{"id":345624,"date":"2023-02-18T03:00:43","date_gmt":"2023-02-18T03:00:43","guid":{"rendered":"http:\/\/savepearlharbor.com\/?p=345624"},"modified":"-0001-11-30T00:00:00","modified_gmt":"-0001-11-29T21:00:00","slug":"","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/savepearlharbor.com\/?p=345624","title":{"rendered":"<span>\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438<\/span>"},"content":{"rendered":"<div><\/div>\n<div id=\"post-content-body\">\n<div>\n<div class=\"article-formatted-body article-formatted-body article-formatted-body_version-2\">\n<div xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xhtml\">\n<h2>\u0414\u043b\u044f\u00a0\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0430 \u043e\u00a0\u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0435.<\/h2>\n<p>\u0418\u0437 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u00ab\u0443\u0442\u044e\u0433\u0430\u00bb \u043c\u044b \u0441\u043b\u044b\u0448\u0438\u043c \u043e \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430\u0445 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435. \u0422\u0435, \u043a\u0442\u043e \u0447\u0443\u0442\u044c \u0433\u043b\u0443\u0431\u0436\u0435 \u043f\u043e\u0433\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d \u0432 \u0442\u0435\u043c\u0443 \u0441\u043b\u044b\u0448\u0430\u043b\u0438 \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0432\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b \u0438 \u0447\u0442\u043e \u0441\u0430\u043c\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0442\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0441 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 \u043d\u0430 DUV (Deep Ultra-Violet, \u0413\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 193 \u043d\u043c) \u043d\u0430 EUV (Extreme Ultra-Violet, \u042d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13,5 \u043d\u043c).<\/p>\n<p>\u041d\u043e \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043e\u043a \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435, \u043d\u0443\u0436\u043d\u043e \u0441\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0435\u0433\u043e \u043d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0435. \u041f\u0440\u0438\u0447\u0435\u043c, \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043e\u043a \u043d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0435 \u0437\u0430\u0447\u0430\u0441\u0442\u0443\u044e \u0431\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0430\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0435\u0435, \u0447\u0435\u043c \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0432 \u0438\u0442\u043e\u0433\u0435 \u043e\u0442\u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u043e\u043a \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435. \u042d\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0430 \u00ab\u0431\u043b\u0438\u0437\u043e\u0441\u0442\u0438\u00bb \u0438 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u0438.<\/p>\n<figure class=\"\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780q1\/getpro\/habr\/upload_files\/73b\/24b\/7a2\/73b24b7a26fdc041af546de1493501dd.jpg\" alt=\"\" title=\"\" width=\"384\" height=\"121\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/upload_files\/73b\/24b\/7a2\/73b24b7a26fdc041af546de1493501dd.jpg\" data-blurred=\"true\"\/><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0425\u043e\u0442\u044f \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0430 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0432 4 \u0440\u0430\u0437\u0430 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0438\u0442\u043e\u0433\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435, \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0435\u0433\u043e \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043d\u0435 \u0445\u0443\u0436\u0435 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435, \u0442.\u043a. \u0432\u0441\u0435 \u00ab\u0440\u0432\u0430\u043d\u044b\u0435\u00bb \u043a\u0440\u0430\u044f \u0438 \u00ab\u043e\u043a\u0440\u0443\u0433\u043b\u044b\u0435\u00bb \u0443\u0433\u043b\u044b \u043d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u044b \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0447\u0435\u043c \u0432 4 \u0440\u0430\u0437\u0430.<\/p>\n<p>\u0414\u043e \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430, \u0430 \u0442\u043e\u0447\u043d\u0435\u0435, \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0434\u043e 180 \u043d\u043c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u044b \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432. \u041d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043e\u0442 180 \u043d\u043c \u0438 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u0443\u0436\u0435 \u043d\u0435\u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044f \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447, \u0434\u043e\u0431\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432. \u0418 \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432. \u0422.\u043a. \u0434\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0443 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u043e\u0432 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0442\u043e \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0438\u0441\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043b\u0443\u0447\u043e\u043c \u0438\u0437 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043e 1-5 \u043d\u043c.<\/p>\n<p>\u041d\u043e\u2026 \u043a\u0430\u043a \u0432\u0441\u0435\u0433\u0434\u0430 \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0442\u043e \u00ab\u043d\u043e\u00bb\u2026<\/p>\n<p>\u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0443 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0438 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0443 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432.<\/p>\n<p>\u041d\u0430 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0434\u043e \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0443\u0442\u043e\u043a, \u0430 \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0443\u0447\u0435\u0441\u0442\u044c \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u043b\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0442 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0442\u044c \u0438\u0437 80 \u0448\u0442. \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432, \u0442\u043e \u0441\u0440\u043e\u043a \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0442\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432 (\u043c\u0430\u0441\u043e\u043a) \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0437\u0430\u043d\u044f\u0442\u044c \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0435\u0432.<\/p>\n<p>\u0423\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 (\u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0430 15 \u043c\u043b\u043d. USD), \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u043f\u043e\u043d\u044f\u0442\u043d\u043e, \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0442 \u043c\u0430\u0441\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 130 \u043d\u043c \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u0442\u043e\u0438\u0442\u044c 500 \u0442\u044b\u0441. USD, \u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0442\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 7-14 \u043d\u043c \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043b\u0435\u0433\u043a\u043e \u0443\u0439\u0442\u0438 \u0437\u0430 10 \u043c\u043b\u043d. USD.<\/p>\n<h2>\u041c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f?<\/h2>\n<p>\u0414\u0430, \u044d\u0442\u043e \u0442\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u043e\u0438\u0442. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0435\u0441\u0442\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0440\u043e\u0434\u0438\u043b\u0430\u0441\u044c \u0438\u0434\u0435\u044f \u043f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u0438\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0434\u043e \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d\u0430 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439. \u042d\u0442\u0438 \u043b\u0443\u0447\u0438 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e-\u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u043d\u043e \u00ab\u0434\u0435\u0440\u0433\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f\u00bb \u0438 \u043e\u0442\u0431\u0440\u0430\u0441\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0442\u043e \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 (\u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e-\u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0435), \u0442\u043e \u043c\u0438\u043c\u043e (\u043d\u0430 \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c). \u0422\u0430\u043a \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435.<\/p>\n<p>\u0412\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u0438\u0442 \u043a\u0440\u0430\u0441\u0438\u0432\u043e \u2013 \u0441\u043e\u0442\u043d\u0438 \u0442\u044b\u0441\u044f\u0447, \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439, \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043e\u0431\u043b\u0443\u0447\u0430\u044e\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 \u0441 \u043d\u0435\u0432\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0432 1-5 \u043d\u043c. \u041c\u044b \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044e, \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0432\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435 \u043e\u0442\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043e\u0442 \u0441\u0442\u043e\u043b\u044c \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0433\u043e \u0437\u0432\u0435\u043d\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u044b. \u0418 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f\u043e\u0432, \u043c\u0430\u043b\u044b\u0445 \u0438 \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u043f\u043e \u0440\u0430\u0437\u0443\u043c\u043d\u044b\u043c \u0446\u0435\u043d\u0430\u043c!<\/p>\n<p>\u041d\u043e\u2026 \u041e\u043f\u044f\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e \u00ab\u043d\u043e\u00bb\u2026 \u00ab\u0413\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e \u0431\u044b\u043b\u043e \u043d\u0430 \u0431\u0443\u043c\u0430\u0433\u0435\u00bb.<\/p>\n<p>\u041e\u0442\u0441\u044e\u0434\u0430 \u043d\u0430\u0447\u043d\u0435\u043c \u043e\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c \u043d\u0430 \u043f\u0443\u0442\u0438 \u0438\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438.<\/p>\n<h2>\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043e\u0442 IMS Nanofabrication (IMS-NANO) &#8212; \u0441\u0430\u043c\u0430\u044f \u00ab\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u044f\u00bb.<\/h2>\n<p>\u0421\u0430\u043c\u044b\u0439 \u0441\u043a\u0440\u043e\u043c\u043d\u044b\u0439 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u0438\u043a \u0441\u043e\u0440\u0435\u0432\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-<em>\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-<\/em>\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u043d\u043e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0448\u0438\u0439 \u043e\u0441\u044f\u0437\u0430\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n<p>\u0412 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u0445 \u0435\u0432\u0440\u043e\u043f\u0435\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u044b MAGIC (<strong>MA<\/strong>skless litho<strong>G<\/strong>raphy for <strong>IC<\/strong> manufacturing), \u0431\u044b\u043b\u0438 \u0432\u044b\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u044b 11,75 \u043c\u043b\u043d. \u0435\u0432\u0440\u043e \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0443 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0439 MAPPER \u0438 IMS Nanofabrication.<\/p>\n<p>\u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f IMS Nanofabrication AG (\u0410\u0432\u0441\u0442\u0440\u0438\u044f) \u0432\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u043b\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-<em>\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e<\/em>-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 CHARPAN (<strong>Char<\/strong>ged <strong>Pa<\/strong>rticle <strong>N<\/strong>anotech).<\/p>\n<p>\u041a \u0444\u0435\u0432\u0440\u0430\u043b\u044e 2009 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u0431\u044b\u043b \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0435\u0446 \u0434\u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043e\u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043f\u0446\u0438\u0438. \u041d\u0430 \u0438\u043e\u043d\u0430\u0445 \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0441 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0435\u0439 10 \u043a\u044d\u0412 \u043f\u0440\u0438 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0435 \u043b\u0443\u0447\u0430 12,5 \u043d\u043c \u043d\u0430 \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0435 HSQ \u0431\u044b\u043b\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 16 \u043d\u043c. \u041a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0432 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u0435 ~43\u2019000 \u0448\u0442.<\/p>\n<p>\u041d\u043e \u0438\u043e\u043d\u044b \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430 \u043d\u0435\u0436\u0435\u043b\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442, \u043e\u0441\u0442\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439\u0441\u044f \u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430.<\/p>\n<p>\u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443, \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u044f \u0441 2009 \u0433\u043e\u0434\u0430, \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u0435\u0441\u043b\u0430 \u0441\u0432\u043e\u0435 \u0432\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-<em>\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-<\/em>\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0443 RIMANA (<strong>R<\/strong>adical <strong>I<\/strong>nnovation <strong>Ma<\/strong>skless <strong>Na<\/strong>nolithography), \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0444\u0438\u043d\u0430\u043d\u0441\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0435 \u043e\u0442 \u0415\u0432\u0440\u043e\u043f\u0435\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u0438. \u041f\u0440\u0438\u0447\u0435\u043c, \u0432\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u0430\u044f \u0438 \u0433\u0430\u0441\u044f\u0449\u0430\u044f \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u0430 \u0438\u0437 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0430 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438.<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780q1\/getpro\/habr\/upload_files\/4cd\/da7\/8b8\/4cdda78b8c663dad560db159ad05cd55.jpg\" alt=\"\u0422\u0435\u0441\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0434\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043f\u0446\u0438\u0438: \u041f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442 CHARPAN (\u0441\u043b\u0435\u0432\u0430), \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442 RIMANA (\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430) \" title=\"\u0422\u0435\u0441\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0434\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043f\u0446\u0438\u0438: \u041f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442 CHARPAN (\u0441\u043b\u0435\u0432\u0430), \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442 RIMANA (\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430) \" width=\"1164\" height=\"671\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/upload_files\/4cd\/da7\/8b8\/4cdda78b8c663dad560db159ad05cd55.jpg\" data-blurred=\"true\"\/><figcaption>\u0422\u0435\u0441\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0434\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043f\u0446\u0438\u0438: \u041f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442 CHARPAN (\u0441\u043b\u0435\u0432\u0430), \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442 RIMANA (\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430) <\/figcaption><\/figure>\n<p>\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u0430\u044f \u043a\u043e\u043b\u043e\u043d\u0430 \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0443 RIMANA \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u043b\u0430 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e 2\u2019500 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0438\u0437 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 43\u2019000. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0441 \u0447\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0442\u0430\u043b\u0430 2009 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u0431\u044b\u043b\u043e \u043d\u0430\u0447\u0430\u0442\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430 \u043d\u0430\u0434 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043b\u043e\u043d\u044b \u0438 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u044b \u0434\u043b\u044f \u043d\u0435\u0435.<\/p>\n<p>\u041a 2013 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0431\u044b\u043b \u0441\u043e\u0431\u0440\u0430\u043d \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u0441 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u0435\u0439 \u043d\u0430 262\u2019144 (512\u0445512) \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0441 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u043b\u0443\u0447\u0430 20 \u043d\u043c.<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780q1\/getpro\/habr\/upload_files\/154\/ecc\/8fa\/154ecc8fa33eda548cc202820c18ca6c.jpg\" width=\"1241\" height=\"622\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/upload_files\/154\/ecc\/8fa\/154ecc8fa33eda548cc202820c18ca6c.jpg\" data-blurred=\"true\"\/><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0434\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043f\u0446\u0438\u0438 IMS-NANO \u2013 \u0430\u043f\u043f\u0430\u0440\u0430\u0442 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432 eMET (<strong>e<\/strong>lectron <strong>M<\/strong>ask <strong>E<\/strong>xposure <strong>T<\/strong>ool):<\/p>\n<div>\n<div class=\"table\">\n<table>\n<tbody>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"464\" width=\"464\">\n<p align=\"left\">\u041a\u043e\u043b-\u0432\u043e \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 (# of programmable beams)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">262\u2019144 \u0448\u0442.<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"464\" width=\"464\">\n<p align=\"left\">\u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 (Data path)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">12.8 \u0413\u0431\u0438\u0442\/\u0441<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"464\" width=\"464\">\n<p align=\"left\">\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 (Beam energy)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">50 \u043a\u044d\u0412<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"464\" width=\"464\">\n<p align=\"left\">\u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u043b\u0443\u0447\u0430 (Beam size)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\"> 20 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"464\" width=\"464\">\n<p align=\"left\">\u0440\u0430\u0437\u043c\u044b\u0442\u0438\u0435 (Column blur)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">5\u043d\u043c 1\u0441\u0438\u0433\u043c\u0430<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"464\" width=\"464\">\n<p align=\"left\">\u0441\u0435\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043b\u0443\u0447\u0430 (Address grid<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">0.1 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"464\" width=\"464\">\n<p align=\"left\">\u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0437\u0430\u043f\u0438\u0441\u0438 (Writing)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e \u0441\u0442\u043e\u043b\u0443<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"464\" width=\"464\">\n<p align=\"left\">\u043e\u0431\u0449\u0438\u0439 \u0442\u043e\u043a \u043a\u043e\u043b\u043e\u043d\u044b (Current) <\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">0.2-1 \u043c\u043a\u0410<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"464\" width=\"464\">\n<p align=\"left\">\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c (TPT)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\"><strong>\u0434\u043e 10 \u0441\u043c<sup>2<\/sup>\/\u0447\u0430\u0441<\/strong><\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u0448\u0438\u043b\u0430 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430 \u0434\u043e 20 \u043d\u043c \u2013 \u044d\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432 \u0442\u043e\u043a \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430, \u0430 \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0441\u0442\u0430 \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043f\u043e\u043b\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430 \u0438 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438, \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0442\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 1\/3-1\/2 \u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430 \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430.<\/p>\n<figure class=\"float\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/getpro\/habr\/upload_files\/8d1\/49f\/fff\/8d149ffffae0e3644a2147420b731d7d.png\" width=\"167\" height=\"158\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/upload_files\/8d1\/49f\/fff\/8d149ffffae0e3644a2147420b731d7d.png\"\/><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0422\u0430\u043a \u043f\u0440\u0438 \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0432\u0438\u043d\u0443 \u0435\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430 \u0438 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e 33% \u043e\u0442 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0433\u043e,\u00a0 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0442\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u043c 10 \u043d\u043c.  \u041b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u043e\u0442 IMS \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430 \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043e 0,1 \u043d\u043c<\/p>\n<p>\u0412 IMS Nanofabrication \u0440\u0435\u0448\u0438\u043b\u0438 \u043d\u0435 \u0445\u0432\u0430\u0442\u0430\u0442\u044c \u0437\u0432\u0435\u0437\u0434 \u0441 \u043d\u0435\u0431\u0435\u0441 \u2013 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0438\u0442\u044c \u0430\u043f\u043f\u0430\u0440\u0430\u0442 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441 \u0430\u043f\u043f\u0430\u0440\u0430\u0442\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043e\u0442 ASML (\u043c\u043e\u043d\u043e\u043f\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438). \u0412 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0448\u043b\u0438 \u043f\u043e \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0443\u0442\u0438 \u2013 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043b\u043e\u043d\u044b \u043f\u043e \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0430\u0445. \u0421 <strong>\u043d\u0435<\/strong>\u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0442\u043e\u043a\u043e\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0443\u0448\u043a\u0438 \u0438 \u0441 <strong>\u043d\u0435<\/strong>\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043c\u0438 \u0442\u043e\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0430\u0445.<\/p>\n<p>\u041e\u0442\u043a\u0430\u0437 \u043e\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0442\u043e\u043a\u043e\u0432, \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u043b \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043e\u0431\u0449\u0435\u043f\u0440\u0438\u043d\u044f\u0442\u0443\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0445\u0435\u043c\u0443 \u0441 \u043a\u0440\u043e\u0441\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 (\u043c\u0435\u0441\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0433\u0434\u0435 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0443\u0447\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0441\u0435\u043a\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f), \u0438 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c, \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u043e \u0438\u0437\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 <em>\u043c\u0430\u043a\u0440\u043e-<\/em>\u043b\u0438\u043d\u0437\u044b \u0438 <em>\u043c\u0430\u043a\u0440\u043e-<\/em>\u0434\u0435\u0444\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u044b \u0434\u043b\u044f \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0441\u0440\u0430\u0437\u0443. \u042d\u0442\u043e \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0443\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438\u043b\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0445\u0435\u043c\u0443 \u0438 \u0441\u0445\u0435\u043c\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780q1\/getpro\/habr\/upload_files\/33d\/4d8\/9bf\/33d4d89bfb087c8a64b2e126f8e24501.jpg\" alt=\"\u0421\u0445\u0435\u043c\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 IMS-NANO\" title=\"\u0421\u0445\u0435\u043c\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 IMS-NANO\" width=\"1046\" height=\"652\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/upload_files\/33d\/4d8\/9bf\/33d4d89bfb087c8a64b2e126f8e24501.jpg\" data-blurred=\"true\"\/><figcaption>\u0421\u0445\u0435\u043c\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 IMS-NANO<\/figcaption><\/figure>\n<p>\u041f\u043e\u0442\u043e\u043a \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0438\u0437 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 (Electron source), \u043a\u043e\u043b\u043b\u0438\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0434\u0435\u043d\u0441\u043e\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u043e\u0439 (Electrostatic multielectrode condenser optic). \u041f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u043e\u0439 (APS), \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0439 \u0438\u0437 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b (Aperture plate) \u0438 \u0433\u0430\u0441\u044f\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b (Blanking plate) \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439. \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u044f\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043b\u0438\u043d\u0437\u043e\u0439 (Electrostatic multielectrode accelerating lens) \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e 50 \u043a\u044d\u0412 \u0438 \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 1-\u0439 \u043a\u0440\u043e\u0441\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440.<\/p>\n<p>1-\u044f \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u043b\u0438\u043d\u0437\u0430 (1st magnetic lens) \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u0432\u043e 2-\u0439 \u043a\u0440\u043e\u0441\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440 \u0432 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0435 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b (Stopping plate at 2nd cross-over). \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0431\u044b\u043b \u043d\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d \u0433\u0430\u0441\u044f\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u043e\u0439 (\u044f\u0440\u043a\u043e-\u0437\u0435\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439) \u043d\u0435 \u043f\u043e\u043f\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0432\u043e 2-\u0439 \u043a\u0440\u043e\u0441\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440, \u0430 \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u043e\u0439. \u0421 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043f\u043e\u043b\u044e\u0441\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u044f\u044e\u0449\u0435\u0439 (\u0434\u0438\u0444\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e\u0439) \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b (Beam steering multipole) \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f, \u0442\u0435\u043c \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u0436\u0443\u0442\u043a\u0438 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043b\u0443\u0447\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0435\u043d\u0441\u0438\u0440\u0443\u044f \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e\u0441\u044f \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u043e\u043b\u0430 (Scanning stage). 2-\u044f \u043e\u0431\u044a\u0435\u043a\u0442\u043d\u0430\u044f \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u043b\u0438\u043d\u0437\u0430 (2nd magnetic lens) \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435 \u0438\u043b\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u043e\u043c \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u043c (Resist coated 6\u201d mask blank).<\/p>\n<p>\u041e\u0431\u0449\u0435\u0435 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 (\u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435) \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 200 \u043a\u0440\u0430\u0442 (Electron beam projection optics with 200x reduction).<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780q1\/getpro\/habr\/upload_files\/bbb\/90f\/7a0\/bbb90f7a0d01702aba804ef4734b49ca.jpg\" alt=\"\u0421\u0435\u0440\u0434\u0446\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 - \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 (APS). \u041d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u0438\u0437 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0430 CHARPAN \u0432 \u0441\u0431\u043e\u0440\u0435, \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0430\u044f \u0438\u0437 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \" title=\"\u0421\u0435\u0440\u0434\u0446\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 - \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 (APS). \u041d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u0438\u0437 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0430 CHARPAN \u0432 \u0441\u0431\u043e\u0440\u0435, \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0430\u044f \u0438\u0437 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \" width=\"891\" height=\"383\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/upload_files\/bbb\/90f\/7a0\/bbb90f7a0d01702aba804ef4734b49ca.jpg\" data-blurred=\"true\"\/><figcaption>\u0421\u0435\u0440\u0434\u0446\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 &#8212; \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 (APS). \u041d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u0438\u0437 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0430 CHARPAN \u0432 \u0441\u0431\u043e\u0440\u0435, \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0430\u044f \u0438\u0437 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d <\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0425\u043e\u0442\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043d\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438\u0441\u044f \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (10 \u043a\u0432. \u0441\u043c \u0432 \u0447\u0430\u0441), \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-<em>\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-<\/em>\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u043d\u043e \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043e\u043a \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-<em>\u043e\u0434\u043d\u043e-<\/em>\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438.<\/p>\n<p>\u0410 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430, \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u043b\u0430 \u0434\u043e\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u0435\u0435 \u0434\u043e \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432. \u041d\u0430 \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0439 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u044f\u0435\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430\u0445 \u0422\u0430\u0439\u0432\u0430\u043d\u044f, \u042e\u0436\u043d\u043e\u0439 \u041a\u043e\u0440\u0435\u0438 \u0438 \u0421\u0428\u0410.<\/p>\n<p>\u041f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f:<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780q1\/getpro\/habr\/upload_files\/f2c\/bed\/62d\/f2cbed62d864f45564b3c5c4a35a6ac5.jpg\" alt=\"a) 30 \u043d\u043c +45 \u0433\u0440. -45 \u0433\u0440. \u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 HSQ \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 (\u0441\u043b\u0435\u0432\u0430), \u043d\u0435\u0433\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 pCAR \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 (\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430), \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 20 \u043d\u043c, \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 50 \u043a\u044d\u0412, b) \u0413\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0448\u0430\u0433\u043e\u043c 24 \u043d\u043c (HP, half pitch), \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 50 \u043a\u044d\u0412, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 20 \u043d\u043c, \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 4 \u043c\u043a\u043c,\" title=\"a) 30 \u043d\u043c +45 \u0433\u0440. -45 \u0433\u0440. \u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 HSQ \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 (\u0441\u043b\u0435\u0432\u0430), \u043d\u0435\u0433\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 pCAR \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 (\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430), \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 20 \u043d\u043c, \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 50 \u043a\u044d\u0412, b) \u0413\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0448\u0430\u0433\u043e\u043c 24 \u043d\u043c (HP, half pitch), \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 50 \u043a\u044d\u0412, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 20 \u043d\u043c, \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 4 \u043c\u043a\u043c,\" width=\"675\" height=\"704\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/upload_files\/f2c\/bed\/62d\/f2cbed62d864f45564b3c5c4a35a6ac5.jpg\" data-blurred=\"true\"\/><figcaption>a) 30 \u043d\u043c +45 \u0433\u0440. -45 \u0433\u0440. \u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 HSQ \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 (\u0441\u043b\u0435\u0432\u0430), \u043d\u0435\u0433\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 pCAR \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 (\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430), \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 20 \u043d\u043c, \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 50 \u043a\u044d\u0412, b) \u0413\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0448\u0430\u0433\u043e\u043c 24 \u043d\u043c (HP, half pitch), \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 50 \u043a\u044d\u0412, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 20 \u043d\u043c, \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 4 \u043c\u043a\u043c,<\/figcaption><\/figure>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780q1\/getpro\/habr\/upload_files\/54a\/29c\/3df\/54a29c3df73fac53f99c7f48975b6b81.jpg\" alt=\"\u0441) \u0418\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 24 \u043d\u043c \u043f\u043e\u0434 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u043c HSQ \u0438 \u043d\u0435\u0433\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u043c pCAR \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0435 (\u043d\u0430\u0434\u043f\u0438\u0441\u0438 \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u043d\u044b \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 30 \u043d\u043c), \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 50 \u043a\u044d\u0412, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 20 \u043d\u043c, \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 4 \u043c\u043a\u043c, \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 200:1.\" title=\"\u0441) \u0418\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 24 \u043d\u043c \u043f\u043e\u0434 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u043c HSQ \u0438 \u043d\u0435\u0433\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u043c pCAR \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0435 (\u043d\u0430\u0434\u043f\u0438\u0441\u0438 \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u043d\u044b \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 30 \u043d\u043c), \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 50 \u043a\u044d\u0412, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 20 \u043d\u043c, \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 4 \u043c\u043a\u043c, \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 200:1.\" width=\"1324\" height=\"593\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/upload_files\/54a\/29c\/3df\/54a29c3df73fac53f99c7f48975b6b81.jpg\" data-blurred=\"true\"\/><figcaption>\u0441) \u0418\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 24 \u043d\u043c \u043f\u043e\u0434 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u043c HSQ \u0438 \u043d\u0435\u0433\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u043c pCAR \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0435 (\u043d\u0430\u0434\u043f\u0438\u0441\u0438 \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u043d\u044b \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 30 \u043d\u043c), \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 50 \u043a\u044d\u0412, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 20 \u043d\u043c, \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 4 \u043c\u043a\u043c, \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 200:1.<\/figcaption><\/figure>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780q1\/getpro\/habr\/upload_files\/8b6\/cdb\/dd6\/8b6cdbdd680425808071fe4df1ab7612.jpg\" alt=\"\u041f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b (proof-of-concept) \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u0438, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0435 \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438. \u0420\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 HSQ, \u0441\u043b\u043e\u0439 50 \u043d\u043c,\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 15 \u043a\u044d\u0412, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 17.5 \u043d\u043c, \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 3.5 \u043c\u043a\u043c, \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 200:1. \" title=\"\u041f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b (proof-of-concept) \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u0438, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0435 \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438. \u0420\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 HSQ, \u0441\u043b\u043e\u0439 50 \u043d\u043c,\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 15 \u043a\u044d\u0412, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 17.5 \u043d\u043c, \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 3.5 \u043c\u043a\u043c, \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 200:1. \" width=\"1365\" height=\"561\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/upload_files\/8b6\/cdb\/dd6\/8b6cdbdd680425808071fe4df1ab7612.jpg\" data-blurred=\"true\"\/><figcaption>\u041f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b (proof-of-concept) \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u0438, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0435 \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438. \u0420\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 HSQ, \u0441\u043b\u043e\u0439 50 \u043d\u043c,\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 15 \u043a\u044d\u0412, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 17.5 \u043d\u043c, \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 3.5 \u043c\u043a\u043c, \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 200:1. <\/figcaption><\/figure>\n<p>\u041f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430 \u043a\u0430\u0440\u0442\u0438\u043d\u043a\u0430\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043c\u044b \u0441 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0438\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f EUV \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 (\u0434\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13,5 \u043d\u043c) \u043e\u0442 ASML, \u043d\u043e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0435\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c. \u0420\u044b\u043d\u043a\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043e\u0442 IMS Nanofabrication \u043e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432, (\u043a\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0448\u0438\u0439 \u0432 2021 \u0433\u043e\u0434\u0443 4,2 \u043c\u043b\u0440\u0434 USD), \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0438 \u043c\u0430\u043b\u044b\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c.<\/p>\n<p>\u041f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u0445 Mapper \u0438 KLA-Tencor \u0432 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u044f\u0445.<\/p>\n<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p> <!----> <!----><\/div>\n<p> <!----> <!----><br \/> \u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0440\u0438\u0433\u0438\u043d\u0430\u043b \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438 <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/post\/717736\/\"> https:\/\/habr.com\/ru\/post\/717736\/<\/a><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<div><\/div>\n<div id=\"post-content-body\">\n<div>\n<div class=\"article-formatted-body article-formatted-body article-formatted-body_version-2\">\n<div xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xhtml\">\n<h2>\u0414\u043b\u044f\u00a0\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0430 \u043e\u00a0\u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0435.<\/h2>\n<p>\u0418\u0437 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u00ab\u0443\u0442\u044e\u0433\u0430\u00bb \u043c\u044b \u0441\u043b\u044b\u0448\u0438\u043c \u043e \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430\u0445 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435. \u0422\u0435, \u043a\u0442\u043e \u0447\u0443\u0442\u044c \u0433\u043b\u0443\u0431\u0436\u0435 \u043f\u043e\u0433\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d \u0432 \u0442\u0435\u043c\u0443 \u0441\u043b\u044b\u0448\u0430\u043b\u0438 \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0432\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b \u0438 \u0447\u0442\u043e \u0441\u0430\u043c\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0442\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0441 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 \u043d\u0430 DUV (Deep Ultra-Violet, \u0413\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 193 \u043d\u043c) \u043d\u0430 EUV (Extreme Ultra-Violet, \u042d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13,5 \u043d\u043c).<\/p>\n<p>\u041d\u043e \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043e\u043a \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435, \u043d\u0443\u0436\u043d\u043e \u0441\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0435\u0433\u043e \u043d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0435. \u041f\u0440\u0438\u0447\u0435\u043c, \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043e\u043a \u043d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0435 \u0437\u0430\u0447\u0430\u0441\u0442\u0443\u044e \u0431\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0430\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0435\u0435, \u0447\u0435\u043c \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0432 \u0438\u0442\u043e\u0433\u0435 \u043e\u0442\u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u043e\u043a \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435. \u042d\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0430 \u00ab\u0431\u043b\u0438\u0437\u043e\u0441\u0442\u0438\u00bb \u0438 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u0438.<\/p>\n<figure class=\"\"><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0425\u043e\u0442\u044f \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0430 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0432 4 \u0440\u0430\u0437\u0430 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0438\u0442\u043e\u0433\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435, \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0435\u0433\u043e \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043d\u0435 \u0445\u0443\u0436\u0435 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435, \u0442.\u043a. \u0432\u0441\u0435 \u00ab\u0440\u0432\u0430\u043d\u044b\u0435\u00bb \u043a\u0440\u0430\u044f \u0438 \u00ab\u043e\u043a\u0440\u0443\u0433\u043b\u044b\u0435\u00bb \u0443\u0433\u043b\u044b \u043d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u044b \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0447\u0435\u043c \u0432 4 \u0440\u0430\u0437\u0430.<\/p>\n<p>\u0414\u043e \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430, \u0430 \u0442\u043e\u0447\u043d\u0435\u0435, \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0434\u043e 180 \u043d\u043c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u044b \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432. \u041d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043e\u0442 180 \u043d\u043c \u0438 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u0443\u0436\u0435 \u043d\u0435\u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044f \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447, \u0434\u043e\u0431\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432. \u0418 \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432. \u0422.\u043a. \u0434\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0443 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u043e\u0432 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0442\u043e \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0438\u0441\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043b\u0443\u0447\u043e\u043c \u0438\u0437 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043e 1-5 \u043d\u043c.<\/p>\n<p>\u041d\u043e\u2026 \u043a\u0430\u043a \u0432\u0441\u0435\u0433\u0434\u0430 \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0442\u043e \u00ab\u043d\u043e\u00bb\u2026<\/p>\n<p>\u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0443 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0438 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0443 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432.<\/p>\n<p>\u041d\u0430 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0434\u043e \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0443\u0442\u043e\u043a, \u0430 \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0443\u0447\u0435\u0441\u0442\u044c \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u043b\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0442 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0442\u044c \u0438\u0437 80 \u0448\u0442. \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432, \u0442\u043e \u0441\u0440\u043e\u043a \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0442\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432 (\u043c\u0430\u0441\u043e\u043a) \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0437\u0430\u043d\u044f\u0442\u044c \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0435\u0432.<\/p>\n<p>\u0423\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 (\u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0430 15 \u043c\u043b\u043d. USD), \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u043f\u043e\u043d\u044f\u0442\u043d\u043e, \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0442 \u043c\u0430\u0441\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 130 \u043d\u043c \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u0442\u043e\u0438\u0442\u044c 500 \u0442\u044b\u0441. USD, \u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0442\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 7-14 \u043d\u043c \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043b\u0435\u0433\u043a\u043e \u0443\u0439\u0442\u0438 \u0437\u0430 10 \u043c\u043b\u043d. USD.<\/p>\n<h2>\u041c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f?<\/h2>\n<p>\u0414\u0430, \u044d\u0442\u043e \u0442\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u043e\u0438\u0442. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0435\u0441\u0442\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0440\u043e\u0434\u0438\u043b\u0430\u0441\u044c \u0438\u0434\u0435\u044f \u043f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u0438\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0434\u043e \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d\u0430 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439. \u042d\u0442\u0438 \u043b\u0443\u0447\u0438 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e-\u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u043d\u043e \u00ab\u0434\u0435\u0440\u0433\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f\u00bb \u0438 \u043e\u0442\u0431\u0440\u0430\u0441\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0442\u043e \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 (\u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e-\u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0435), \u0442\u043e \u043c\u0438\u043c\u043e (\u043d\u0430 \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c). \u0422\u0430\u043a \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435.<\/p>\n<p>\u0412\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u0438\u0442 \u043a\u0440\u0430\u0441\u0438\u0432\u043e \u2013 \u0441\u043e\u0442\u043d\u0438 \u0442\u044b\u0441\u044f\u0447, \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439, \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043e\u0431\u043b\u0443\u0447\u0430\u044e\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 \u0441 \u043d\u0435\u0432\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0432 1-5 \u043d\u043c. \u041c\u044b \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044e, \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0432\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435 \u043e\u0442\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043e\u0442 \u0441\u0442\u043e\u043b\u044c \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0433\u043e \u0437\u0432\u0435\u043d\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u044b. \u0418 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f\u043e\u0432, \u043c\u0430\u043b\u044b\u0445 \u0438 \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u043f\u043e \u0440\u0430\u0437\u0443\u043c\u043d\u044b\u043c \u0446\u0435\u043d\u0430\u043c!<\/p>\n<p>\u041d\u043e\u2026 \u041e\u043f\u044f\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e \u00ab\u043d\u043e\u00bb\u2026 \u00ab\u0413\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e \u0431\u044b\u043b\u043e \u043d\u0430 \u0431\u0443\u043c\u0430\u0433\u0435\u00bb.<\/p>\n<p>\u041e\u0442\u0441\u044e\u0434\u0430 \u043d\u0430\u0447\u043d\u0435\u043c \u043e\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c \u043d\u0430 \u043f\u0443\u0442\u0438 \u0438\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438.<\/p>\n<h2>\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043e\u0442 IMS Nanofabrication (IMS-NANO) &#8212; \u0441\u0430\u043c\u0430\u044f \u00ab\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u044f\u00bb.<\/h2>\n<p>\u0421\u0430\u043c\u044b\u0439 \u0441\u043a\u0440\u043e\u043c\u043d\u044b\u0439 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u0438\u043a \u0441\u043e\u0440\u0435\u0432\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-<em>\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-<\/em>\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u043d\u043e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0448\u0438\u0439 \u043e\u0441\u044f\u0437\u0430\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n<p>\u0412 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u0445 \u0435\u0432\u0440\u043e\u043f\u0435\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u044b MAGIC (<strong>MA<\/strong>skless litho<strong>G<\/strong>raphy for <strong>IC<\/strong> manufacturing), \u0431\u044b\u043b\u0438 \u0432\u044b\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u044b 11,75 \u043c\u043b\u043d. \u0435\u0432\u0440\u043e \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0443 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0439 MAPPER \u0438 IMS Nanofabrication.<\/p>\n<p>\u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f IMS Nanofabrication AG (\u0410\u0432\u0441\u0442\u0440\u0438\u044f) \u0432\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u043b\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-<em>\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e<\/em>-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 CHARPAN (<strong>Char<\/strong>ged <strong>Pa<\/strong>rticle <strong>N<\/strong>anotech).<\/p>\n<p>\u041a \u0444\u0435\u0432\u0440\u0430\u043b\u044e 2009 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u0431\u044b\u043b \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0435\u0446 \u0434\u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043e\u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043f\u0446\u0438\u0438. \u041d\u0430 \u0438\u043e\u043d\u0430\u0445 \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0441 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0435\u0439 10 \u043a\u044d\u0412 \u043f\u0440\u0438 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0435 \u043b\u0443\u0447\u0430 12,5 \u043d\u043c \u043d\u0430 \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0435 HSQ \u0431\u044b\u043b\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 16 \u043d\u043c. \u041a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0432 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u0435 ~43\u2019000 \u0448\u0442.<\/p>\n<p>\u041d\u043e \u0438\u043e\u043d\u044b \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430 \u043d\u0435\u0436\u0435\u043b\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442, \u043e\u0441\u0442\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439\u0441\u044f \u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430.<\/p>\n<p>\u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443, \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u044f \u0441 2009 \u0433\u043e\u0434\u0430, \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u0435\u0441\u043b\u0430 \u0441\u0432\u043e\u0435 \u0432\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-<em>\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-<\/em>\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0443 RIMANA (<strong>R<\/strong>adical <strong>I<\/strong>nnovation <strong>Ma<\/strong>skless <strong>Na<\/strong>nolithography), \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0444\u0438\u043d\u0430\u043d\u0441\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0435 \u043e\u0442 \u0415\u0432\u0440\u043e\u043f\u0435\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u0438. \u041f\u0440\u0438\u0447\u0435\u043c, \u0432\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u0430\u044f \u0438 \u0433\u0430\u0441\u044f\u0449\u0430\u044f \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u0430 \u0438\u0437 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0430 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438.<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption>\u0422\u0435\u0441\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0434\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043f\u0446\u0438\u0438: \u041f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442 CHARPAN (\u0441\u043b\u0435\u0432\u0430), \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442 RIMANA (\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430) <\/figcaption><\/figure>\n<p>\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u0430\u044f \u043a\u043e\u043b\u043e\u043d\u0430 \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0443 RIMANA \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u043b\u0430 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e 2\u2019500 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0438\u0437 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 43\u2019000. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0441 \u0447\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0442\u0430\u043b\u0430 2009 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u0431\u044b\u043b\u043e \u043d\u0430\u0447\u0430\u0442\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430 \u043d\u0430\u0434 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043b\u043e\u043d\u044b \u0438 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u044b \u0434\u043b\u044f \u043d\u0435\u0435.<\/p>\n<p>\u041a 2013 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0431\u044b\u043b \u0441\u043e\u0431\u0440\u0430\u043d \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u0441 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u0435\u0439 \u043d\u0430 262\u2019144 (512\u0445512) \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0441 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u043b\u0443\u0447\u0430 20 \u043d\u043c.<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0434\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043f\u0446\u0438\u0438 IMS-NANO \u2013 \u0430\u043f\u043f\u0430\u0440\u0430\u0442 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432 eMET (<strong>e<\/strong>lectron <strong>M<\/strong>ask <strong>E<\/strong>xposure <strong>T<\/strong>ool):<\/p>\n<div>\n<div class=\"table\">\n<table>\n<tbody>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"464\" width=\"464\">\n<p align=\"left\">\u041a\u043e\u043b-\u0432\u043e \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 (# of programmable beams)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">262\u2019144 \u0448\u0442.<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"464\" width=\"464\">\n<p align=\"left\">\u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 (Data path)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">12.8 \u0413\u0431\u0438\u0442\/\u0441<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"464\" width=\"464\">\n<p align=\"left\">\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 (Beam energy)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">50 \u043a\u044d\u0412<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"464\" width=\"464\">\n<p align=\"left\">\u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u043b\u0443\u0447\u0430 (Beam size)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\"> 20 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"464\" width=\"464\">\n<p align=\"left\">\u0440\u0430\u0437\u043c\u044b\u0442\u0438\u0435 (Column blur)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">5\u043d\u043c 1\u0441\u0438\u0433\u043c\u0430<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"464\" width=\"464\">\n<p align=\"left\">\u0441\u0435\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043b\u0443\u0447\u0430 (Address grid<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">0.1 \u043d\u043c<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"464\" width=\"464\">\n<p align=\"left\">\u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0437\u0430\u043f\u0438\u0441\u0438 (Writing)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e \u0441\u0442\u043e\u043b\u0443<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"464\" width=\"464\">\n<p align=\"left\">\u043e\u0431\u0449\u0438\u0439 \u0442\u043e\u043a \u043a\u043e\u043b\u043e\u043d\u044b (Current) <\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">0.2-1 \u043c\u043a\u0410<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"464\" width=\"464\">\n<p align=\"left\">\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c (TPT)<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\"><strong>\u0434\u043e 10 \u0441\u043c<sup>2<\/sup>\/\u0447\u0430\u0441<\/strong><\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<p>\u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u0448\u0438\u043b\u0430 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430 \u0434\u043e 20 \u043d\u043c \u2013 \u044d\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432 \u0442\u043e\u043a \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430, \u0430 \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0441\u0442\u0430 \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043f\u043e\u043b\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430 \u0438 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438, \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0442\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 1\/3-1\/2 \u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430 \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430.<\/p>\n<figure class=\"float\"><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0422\u0430\u043a \u043f\u0440\u0438 \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0432\u0438\u043d\u0443 \u0435\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430 \u0438 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e 33% \u043e\u0442 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0433\u043e,\u00a0 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0442\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u043c 10 \u043d\u043c.  \u041b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u043e\u0442 IMS \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430 \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043e 0,1 \u043d\u043c<\/p>\n<p>\u0412 IMS Nanofabrication \u0440\u0435\u0448\u0438\u043b\u0438 \u043d\u0435 \u0445\u0432\u0430\u0442\u0430\u0442\u044c \u0437\u0432\u0435\u0437\u0434 \u0441 \u043d\u0435\u0431\u0435\u0441 \u2013 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0438\u0442\u044c \u0430\u043f\u043f\u0430\u0440\u0430\u0442 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441 \u0430\u043f\u043f\u0430\u0440\u0430\u0442\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043e\u0442 ASML (\u043c\u043e\u043d\u043e\u043f\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438). \u0412 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0448\u043b\u0438 \u043f\u043e \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0443\u0442\u0438 \u2013 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043b\u043e\u043d\u044b \u043f\u043e \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0430\u0445. \u0421 <strong>\u043d\u0435<\/strong>\u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0442\u043e\u043a\u043e\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0443\u0448\u043a\u0438 \u0438 \u0441 <strong>\u043d\u0435<\/strong>\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043c\u0438 \u0442\u043e\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0430\u0445.<\/p>\n<p>\u041e\u0442\u043a\u0430\u0437 \u043e\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0442\u043e\u043a\u043e\u0432, \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u043b \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043e\u0431\u0449\u0435\u043f\u0440\u0438\u043d\u044f\u0442\u0443\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0445\u0435\u043c\u0443 \u0441 \u043a\u0440\u043e\u0441\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 (\u043c\u0435\u0441\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0433\u0434\u0435 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0443\u0447\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0441\u0435\u043a\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f), \u0438 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c, \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u043e \u0438\u0437\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 <em>\u043c\u0430\u043a\u0440\u043e-<\/em>\u043b\u0438\u043d\u0437\u044b \u0438 <em>\u043c\u0430\u043a\u0440\u043e-<\/em>\u0434\u0435\u0444\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u044b \u0434\u043b\u044f \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0441\u0440\u0430\u0437\u0443. \u042d\u0442\u043e \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0443\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438\u043b\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0445\u0435\u043c\u0443 \u0438 \u0441\u0445\u0435\u043c\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption>\u0421\u0445\u0435\u043c\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 IMS-NANO<\/figcaption><\/figure>\n<p>\u041f\u043e\u0442\u043e\u043a \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0438\u0437 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 (Electron source), \u043a\u043e\u043b\u043b\u0438\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0434\u0435\u043d\u0441\u043e\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u043e\u0439 (Electrostatic multielectrode condenser optic). \u041f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u043e\u0439 (APS), \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0439 \u0438\u0437 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b (Aperture plate) \u0438 \u0433\u0430\u0441\u044f\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b (Blanking plate) \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439. \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u044f\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043b\u0438\u043d\u0437\u043e\u0439 (Electrostatic multielectrode accelerating lens) \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e 50 \u043a\u044d\u0412 \u0438 \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 1-\u0439 \u043a\u0440\u043e\u0441\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440.<\/p>\n<p>1-\u044f \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u043b\u0438\u043d\u0437\u0430 (1st magnetic lens) \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u0432\u043e 2-\u0439 \u043a\u0440\u043e\u0441\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440 \u0432 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0435 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b (Stopping plate at 2nd cross-over). \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0431\u044b\u043b \u043d\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d \u0433\u0430\u0441\u044f\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u043e\u0439 (\u044f\u0440\u043a\u043e-\u0437\u0435\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439) \u043d\u0435 \u043f\u043e\u043f\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0432\u043e 2-\u0439 \u043a\u0440\u043e\u0441\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440, \u0430 \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u043e\u0439. \u0421 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043f\u043e\u043b\u044e\u0441\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u044f\u044e\u0449\u0435\u0439 (\u0434\u0438\u0444\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e\u0439) \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b (Beam steering multipole) \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f, \u0442\u0435\u043c \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u0436\u0443\u0442\u043a\u0438 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043b\u0443\u0447\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0435\u043d\u0441\u0438\u0440\u0443\u044f \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e\u0441\u044f \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u043e\u043b\u0430 (Scanning stage). 2-\u044f \u043e\u0431\u044a\u0435\u043a\u0442\u043d\u0430\u044f \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u043b\u0438\u043d\u0437\u0430 (2nd magnetic lens) \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435 \u0438\u043b\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u043e\u043c \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u043c (Resist coated 6\u201d mask blank).<\/p>\n<p>\u041e\u0431\u0449\u0435\u0435 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 (\u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435) \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 200 \u043a\u0440\u0430\u0442 (Electron beam projection optics with 200x reduction).<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption>\u0421\u0435\u0440\u0434\u0446\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 &#8212; \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 (APS). \u041d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u0438\u0437 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0430 CHARPAN \u0432 \u0441\u0431\u043e\u0440\u0435, \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0430\u044f \u0438\u0437 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d <\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0425\u043e\u0442\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043d\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438\u0441\u044f \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (10 \u043a\u0432. \u0441\u043c \u0432 \u0447\u0430\u0441), \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-<em>\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-<\/em>\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u043d\u043e \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043e\u043a \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-<em>\u043e\u0434\u043d\u043e-<\/em>\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438.<\/p>\n<p>\u0410 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430, \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u043b\u0430 \u0434\u043e\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u0435\u0435 \u0434\u043e \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432. \u041d\u0430 \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0439 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u044f\u0435\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430\u0445 \u0422\u0430\u0439\u0432\u0430\u043d\u044f, \u042e\u0436\u043d\u043e\u0439 \u041a\u043e\u0440\u0435\u0438 \u0438 \u0421\u0428\u0410.<\/p>\n<p>\u041f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f:<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption>a) 30 \u043d\u043c +45 \u0433\u0440. -45 \u0433\u0440. \u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 HSQ \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 (\u0441\u043b\u0435\u0432\u0430), \u043d\u0435\u0433\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 pCAR \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 (\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0430), \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 20 \u043d\u043c, \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 50 \u043a\u044d\u0412, b) \u0413\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0448\u0430\u0433\u043e\u043c 24 \u043d\u043c (HP, half pitch), \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 50 \u043a\u044d\u0412, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 20 \u043d\u043c, \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 4 \u043c\u043a\u043c,<\/figcaption><\/figure>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption>\u0441) \u0418\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 24 \u043d\u043c \u043f\u043e\u0434 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u043c HSQ \u0438 \u043d\u0435\u0433\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u043c pCAR \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0435 (\u043d\u0430\u0434\u043f\u0438\u0441\u0438 \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u043d\u044b \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 30 \u043d\u043c), \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 50 \u043a\u044d\u0412, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 20 \u043d\u043c, \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 4 \u043c\u043a\u043c, \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 200:1.<\/figcaption><\/figure>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption>\u041f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b (proof-of-concept) \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u0438, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0435 \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438. \u0420\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 HSQ, \u0441\u043b\u043e\u0439 50 \u043d\u043c,\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 15 \u043a\u044d\u0412, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 17.5 \u043d\u043c, \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 3.5 \u043c\u043a\u043c, \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 200:1. <\/figcaption><\/figure>\n<p>\u041f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430 \u043a\u0430\u0440\u0442\u0438\u043d\u043a\u0430\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043c\u044b \u0441 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0438\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f EUV \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 (\u0434\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13,5 \u043d\u043c) \u043e\u0442 ASML, \u043d\u043e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0438 \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0435\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c. \u0420\u044b\u043d\u043a\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043e\u0442 IMS Nanofabrication \u043e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u0444\u043e\u0442\u043e\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432, (\u043a\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0448\u0438\u0439 \u0432 2021 \u0433\u043e\u0434\u0443 4,2 \u043c\u043b\u0440\u0434 USD), \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0438 \u043c\u0430\u043b\u044b\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c.<\/p>\n<p>\u041f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u0445 Mapper \u0438 KLA-Tencor \u0432 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u044f\u0445.<\/p>\n<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p> <!----> <!----><\/div>\n<p> <!----> <!----><br \/> \u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0440\u0438\u0433\u0438\u043d\u0430\u043b \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438 <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/post\/717736\/\"> https:\/\/habr.com\/ru\/post\/717736\/<\/a><br \/><\/br><\/br><\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[],"tags":[],"class_list":["post-345624","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/345624","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=345624"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/345624\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=345624"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=345624"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=345624"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}