d\u0435 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0432 \u043d\u0430\u043b\u0438\u0447\u0438\u0438 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0447\u044c \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u044c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0442\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430\u0445. \u0412\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u044f \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u0439\u0448\u0438\u0435 \u0433\u043e\u0434\u044b, \u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0431\u044b\u0442\u0438\u0439 \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e.<\/p>\n<h2>6.\u00a0\u0412\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/h2>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0442\u044b \u043a\u0430\u0440\u0442\u0438\u043d\u044b \u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0443\u043f\u043e\u043c\u044f\u043d\u0443\u0442\u044c \u0438 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442 \u2013 \u043f\u043e\u043a\u0443\u043f\u043a\u0430 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0432\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u043d\u043e\u043c \u0440\u044b\u043d\u043a\u0435. \u041d\u0430\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u043d \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442 \u0432 \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043f\u043e\u043a\u0443\u043f\u043a\u0430 \u0438 \u043d\u0430\u043b\u0430\u0434\u043a\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0431\u0435\u0437 \u043e\u0434\u043e\u0431\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f \u2013 \u043c\u043d\u0435 \u0441\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e. \u041d\u043e \u0447\u0442\u043e-\u0442\u043e \u043f\u043e\u0434\u0441\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0441 \u0443\u0447\u0451\u0442\u043e\u043c \u0432\u044b\u0441\u043e\u0447\u0430\u0439\u0448\u0435\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u2013 \u044d\u0442\u043e \u043c\u0430\u043b\u043e\u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e. \u0418 \u043e\u043f\u044f\u0442\u044c-\u0442\u0430\u043a\u0438, \u043f\u043e \u0441\u0443\u0442\u0438 \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0435\u0447\u044c \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043e \u041a\u0438\u0442\u0430\u0435, \u0442.\u043a. \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0442\u0430\u043c \u0435\u0441\u0442\u044c \u0432 \u043d\u0430\u043b\u0438\u0447\u0438\u0438 \u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 (\u043e\u0441\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044b \u043e\u0444\u0438\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043f\u0440\u0438\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0441\u0430\u043d\u043a\u0446\u0438\u0439). \u041d\u043e \u0443 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f, \u0441\u0430\u043c\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0435\u0433\u043e\u0441\u044f \u043f\u043e\u0434 \u0441\u0435\u0440\u044c\u0451\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u0430\u043d\u043a\u0446\u0438\u044f\u043c\u0438 \u0438 \u0438\u0441\u043f\u044b\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0434\u0435\u0444\u0438\u0446\u0438\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432, \u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438 \u043e\u043d\u043e \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u0437\u0430\u0433\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u043e. \u041c\u043d\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043a\u0442\u043e-\u0442\u043e \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0435 \u0432\u043e\u0437\u044c\u043c\u0451\u0442 \u0438 \u043e\u0442\u0434\u0430\u0441\u0442 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0441\u0442\u043e\u043b\u044c \u0446\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435.<\/p>\n<p>\u0422\u0430\u043a\u043e\u0432\u0430, \u0432\u043a\u0440\u0430\u0442\u0446\u0435, \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0430\u044f \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u044f.<\/p>\n<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<div class=\"v-portal\" style=\"display:none;\"><\/div>\n<\/div>\n<p> <!----> <!----><br \/> \u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0440\u0438\u0433\u0438\u043d\u0430\u043b \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438 <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/post\/699340\/\"> https:\/\/habr.com\/ru\/post\/699340\/<\/a><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<div><\/div>\n<div id=\"post-content-body\">\n<div>\n<div class=\"article-formatted-body article-formatted-body article-formatted-body_version-2\">\n<div xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xhtml\">\n<figure class=\"full-width\"><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0412\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0430\u043d\u043a\u0446\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0438, \u043a\u0430\u043a \u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435, \u043e\u0442\u043a\u0430\u0437 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 TSMC \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u0442\u044c \u0437\u0430\u043a\u0430\u0437\u044b \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0438\u0437\u0430\u0439\u043d-\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u043e\u0432, \u043f\u0440\u0438\u0432\u0451\u043b\u0438 \u043a \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441 \u00ab\u0433\u0434\u0435 \u0438 \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0447\u0438\u043f\u044b\u00bb \u0441\u0442\u0430\u043b \u0440\u0435\u0431\u0440\u043e\u043c. \u0421\u0430\u043c\u044b\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u043c, \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u043c \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438, \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f 90 \u043d\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u0432 \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439\u00a0 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443, \u043f\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0430 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434\u0430 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u0440\u0440\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u0438 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c \u0447\u0438\u043f\u044b \u043d\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445, \u0441\u0442\u0430\u043b\u0430 \u043a\u0430\u043a \u043d\u0438\u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0430\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439. \u0414\u043b\u044f \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0438 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u043d\u0430\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0435\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0439, \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438, \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u041d\u043e \u0431\u0435\u0437 \u043f\u0440\u0435\u0443\u0432\u0435\u043b\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u043b\u044e\u0431\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f <strong>\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444<\/strong> (\u0432\u0435\u0440\u043d\u0435\u0435 \u0434\u0430\u0436\u0435, <strong>\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u042b<\/strong>). \u00a0\u0418\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0432 \u043f\u0435\u0440\u0432\u0443\u044e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u044c \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0438\u043c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c, \u0432\u043e\u043a\u0440\u0443\u0433 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e, \u043f\u043e \u0441\u0443\u0442\u0438, \u0441\u0442\u0440\u043e\u0438\u0442\u0441\u044f \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434. \u0412 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u043e\u0431\u0437\u043e\u0440\u0435 \u0445\u043e\u0442\u0435\u043b\u043e\u0441\u044c \u0431\u044b \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0435\u0442\u044c \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0443\u044e \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u044e \u0441 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u2013 \u0447\u0442\u043e \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f\/\u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0443 \u043d\u0430\u0441 \u0438 \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043a\u0443\u043f\u0438\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0435.<\/p>\n<p>\u0421\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0430 \u0445\u043e\u0442\u0435\u043b\u043e\u0441\u044c \u0431\u044b \u043e\u0441\u0432\u0435\u0442\u0438\u0442\u044c \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043e\u0431\u0449\u0438\u0445 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0430\u00a0\u00a0 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u0421\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 \u0438\u00a0 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a, \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0438\u0445 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0438 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041d\u043e \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0435\u043a\u0441\u0442\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u044b \u043d\u0430\u043c \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u0442\u044c \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u044f.<\/p>\n<p>\u0412\u043e-\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0445, \u0432 \u0438\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f 2 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0432\u0438\u0434\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438: \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u0430\u044f. \u0412 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0440\u0435\u0447\u044c\u0435 \u0438\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u043d\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u0438 \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f, \u0442.\u043a. \u0432 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0430(\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438), \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0432\u043e \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u043c \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0438 \u043c\u0430\u0441\u043a\u0430 \u043d\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f. \u0418\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0430 ( \u0432\u0435\u0440\u043d\u0435\u0435, \u043d\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432, \u0442.\u043a. \u0438\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u043e\u0432 \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430) \u0432\u0435\u0449\u044c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0430\u044f, \u0434\u043b\u044f \u0442\u043e\u043f\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0434\u043e\u043b\u043b\u0430\u0440\u043e\u0432. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443, \u0432 \u0442\u0435\u043e\u0440\u0438\u0438, \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0446\u0435\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0433 \u0432\u0445\u043e\u0434\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432. \u041d\u043e \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043e\u043a (\u0434\u0430\u0436\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0438) \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0430\u043c\u0438 \u0441 \u043b\u0438\u0445\u0432\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0435\u043d\u0441\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u043a. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443, \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f. \u0411\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u043c\u0435\u043b\u043a\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n<p>\u0412\u043e-\u0432\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445, \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u043b\u044e\u0431\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u2013 \u044d\u0442\u043e \u0442\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0441 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u043c \u043e\u043d \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 (\u0438 \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e) \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435. \u0412 \u0441\u0432\u043e\u044e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u044c, \u0433\u043b\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c, \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435, \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b, \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u044b (\u043f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0440\u0430\u0441\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438):<\/p>\n<div>\n<div class=\"table\">\n<table>\n<tbody>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"350\" width=\"350\">\n<p align=\"center\">\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">\u0414\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"350\" width=\"350\">\n<p align=\"left\">i-line (Hg)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">365 \u043d\u043c <\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"350\" width=\"350\">\n<p align=\"left\">KrF<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">248 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"350\" width=\"350\">\n<p align=\"left\">ArF dry<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">193 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"350\" width=\"350\">\n<p align=\"left\">ArF immersion<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">193 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"350\" width=\"350\">\n<p align=\"left\">EUV (Sn)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">13.5 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0418\u0437 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0435\u0441\u0442\u044c \u043a\u0430\u043a \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0443\u043c \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b:<\/p>\n<div>\n<div class=\"table\">\n<table>\n<tbody>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"192\" width=\"192\">\n<p align=\"left\">\u041d\u0430\u0438\u043c\u0435\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"175\" width=\"175\">\n<p align=\"center\">\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">\u0414\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">\u041f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u0435<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"192\" width=\"192\">\n<p align=\"left\">ASML PAS 5500\/250\u0421<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"175\" width=\"175\">\n<p align=\"center\">i-line (Hg)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">365 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">\u041d\u0418\u0418\u0421\u0418<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"192\" width=\"192\">\n<p align=\"left\">ASML PAS 5500\/275D<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"175\" width=\"175\">\n<p align=\"center\">i-line (Hg)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">365 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">\u041c\u0430\u043f\u043f\u0435\u0440<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"192\" width=\"192\">\n<p align=\"left\">ASML PAS 5500\/300C<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"175\" width=\"175\">\n<p align=\"center\">KrF<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">248 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">\u0417\u041d\u0422\u0426<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"192\" width=\"192\">\n<p align=\"left\">ASML PAS 5500\/750F<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"175\" width=\"175\">\n<p align=\"center\">KrF<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">248 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"192\" width=\"192\">\n<p align=\"left\">ASML PAS 5500\/1150C<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"175\" width=\"175\">\n<p align=\"center\">ArF<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">193 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443 45 \u043d\u043c \u0438 \u043d\u0438\u0436\u0435 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0443\u0436\u0435 \u043d\u0443\u0436\u043d\u044b \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 (ArF immersion), \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043d\u0438\u0436\u0435 7 \u043d\u043c \u2013 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b.\u00a0 \u0418\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438, \u043d\u0430\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u043d\u0435 \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e, \u0432 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u043d\u0435\u0442.<\/p>\n<p>\u041a\u0442\u043e \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b? \u041f\u043e\u0447\u0442\u0438 100% \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 \u0432 \u0434\u0435\u043d\u0435\u0436\u043d\u043e\u043c \u0432\u044b\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u044e\u0442 3 \u0438\u0433\u0440\u043e\u043a\u0430: <strong>ASML<\/strong>, \u0413\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0438\u044f (91%), <strong>Nikon<\/strong>, \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u044f (6%), <strong>Canon<\/strong>, \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u044f (3%). \u041e\u0441\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0433\u0440\u043e\u043a\u0438 \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u044e\u0442 \u043f\u0440\u0435\u043d\u0435\u0431\u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u043e \u043c\u0430\u043b\u0443\u044e \u0434\u043e\u043b\u044e. \u041f\u0440\u0438\u0447\u0451\u043c, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043c\u044b \u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u0438\u043c \u043e\u0431 \u00a0\u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430\u0445, \u0442\u043e \u0438\u0445 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e 2 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 \u2013 ASML \u0438 Nikon, \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0445 \u0434\u043e\u043b\u0435\u0439 \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u0438\u0442 \u0442\u0430\u043a:<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0421 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430\u043c\u0438 \u0432\u0441\u0451 \u0435\u0449\u0451 \u043f\u0440\u043e\u0449\u0435 \u2013 \u043d\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0438\u0445 \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 <strong>\u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e ASML<\/strong>.<\/p>\n<p>\u041f\u043e\u0434\u0432\u043e\u0434\u044f \u043d\u0435\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u0438\u0442\u043e\u0433 \u2013 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u0445 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 \u0444\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0441\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u043e\u0447\u0435\u043d\u043e \u0432 2-\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0430\u0445 &#8212;\u00a0 \u0413\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0438\u0438 \u0438 \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u0438, \u0430 \u0432 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 \u2013 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432 \u0413\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0438\u0438. \u041f\u043e\u043d\u044f\u0442\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0443 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043d\u0435\u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e.<\/p>\n<p>\u041a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0432 \u0442\u0430\u043a\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u043e\u043f\u0446\u0438\u0438 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 \u0443 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438?<\/p>\n<h2>1. \u041c\u0438\u043d\u0441\u043a\u0438\u0439 \u041f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440<\/h2>\n<p>\u041f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u0435 \u0432 \u041c\u0438\u043d\u0441\u043a\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u043b\u043e\u0441\u044c \u0447\u0443\u0442\u044c \u043b\u0438 \u043d\u0435 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0421\u0421\u0421\u0420. \u041a \u0441\u0447\u0430\u0441\u0442\u044c\u044e, \u043e\u043d\u043e \u0441\u043c\u043e\u0433\u043b\u043e \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0438 \u0434\u043e\u0436\u0438\u0442\u044c \u0434\u043e \u043d\u044b\u043d\u0435\u0448\u043d\u0438\u0445 \u0434\u043d\u0435\u0439. \u041d\u0430 \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0439 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u043e\u043d\u043e \u0432 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u044b \u043d\u0430 350 \u043d\u043c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u043f\u043e\u043b\u0435. \u041f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u044c <a href=\"https:\/\/www.electronics.ru\/files\/article_pdf\/9\/article_9279_310.pdf?ysclid=l91ijs4qsn429729024\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0437\u0434\u0435\u0441\u044c<\/a>.<\/p>\n<p>\u041b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u043d\u0430 350 \u043d\u043c\u00a0 &#8212; \u044d\u0442\u043e \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0435 \u0442\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0438\u0442\u044c \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438, \u043f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u043f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u043e \u043d\u0430 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u0443\u043d\u043a\u0442\u0435 \u043c\u044b \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u0430\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0435\u043c. <\/p>\n<p>\u041f\u043e \u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0435 \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0442\u0430\u043a \u0436\u0435 \u0443\u043f\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 350 \u043d\u043c \u0438 130 \u043d\u043c \u0441 \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442 \u0432 2025-2026 \u0433\u043e\u0434\u0430\u0445. \u041e\u0431 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u043e\u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u0438\u043c \u0432 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u043c \u043f\u0443\u043d\u043a\u0442\u0435.\u00a0<\/p>\n<h2>2. \u00a0\u0417\u0435\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u0440\u0430\u0434\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440<\/h2>\n<p>\u0412 2021-\u043e\u043c \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0417\u041d\u0422\u0426 \u0432\u044b\u0438\u0433\u0440\u0430\u043b 2 \u0442\u0435\u043d\u0434\u0435\u0440\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 \u043d\u0430<a href=\"https:\/\/zakupki.gov.ru\/epz\/order\/notice\/ok504\/view\/documents.html?regNumber=0173100009521000160\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\"> 350 \u043d\u043c<\/a> \u043a 2025-\u043e\u043c\u0443 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0438 \u043d\u0430 <a href=\"https:\/\/zakupki.gov.ru\/epz\/order\/notice\/ok504\/view\/supplier-results.html?regNumber=0173100009521000159\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">130 \u043d\u043c<\/a> \u043a 2026-\u043e\u043c\u0443 \u0433\u043e\u0434\u0443. \u0412 \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0417\u041d\u0422\u0426 \u0437\u0430\u044f\u0432\u043b\u044f\u043b\u0438 \u043e\u0431 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0438 \u043c\u0438\u043d\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u041f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0430 \u0432 \u043a\u043e\u043e\u043f\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u042d\u0442\u043e \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u0438\u0442 \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u043e \u0438 \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043d\u0430\u0432\u0435\u0440\u043d\u044f\u043a\u0430 \u0443\u043f\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u0445 \u0436\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u0440\u043e\u043a\u043e\u0432 \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0435\u043c \u043f\u0443\u043d\u043a\u0442\u0435 \u2013 \u044d\u0442\u043e \u043e\u0434\u0438\u043d \u0438 \u0442\u043e\u0442 \u0436\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442.\u00a0<\/p>\n<p>\u041e\u043f\u044f\u0442\u044c-\u0442\u0430\u043a\u0438, \u043e\u043f\u0443\u0441\u0442\u0438\u043c \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440 \u043d\u0430 350 \u043d\u043c \u0438 \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u043c\u0441\u044f \u0447\u0443\u0442\u044c \u043f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435 \u043d\u0430 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u0445 130 \u043d\u043c \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u0430.\u00a0<\/p>\n<p>\u0412\u043e-\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0445, \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u0438\u043c \u0432\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0437\u0430\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u0446\u0435\u043b\u044c \u041e\u041a\u0420:<\/p>\n<blockquote>\n<p>\u0426\u0435\u043b\u044c\u044e \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u041e\u041a\u0420 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u043e\u0440\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441 \u043b\u0438\u0442\u0435\u0440\u043e\u0439 \u00ab\u041e\u00bb,<s> <\/s>\u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u043f\u044b\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0442\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430 \u0418\u0421 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 (Step&amp;Repeat)\u00a0 \u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 193 \u0438 248 \u043d\u043c, \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 (\u0411\u0422\u041f) \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 (Step&amp;Repeat) \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u043c \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 130 \u043d\u043c*. \u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 \u0438 \u043c\u0443\u043b\u044c\u0442\u0438\u043f\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0435\u0433\u043e \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0421\u0411\u0418\u0421 \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043d\u043e\u0440\u043c\u043e\u0439 0,13 \u043c\u043a\u043c<\/p>\n<\/blockquote>\n<p>\u0417\u0434\u0435\u0441\u044c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0449\u0430\u0435\u0442 \u0432\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435, \u0447\u0442\u043e \u0437\u0430\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430 \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u0430 \u043d\u0430 2-\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u2013 193 \u0438 248 \u043d\u043c.<\/p>\n<p>\u0414\u0430\u043b\u0435\u0435, \u043f\u043e\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0438\u043c \u043d\u0430 \u0437\u0430\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0438 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043c \u0435\u0433\u043e \u0441 ASML PAS 5500\/300C, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043d\u0430\u043b\u0438\u0447\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0417\u041d\u0422\u0426 \u0441\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441:<\/p>\n<div>\n<div class=\"table\">\n<table>\n<tbody>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u00a0<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">\u0421\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440 \u0417\u041d\u0422\u0426<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">ASML PAS 5500\/300C<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u0414\u0430\u0442\u0430 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">2026 \u0433<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">2002 \u0433<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u0414\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">193\/248 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">248 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u041c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">10 \u0412\u0442<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">10 \u0412\u0442<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u0427\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">1000 \u0413\u0446<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">1000 \u0413\u0446<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u041c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431   \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">1:5<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">1:4<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u0427\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 <\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">0,4-0,63<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">0,4-0,63<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u0420\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u043f\u043e\u043b\u044f \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">22 \u0445 22 \u043c\u043c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">22 \u0445 22 \u043c\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u0420\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">150 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">150 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u041c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u0441\u0432\u0435\u0449\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">225 \u043c\u0412\u0442\/\u0441\u043c<sup>2<\/sup><\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">225 \u043c\u0412\u0442\/\u0441\u043c<sup>2<\/sup><\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u0414\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u00a0<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">150 \u0438 200 \u043c\u043c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">150 \u0438 200 \u043c\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"245\" width=\"245\">\n<p align=\"left\">\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/p>\n<\/td>\n<td data-colwidth=\"231\" width=\"231\">\n<p align=\"center\">100 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432   \u0447\u0430\u0441<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">88-120 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d   \u0432 \u0447\u0430\u0441<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0421\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e, \u043d\u0435\u0432\u043e\u043e\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0432\u0437\u0433\u043b\u044f\u0434\u043e\u043c \u0432\u0438\u0434\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440 \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u0438\u0442 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u043e\u043c \u0441\u0432\u043e\u0435\u0433\u043e \u0433\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u0430, \u0447\u0442\u043e \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u043e. \u0422\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0437\u0430\u043c\u0435\u0442\u0435\u043d \u0437\u0430\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f ArF \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0434\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0439\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0435 90-65 \u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b.<\/p>\n<h2>3. \u0411\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u043d\u0430 28 \u043d\u043c \u043e\u0442 \u041c\u0418\u042d\u0422<\/h2>\n<p>\u041e\u043f\u044f\u0442\u044c \u0436\u0435 \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435 2021-\u0433\u043e \u0433\u043e\u0434\u0430 \u041c\u0438\u043d\u043f\u0440\u043e\u043c\u0442\u043e\u0440\u0433 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0451\u043b \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0441:<\/p>\n<blockquote>\n<p>\u043d\u0430 \u043f\u0440\u0430\u0432\u043e \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u043e\u0439<em> <\/em>\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u00ab\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u041c\u042d\u041c\u0421 \u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043e\u0442 13 \u043d\u043c \u0438 \u043d\u0438\u0436\u0435 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\/\u0438\u043b\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430\u00bb, <strong>\u0448\u0438\u0444\u0440 \u00ab\u0420\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d-\u041b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u00bb<\/strong><\/p>\n<\/blockquote>\n<p>\u0421\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0441 <a href=\"https:\/\/zakupki.gov.ru\/epz\/order\/notice\/ok504\/view\/common-info.html?regNumber=0173100009521000167\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0437\u0434\u0435\u0441\u044c<\/a>.<\/p>\n<p>\u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043a \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430:<\/p>\n<div>\n<div class=\"table\">\n<table>\n<tbody>\n<tr>\n<td>\n<p align=\"left\">\u0414\u0430\u0442\u0430 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">30.11.2022 \u0433<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\n<p align=\"left\">\u0414\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">13,5 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\n<p align=\"left\">\u041f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u0435   \u043d\u043e\u0440\u043c\u044b <\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">28 \u0438\u043b\u0438 16 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\n<p align=\"left\">\u0414\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">300 \u043c\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\n<p align=\"left\">\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"center\">0,1 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u0447\u0430\u0441<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u0421\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u044f\u0442 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043e\u0431\u0435\u0449\u0430\u044e\u0449\u0435, \u043f\u043e \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u2013 \u043e\u043d\u0430 \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u0442\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 (\u0438\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u0432\u0438\u0434\u0443 \u0431\u0435\u0437 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432, \u043e \u0447\u0451\u043c \u0431\u044b\u043b\u043e \u0443\u043f\u043e\u043c\u044f\u043d\u0443\u0442\u043e \u0432 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0435 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438, \u0442.\u043a. \u0443\u043f\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u0435\u043c\u0430\u044f \u0432 \u041d\u0418\u0420 \u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043c\u0430\u0441\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u041c\u042d\u041c\u0421 \u043d\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u043e\u0439). \u0421\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e \u0441\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c,\u00a0\u043d\u0430\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u044b, \u043d\u043e \u0432 \u0437\u0430\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u0432\u0438\u0434\u0435 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0438. \u0414\u0430 \u0438 \u0441\u0442\u0430\u0442\u0443\u0441 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0432 \u0432\u0438\u0434\u0435 \u041d\u0418\u0420, \u0432 \u043a\u0443\u043f\u0435 \u0441 \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0441\u0440\u043e\u043a\u0430\u043c\u0438, \u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u0441 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0430 \u043d\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<h2>4.\u00a07 \u043d\u043c \u043e\u0442 \u0418\u041f\u0424\/\u0418\u0424\u041c \u0420\u0410\u041d<\/h2>\n<p>\u0411\u0443\u043a\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u043e\u0432\u0441\u0435\u043c \u043d\u0435\u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u0432 \u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u043c \u0441\u0435\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u0435 \u0441\u0435\u0442\u0438 \u0418\u043d\u0442\u0435\u0440\u043d\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0435\u043c\u0435\u043b\u0430 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e <a href=\"https:\/\/www.cnews.ru\/news\/top\/2022-10-21_v_rossii_vedetsya_razrabotka\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u00ab\u0412 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0434\u0443\u0442 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0441 \u0442\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0435\u0439 7 \u043d\u043c\u00bb<\/a>.<\/p>\n<p>\u041d\u043e\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0436\u0434\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u0432\u043e\u0442 \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u043d\u044b\u043c \u043e\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438:<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0418 \u0432\u043e\u0442 \u0442\u0443\u0442 \u0435\u0441\u0442\u044c \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b.<\/p>\n<p>\u0412\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435 \u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u044f, \u0438\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0434\u0430\u043d\u043d\u0443\u044e \u043d\u043e\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u044f \u0441\u043f\u0438\u0441\u0430\u043b \u043d\u0430 \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u0443\u044e \u0448\u0443\u043c\u0438\u0445\u0443 \u043f\u043e \u043f\u043e\u0432\u043e\u0434\u0443 \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0438\u0437 \u043f. 3. \u041a\u0430\u0437\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u0431\u044b, \u0442\u043e \u0436\u0435 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0442\u0435 \u0436\u0435 \u043b\u044e\u0434\u0438 \u0438\u0437 \u0418\u041f\u0424\/\u0418\u0424\u041c \u0420\u0410\u041d, \u0442\u0435 \u0436\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0432\u0430 \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u00ab\u0412 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b \u043f\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0443 \u043d\u0438\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043d\u0435 \u043d\u0443\u0436\u043d\u044b\u00bb, \u0442.\u0435. \u0440\u0435\u0447\u044c \u043e \u043d\u0435\u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041d\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u043d\u0438\u043c\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430 \u0432\u044b\u044f\u0432\u0438\u043b\u043e \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043d\u0435\u0441\u0442\u044b\u043a\u043e\u0432\u043a\u0438:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u041e\u041a\u0420 \u043d\u0430 \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u0438\u0437 \u043f.3 \u0437\u0430\u043a\u0430\u043d\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043d\u043e\u044f\u0431\u0440\u0435 2022 \u0433\u043e\u0434\u0430. \u0410\u043d\u043e\u043d\u0441\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0436\u0435 7 \u043d\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044e \u0432 \u0442\u0440\u0438 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430: 2024-\u044b\u0439 \u0433\u043e\u0434 \u0430\u043b\u044c\u0444\u0430 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0430, 2026-\u043e\u0439 \u0433\u043e\u0434 \u0431\u0435\u0442\u0430 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0430, 2028-\u043e\u0439 \u0433\u043e\u0434 \u0444\u0438\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f (\u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f?) \u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u044f.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0423 \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 13.5 \u043d\u043c (\u0442.\u0435. \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u043c \u043e\u0431\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u043b\u043e\u0432\u043e, \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435, \u043a\u0430\u043a \u0432 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430\u0445 \u043e\u0442 ASML), \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0443 7 \u043d\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0441\u0435\u043d\u043e\u043d \u0438 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 11.5 \u043d\u043c.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u041d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0451\u043d\u043d\u043e\u043c \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e\u043c \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 7 \u043d\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u043d\u0430\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442 \u043d\u0430 \u043c\u044b\u0441\u043b\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u044b\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u043c.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0421\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e, \u0431\u0435\u0437 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u0438\u0435\u0432 \u043b\u044e\u0434\u0435\u0439, \u0438\u043c\u0435\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[],"tags":[],"class_list":["post-341233","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/341233","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=341233"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/341233\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=341233"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=341233"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=341233"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}