{"id":346199,"date":"2023-03-02T21:02:36","date_gmt":"2023-03-02T21:02:36","guid":{"rendered":"http:\/\/savepearlharbor.com\/?p=346199"},"modified":"-0001-11-30T00:00:00","modified_gmt":"-0001-11-29T21:00:00","slug":"","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/savepearlharbor.com\/?p=346199","title":{"rendered":"<span>\u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0432\u043e\u0439\u043d\u044b \u2014 \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0432\u0438\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u0438<\/span>"},"content":{"rendered":"<div><\/div>\n<div id=\"post-content-body\">\n<div>\n<div class=\"article-formatted-body article-formatted-body article-formatted-body_version-2\">\n<div xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xhtml\">\n<blockquote>\n<p>\u041a\u043e\u043c\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u0438\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0432\u043e\u0434\u0447\u0438\u043a\u0430.<\/p>\n<p>\u0414\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u044f \u043d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u0430 \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u043c \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u043c \u0436\u0443\u0440\u043d\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u043c \u0438 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u043a\u043e\u043c \u0432 \u0441\u0444\u0435\u0440\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 &#8212; \u0414\u0438\u043b\u0430\u043d\u043e\u043c \u041f\u0430\u0442\u0435\u043b\u043e\u043c. \u041e\u043d\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0438\u0437 \u0441\u0435\u0431\u044f \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0432\u0437\u0433\u043b\u044f\u0434 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430\u0442\u0438\u043a\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0432\u043e\u0439\u043d \u0441 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0435\u043c. \u041f\u043e\u043c\u0438\u043c\u043e \u043e\u0431\u0449\u0435\u0433\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441\u0430,  \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u0441 \u043e\u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u0430 \u0442\u0435\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043f\u0440\u0438\u0437\u043c\u0443 \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u043e-\u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0433\u043b\u0443\u0431\u0436\u0435 \u043f\u043e\u043d\u044f\u0442\u044c \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u0438 \u0438, \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e, \u0432\u044b\u043d\u0435\u0441\u0442\u0438 \u0438\u0437 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<\/blockquote>\n<p><strong>\u0414\u0438\u043b\u0430\u043d \u041f\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c<\/strong><\/p>\n<p><strong>29 \u044f\u043d\u0432\u0430\u0440\u044f 2023-\u0433\u043e \u0433\u043e\u0434\u0430<\/strong><\/p>\n<h2>\u041f\u0440\u043e\u0431\u0435\u043b\u044b \u0432 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0443 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439 \u2014 ASML, SMEE, Nikon, Canon, EUV, DUV, ArFi, ArF Dry, KrF \u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442<\/h2>\n<p>\u042d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0445\u043e\u043b\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u0432\u043e\u0439\u043d\u0430 \u0431\u0443\u0448\u0443\u0435\u0442. \u0414\u0435\u0441\u044f\u0442\u0438\u043b\u0435\u0442\u0438\u044f \u0441\u043f\u043e\u043d\u0441\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u041a\u0438\u0442\u0430\u0435\u043c \u043a\u043e\u0440\u043f\u043e\u0440\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0448\u043f\u0438\u043e\u043d\u0430\u0436\u0430, \u0445\u0430\u043a\u0435\u0440\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0430\u0442\u0430\u043a, \u0434\u0435\u043c\u043f\u0438\u043d\u0433\u0430 \u0438 \u0434\u0440\u0430\u043a\u043e\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u043f\u0440\u0438\u043d\u0443\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0443 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a, \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u043b\u0438 \u043a \u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u043d\u044b\u043c \u0441\u0430\u043d\u043a\u0446\u0438\u044f\u043c \u043d\u0430 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u043a \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0435\u0439 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438 21-\u0433\u043e \u0432\u0435\u043a\u0430 \u2014 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430\u043c. \u0412 \u043e\u043a\u0442\u044f\u0431\u0440\u0435 \u0421\u0428\u0410 \u0432\u0432\u0435\u043b\u0438 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0447\u0438\u043f\u044b \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0430 \u0438 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043d\u043e \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0440\u0435\u0448\u0438\u043b\u043e \u0432\u0441\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b.<\/p>\n<p>\u0417\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0435\u0432 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0438\u0437 \u043d\u0438\u0445 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u044b, \u043d\u043e \u0441\u0430\u043c\u044b\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0435\u043b\u044b \u043d\u0435 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b. \u0421\u0428\u0410 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043b\u0438\u0434\u0435\u0440\u043e\u043c \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0441 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435\u0439 \u0434\u043e\u043b\u0435\u0439 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u0432 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432, CMP(Chemical mechanical polishing) \u0438 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043d\u043e \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0421\u0428\u0410, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a Applied Materials, Lam Research \u0438 KLA, \u0436\u0430\u043b\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0421\u0428\u0410 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0442 \u0437\u0430\u0440\u0443\u0431\u0435\u0436\u043d\u044b\u043c \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c, \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u043a\u0430\u043a \u0433\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0441\u043a\u0430\u044f ASM International \u0438 \u044f\u043f\u043e\u043d\u0441\u043a\u0430\u044f Tokyo Electron, \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0434\u043e\u043b\u044e \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u0438 \u0441\u043c\u044f\u0433\u0447\u0438\u0442\u044c \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/p>\n<p>\u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0439 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, ASML, \u043a\u0430\u0442\u0435\u0433\u043e\u0440\u0438\u0447\u0435\u043d \u0432 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043d\u0435\u0441\u043e\u0431\u043b\u044e\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0421\u0428\u0410.<\/p>\n<blockquote>\n<p>\u041a\u0430\u043a \u0435\u0432\u0440\u043e\u043f\u0435\u0439\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0432 \u043d\u0430\u0448\u0438\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445, ASML \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u0432\u0441\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u043d\u0435 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u044f\u0449\u0438\u0435\u0441\u044f \u043a EUV, \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439 \u0438\u0437 \u041d\u0438\u0434\u0435\u0440\u043b\u0430\u043d\u0434\u043e\u0432.<\/p>\n<p>\u041f\u0438\u0442\u0435\u0440 \u0412\u0435\u043d\u043d\u0438\u043d\u043a, \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u0440\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440 ASML<\/p>\n<\/blockquote>\n<p>\u0418 \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u044f \u043d\u0430 \u0442\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f ASML \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0421\u0430\u043d-\u0414\u0438\u0435\u0433\u043e \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0435\u0439 Cymer, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0443\u044e \u043e\u043d\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043e\u0431\u0440\u0435\u043b\u0438.<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780q1\/getpro\/habr\/upload_files\/525\/227\/a30\/525227a30b778812d70483472a291a1d.jpg\" width=\"3435\" height=\"1902\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/upload_files\/525\/227\/a30\/525227a30b778812d70483472a291a1d.jpg\" data-blurred=\"true\"\/><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043e \u0432 \u0421\u0428\u0410. \u0425\u043e\u0442\u044f \u0443 \u0421\u0428\u0410, \u0431\u0435\u0437\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043d\u043e, \u0435\u0441\u0442\u044c \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u044b \u0437\u0430\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c ASML \u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439, \u0421\u0428\u0410 \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043b\u0438 \u0434\u0438\u043f\u043b\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0443\u0442\u044c.<\/p>\n<p>\u0412 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0435\u0432 \u0432 \u0421\u0428\u0410, \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u041d\u0438\u0434\u0435\u0440\u043b\u0430\u043d\u0434\u0430\u0445 \u0432\u0435\u0434\u0443\u0442\u0441\u044f \u0434\u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0438\u0438 \u043e\u0431 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u043a \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e. \u0412 \u043f\u044f\u0442\u043d\u0438\u0446\u0443 \u0441\u0442\u0430\u043b\u043e \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044b \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u0438\u043b\u0438\u0441\u044c \u043d\u0430 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435. \u041e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441, \u043d\u0430\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u0430\u043b\u0435\u043a\u043e \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438\u0440\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u044d\u0442\u0438 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0447\u0442\u043e \u043e\u043d\u0438 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u0435 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442? \u041d\u0430\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u044b \u043f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u043c, \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u043d\u0435\u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b \u0438 \u043a\u0430\u0441\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 ArFi. \u042d\u0442\u043e \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e-\u043f\u0440\u0435\u0436\u043d\u0435\u043c\u0443 \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442 \u0443\u0441\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440, \u043d\u043e \u043c\u044b \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0435\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044b \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u0438\u043b\u0438\u0441\u044c \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432\u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u043d\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435. \u041f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u044b \u0438 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b, \u043d\u0435 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u044f\u0449\u0438\u0435\u0441\u044f \u043a \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438. \u0421\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u043c\u044b \u0441\u043e\u0431\u0438\u0440\u0430\u0435\u043c\u0441\u044f \u043e\u0431\u0441\u0443\u0434\u0438\u0442\u044c \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0437\u0438\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0434\u044b\u0440 \u0432 \u043d\u0435\u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043d\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e \u0432 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u0435\u043a \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n<p><strong>\u0426\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/strong><\/p>\n<p>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u043c \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u043a \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435. \u0425\u043e\u0442\u044f \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0435\u0445\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u043d\u0435\u0435 \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e \u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430 \u043a \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 DUV, \u043d\u0435\u0442 \u0443\u043f\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e \u0442\u043e\u043c, \u043d\u0430\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043e\u043d\u0438 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b. DUV \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e \u0441\u043e \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u043e\u043c \u043a\u0440\u0438\u043f\u0442\u043e\u043d\u0430 (KrF), \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u043e\u043c \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u0430 (ArF) \u0438 \u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0435\u0439 \u0441\u043e \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u043e\u043c \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u0430 (ArFi).<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780q1\/getpro\/habr\/upload_files\/295\/9a7\/6d4\/2959a76d4a2c6ebf34d78805aaff32d6.jpg\" width=\"685\" height=\"368\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/upload_files\/295\/9a7\/6d4\/2959a76d4a2c6ebf34d78805aaff32d6.jpg\" data-blurred=\"true\"\/><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>Nikon \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u0442\u0438\u043b\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0439 DUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u043f\u043e\u0434 \u043d\u0430\u0437\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c NSR-1505EX \u0432 1988 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 KrF. \u041f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u043d \u0438\u043c\u0435\u043b \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 500 \u043d\u043c, \u043d\u043e \u0441\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0435\u043c \u043e\u043d \u0431\u044b\u043b \u043c\u043e\u0434\u0435\u0440\u043d\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d \u0434\u043e 250 \u043d\u043c \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f 100 \u043d\u043c. \u041d\u0435\u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0421\u0428\u0410, \u041d\u0438\u0434\u0435\u0440\u043b\u0430\u043d\u0434\u043e\u0432 \u0438 \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u0438 \u043d\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u044d\u0442\u0443 \u0441\u0442\u0430\u0440\u0443\u044e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044e. \u0421 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b, ASML NXT 2100i, \u0432\u044b\u043f\u0443\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432 2022 \u0433\u043e\u0434\u0443, \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f 1,5 \u043d\u043c \u0438 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043d\u0430 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0442\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445.<\/p>\n<p>\u0415\u0441\u043b\u0438 \u0446\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043c\u0435\u0448\u0430\u0442\u044c \u041a\u0438\u0442\u0430\u044e \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c 14 \u043d\u043c, 7 \u043d\u043c \u0438\u043b\u0438 5 \u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b, \u0442\u043e \u0437\u0430\u043f\u0440\u0435\u0442 \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u043a\u0430\u0441\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0433\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e \u00a0\u0432 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b TSMC 16 \u0438 12 \u043d\u043c \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 metal pitch \u00a064 \u043d\u043c. \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 TSMC 7 \u043d\u043c \u043f\u0440\u0435\u0434\u0443\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 metal pitch 40 \u043d\u043c. 5-\u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 TSMC \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 metal pitch 28 \u043d\u043c.<\/p>\n<p>\u041b\u044e\u0431\u043e\u0439 \u0437\u0430\u043f\u0440\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u0443\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u044d\u0442\u0438 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b metal pitch \u00a0\u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u043a \u0437\u0430\u043f\u0440\u0435\u0449\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e.<\/p>\n<p>\u0412 \u0443\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0435\u0440\u0438\u044f \u0420\u044d\u043b\u0435\u044f (CD = k1\u2022 \u03bb\/NA) CD \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440, \u043d\u0430\u0438\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0439 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430. \u03bb \u2014 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430. NA \u2014 \u044d\u0442\u043e \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438, \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0430\u044f, \u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u043e\u043d\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u044c. \u041d\u0430\u043a\u043e\u043d\u0435\u0446, \u00a0k1 \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0447\u0438\u043f\u0430. \u0424\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 k1 = 0,25.<\/p>\n<p>\u0421\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f\u0441\u044f \u0447\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430 (SAQP) \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u043d\u044b\u043c \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u043c \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0438\u0442\u044c \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 DUV. \u0425\u043e\u0442\u044f \u0435\u0441\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u043c\u044b \u0431\u0443\u0434\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0446\u0435\u043b\u0435\u0441\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c. TSMC \u0438 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f SMIC \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u043b\u0438 7-\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0431\u0435\u0437 EUV, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044f SAQP \u0441 \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u043d\u043e-\u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u043d\u0443\u044e \u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u0443\u044e (ArFi) \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e, \u043d\u043e \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0447\u0442\u043e \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u043e.<\/p>\n<p>\u041c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 metal pitch 28 \u043d\u043c, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0432 TSMC N5, \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d \u0431\u0435\u0437 EUV. SAQP \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ArFi (NA = 1,35, \u03bb = 193 \u043d\u043c) \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0434\u0430\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043f\u0440\u0438 k1, \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c 0,391. \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0446\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043c\u0435\u0448\u0430\u0442\u044c \u041a\u0438\u0442\u0430\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0439\u0442\u0438 \u043d\u0430 5-\u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441, \u0442\u043e \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438 ArFi \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0431\u044b\u0442\u044c \u0437\u0430\u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b. ASML \u0438 Nikon \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ArFi \u0441 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c metal pitch 28 \u043d\u043c. \u0425\u043e\u0442\u044f \u044d\u0442\u043e \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043d\u0435 \u0442\u0430\u043a \u0440\u0435\u043d\u0442\u0430\u0431\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u043a\u0430\u043a EUV, \u0440\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u043d\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043a\u0430\u043a \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439.<\/p>\n<p>\u0415\u0441\u043b\u0438 \u0446\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043c\u0435\u0448\u0430\u0442\u044c \u041a\u0438\u0442\u0430\u044e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0447\u044c \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 7 \u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u0442\u043e \u0432\u0441\u0435 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 metal pitch 40 \u043d\u043c, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 7-\u043d\u043c \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430 TSMC, \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0431\u044b\u0442\u044c \u0437\u0430\u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b. \u041d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0442\u044c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e ArFi, \u043d\u043e \u0438\u0445 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0438\u0442\u044c. SAQP \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0443\u0445\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0441\u043e \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u043e\u043c \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u0430 ArF (NA = 0,93, \u03bb = 193 \u043d\u043c) \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0434\u0430\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0441 k1 \u0440\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c 0,385. \u041e\u043f\u044f\u0442\u044c \u0436\u0435, \u044d\u0442\u043e \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043d\u0435 \u0442\u0430\u043a \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u043d\u043e, \u043a\u0430\u043a ArFi DUV \u00ab7 \u043d\u043c\u00bb \u043e\u0442 Intel, TSMC \u0438 SMIC , \u043d\u043e \u044d\u0442\u043e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u043e, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0441 \u0443\u0447\u0435\u0442\u043e\u043c \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0420\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u0432 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442\u0430\u0445 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u0441\u0443\u0431\u0441\u0438\u0434\u0438\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u0421\u0428\u0410.<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780q1\/getpro\/habr\/upload_files\/c6b\/06d\/5fa\/c6b06d5fa6e8fbae35be97d0564d7d48.jpg\" width=\"2048\" height=\"932\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/upload_files\/c6b\/06d\/5fa\/c6b06d5fa6e8fbae35be97d0564d7d48.jpg\" data-blurred=\"true\"\/><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0415\u0441\u043b\u0438 \u0446\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043c\u0435\u0448\u0430\u0442\u044c \u041a\u0438\u0442\u0430\u044e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0438\u0442\u044c \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u044b \u0441\u0432\u043e\u0435\u0433\u043e 14 \u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u0442\u043e \u0432\u0441\u0435 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 metal pitch 64 \u043d\u043c, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043d\u043e\u0434\u0430\u0445, \u043a\u0430\u043a 16-\u043d\u043c \u0438 12-\u043d\u043c TSMC \u0438 14-\u043d\u043c Samsung, \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0431\u044b\u0442\u044c \u0437\u0430\u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b. \u042d\u0442\u0438 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441\u043e\u0431\u043b\u044e\u0434\u0430\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043d\u0430 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ArF, \u043d\u043e \u0438 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0442\u0438\u043f\u044b \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438\u0437 \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0438\u043f\u0442\u043e\u043d\u0430 (KrF). \u0424\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0438\u043f\u0442\u043e\u043d\u0430 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u03bb = 248 \u043d\u043c, \u043d\u043e \u0431\u044b\u043b\u043e \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430 \u043b\u0438\u043d\u0437. \u0412 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u043c \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u0441 0,6 \u0434\u043e 0,8 \u0438 \u0434\u043e 0,93.<\/p>\n<p>SAQP, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0441\u0430\u043c\u0443\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0443\u044e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e KrF (NA = 0,93, \u03bb = 248 \u043d\u043c), \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0441 k1, \u0440\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c 0,48. SAQP \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 KrF \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0433\u043e \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0430 (NA = 0,8, \u03bb = 248 \u043d\u043c) \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0441 k1 \u0440\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c 0,413. \u042d\u0442\u043e \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u043e \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043e\u0442 ASML, Nikon \u0438\u043b\u0438 Canon. \u041e\u043f\u044f\u0442\u044c \u0436\u0435, \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0430 \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u043d\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439, \u043d\u043e \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0443\u0434\u0432\u043e\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0443\u0437\u043b\u0435 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430 14 \u043d\u043c \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0435\u0442 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043a \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u043d\u0430 19%. \u042d\u0442\u043e \u0443\u0436\u0435 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0446\u0435\u043b\u0435\u0441\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u043e \u0441 \u0443\u0447\u0435\u0442\u043e\u043c \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0443\u0431\u0441\u0438\u0434\u0438\u0439, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0438\u043c \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c.<\/p>\n<p>\u0421\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0442\u043c\u0435\u0442\u0438\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u044b \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0443\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f (overlay) \u043f\u0440\u0438 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043a\u0430\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439. \u0412 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0441\u044f \u043a \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u043b\u043e\u044f\u043c\u0438 \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430. \u042d\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0441 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u043a \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u043c\u0443 \u0441\u043b\u043e\u044e. \u0412 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u043c \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0448\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u0441\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f\u0441\u044f \u0447\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430 (SAQP), \u0447\u0442\u043e \u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0432\u044b\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f\u0442\u044c 4 \u0441\u043b\u043e\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438. \u0422\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435.<\/p>\n<p>\u0421\u0430\u043c\u044b\u0435 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 EUV-\u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u044b \u043e\u0442 ASML \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f 1,1 \u043d\u043c. \u041f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0430\u044f \u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u044f, 3400C, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0431\u044b\u043b\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c EUV, \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0432 2021 \u0433\u043e\u0434\u0443, \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f 1,5 \u043d\u043c. \u042d\u0442\u043e \u0445\u0443\u0436\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0442\u044b\u0439 DUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u043e\u0442 ASML, 2100i. \u041d\u0430 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u043c\u044b \u043d\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0435\u043c \u0441\u043b\u0438\u0448\u043a\u043e\u043c \u0443\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u0442\u043e, \u0433\u0434\u0435, \u043f\u043e \u043d\u0430\u0448\u0435\u043c\u0443 \u043c\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e, \u043f\u0440\u0438\u0435\u043c\u043b\u0435\u043c\u0430\u044f \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u044d\u043a\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 14 \u043d\u043c, 7 \u043d\u043c \u0438 5 \u043d\u043c, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u044d\u0442\u043e \u0431\u044b\u043b\u043e \u0431\u044b \u043f\u0435\u0440\u0435\u0431\u043e\u0440\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439.<\/p>\n<p><strong>\u0426\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432<\/strong><\/p>\n<p>\u0421\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u043f\u0440\u043e\u0431\u0435\u043b\u043e\u043c \u0432 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u0430\u0442\u043e\u0432, \u0430 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e, \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430. \u0412 <a href=\"https:\/\/www.semianalysis.com\/p\/lam-research-tokyo-electron-jsr-battle\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435<\/a> \u043c\u044b \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e \u043f\u043e\u0433\u0440\u0443\u0437\u0438\u043b\u0438\u0441\u044c \u0432 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u044b, \u043d\u043e \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043a\u0440\u0430\u0442\u043a\u043e, \u0442\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435. \u041f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0433\u043e\u0440\u0441\u0442\u043a\u043e\u0439 \u044f\u043f\u043e\u043d\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0439. \u0410\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f Dupont \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442 \u0434\u0430\u043b\u0435\u043a\u043e\u0435 4-\u0435 \u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0441\u0440\u0435\u0434\u0438 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u044b \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 \u0432\u043e \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u044f\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0438 \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043a\u043b\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0438\u043f\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432, \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u043e\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430, \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u044f\u043f\u043e\u043d\u0441\u043a\u043e\u0435.<\/p>\n<p>\u041b\u044e\u0431\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0430 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0437\u0430\u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0430 \u043e\u0442 \u043b\u044e\u0431\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0438, \u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u043e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u044f \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0442 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432. \u041f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u0431\u0440\u0435\u0448\u044c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0443\u044e \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0443\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0435\u043b\u0438 \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p>\u0422\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432 SMIC \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f \u0443\u0436\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043e\u0442\u043d\u0438 DUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432. \u041e\u043d\u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u044f \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432. SMIC \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0447\u044c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 100 000 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 7 \u043d\u043c \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0441\u0432\u043e\u0438\u0445 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 DUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432. \u042d\u0442\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u043e\u0431\u044a\u0451\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0442\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u00a0(&lt;=7 \u043d\u043c) \u0443 Samsung \u0438 Intel \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0435 \u0432\u0437\u044f\u0442\u044b\u0445. \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0431\u044b \u0432\u0441\u0435 DUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b \u0432 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f\u0445, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a HuaHong, Shanghai Huali, YMTC, CXMT, GTA Semi, Nexchip, Yandong, Nexperia, CR Micro, Sien, Fulsemi, SEMC, NSEMI, \u0431\u044b\u043b\u0438 \u0431\u044b \u043f\u0435\u0440\u0435\u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b SMIC, 7-\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043e\u043d\u0438 \u043c\u043e\u0433\u043b\u0438 \u0431\u044b \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0442\u044c, \u043f\u0440\u0435\u0432\u0437\u043e\u0448\u043b\u0438 \u0431\u044b \u0434\u0430\u0436\u0435 7 \u043d\u043c TSMC.<\/p>\n<p>\u041d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0437\u0430\u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0446\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432. \u041f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0430, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0437\u0430\u043f\u0430\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d \u043d\u0435 \u0437\u043d\u0430\u044e\u0442, \u0432 \u043a\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 DUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b.<\/p>\n<p><strong>\u0426\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432<\/strong><\/p>\n<p>\u0418 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u043a &#8212; \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. DUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e \u043e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0437\u0430\u043f\u0430\u0441\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043e\u0442 ASML, Nikon \u0438 Canon. \u041e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u043e \u0431\u044b\u0442\u044c \u0437\u0430\u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0446\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0441\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u044c \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445.<\/p>\n<p>\u0425\u043e\u0442\u044f \u043b\u0438\u0434\u0435\u0440 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, SMEE, \u0443\u0436\u0435 \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u0430\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c \u0441\u043f\u0438\u0441\u043a\u0435, SMEE \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u043b\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0435 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 I-Line. \u0418\u0445 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f DUV \u0441\u043e \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u043e\u043c \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u0430 (ArF) \u0435\u0449\u0435 \u043d\u0435 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0430 \u043a frontend-\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443. \u042d\u0442\u043e \u043d\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043e\u043d\u0438 \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0434\u043e\u0433\u043d\u0430\u0442\u044c. \u041c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0435 \u0444\u0438\u0440\u043c\u044b \u0432 \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0435 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ASML, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a Zeiss, \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0435 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u0439 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439. \u0423\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u044f \u0432\u043e\u0435\u043d\u043d\u043e-\u0433\u0440\u0430\u0436\u0434\u0430\u043d\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0441\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0435, \u044d\u0442\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043b\u0435\u0433\u043a\u043e \u043c\u043e\u0433\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043f\u0430\u0441\u0442\u044c \u0432 SMEE.<\/p>\n<p>\u041d\u0430\u043a\u043e\u043d\u0435\u0446, \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0430 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0441\u043e\u043a, \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043d\u0435 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u044b\u0440\u043e\u0439.<\/p>\n<p>\u041e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0430 \u0432 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043d\u0430 \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0443 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0435\u0440\u044c\u0435\u0437\u043d\u043e\u0439 \u0434\u044b\u0440\u043e\u0439 \u0432 \u0442\u0440\u0435\u0445\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u043d\u0435\u043c \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0421\u0428\u0410, \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u0435\u0439 \u0438 \u041d\u0438\u0434\u0435\u0440\u043b\u0430\u043d\u0434\u0430\u043c\u0438. \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0446\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u043a 5 \u043d\u043c, 7 \u043d\u043c \u0438 14 \u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c, KrF \u0438 ArF \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435, \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u044b \u0438 \u043f\u043e\u0434\u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u043d\u0443\u0442\u044c\u0441\u044f \u00a0\u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c. \u0418\u043d\u0430\u0447\u0435 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439 \u0441\u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0440\u0435\u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0438\u043c\u0435\u044e\u0449\u0435\u0435\u0441\u044f \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0438\u0442\u044c \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u044e\u044e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432.<\/p>\n<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p> <!----> <!----><\/div>\n<p> <!----> <!----><br \/> \u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0440\u0438\u0433\u0438\u043d\u0430\u043b \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438 <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/post\/720090\/\"> https:\/\/habr.com\/ru\/post\/720090\/<\/a><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<div><\/div>\n<div id=\"post-content-body\">\n<div>\n<div class=\"article-formatted-body article-formatted-body article-formatted-body_version-2\">\n<div xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xhtml\">\n<blockquote>\n<p>\u041a\u043e\u043c\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u0438\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0432\u043e\u0434\u0447\u0438\u043a\u0430.<\/p>\n<p>\u0414\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u044f \u043d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u0430 \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u043c \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u043c \u0436\u0443\u0440\u043d\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u043c \u0438 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u043a\u043e\u043c \u0432 \u0441\u0444\u0435\u0440\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 &#8212; \u0414\u0438\u043b\u0430\u043d\u043e\u043c \u041f\u0430\u0442\u0435\u043b\u043e\u043c. \u041e\u043d\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0438\u0437 \u0441\u0435\u0431\u044f \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0432\u0437\u0433\u043b\u044f\u0434 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430\u0442\u0438\u043a\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0432\u043e\u0439\u043d \u0441 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0435\u043c. \u041f\u043e\u043c\u0438\u043c\u043e \u043e\u0431\u0449\u0435\u0433\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441\u0430,  \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u0441 \u043e\u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u0430 \u0442\u0435\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043f\u0440\u0438\u0437\u043c\u0443 \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u043e-\u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0433\u043b\u0443\u0431\u0436\u0435 \u043f\u043e\u043d\u044f\u0442\u044c \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u0438 \u0438, \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e, \u0432\u044b\u043d\u0435\u0441\u0442\u0438 \u0438\u0437 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<\/blockquote>\n<p><strong>\u0414\u0438\u043b\u0430\u043d \u041f\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c<\/strong><\/p>\n<p><strong>29 \u044f\u043d\u0432\u0430\u0440\u044f 2023-\u0433\u043e \u0433\u043e\u0434\u0430<\/strong><\/p>\n<h2>\u041f\u0440\u043e\u0431\u0435\u043b\u044b \u0432 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0443 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439 \u2014 ASML, SMEE, Nikon, Canon, EUV, DUV, ArFi, ArF Dry, KrF \u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442<\/h2>\n<p>\u042d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0445\u043e\u043b\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u0432\u043e\u0439\u043d\u0430 \u0431\u0443\u0448\u0443\u0435\u0442. \u0414\u0435\u0441\u044f\u0442\u0438\u043b\u0435\u0442\u0438\u044f \u0441\u043f\u043e\u043d\u0441\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u041a\u0438\u0442\u0430\u0435\u043c \u043a\u043e\u0440\u043f\u043e\u0440\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0448\u043f\u0438\u043e\u043d\u0430\u0436\u0430, \u0445\u0430\u043a\u0435\u0440\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0430\u0442\u0430\u043a, \u0434\u0435\u043c\u043f\u0438\u043d\u0433\u0430 \u0438 \u0434\u0440\u0430\u043a\u043e\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u043f\u0440\u0438\u043d\u0443\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0443 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a, \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u043b\u0438 \u043a \u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u043d\u044b\u043c \u0441\u0430\u043d\u043a\u0446\u0438\u044f\u043c \u043d\u0430 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u043a \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0435\u0439 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438 21-\u0433\u043e \u0432\u0435\u043a\u0430 \u2014 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430\u043c. \u0412 \u043e\u043a\u0442\u044f\u0431\u0440\u0435 \u0421\u0428\u0410 \u0432\u0432\u0435\u043b\u0438 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0447\u0438\u043f\u044b \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0430 \u0438 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043d\u043e \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0440\u0435\u0448\u0438\u043b\u043e \u0432\u0441\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b.<\/p>\n<p>\u0417\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0435\u0432 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0438\u0437 \u043d\u0438\u0445 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u044b, \u043d\u043e \u0441\u0430\u043c\u044b\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0435\u043b\u044b \u043d\u0435 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b. \u0421\u0428\u0410 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043b\u0438\u0434\u0435\u0440\u043e\u043c \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0441 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435\u0439 \u0434\u043e\u043b\u0435\u0439 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u0432 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432, CMP(Chemical mechanical polishing) \u0438 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043d\u043e \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0421\u0428\u0410, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a Applied Materials, Lam Research \u0438 KLA, \u0436\u0430\u043b\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0421\u0428\u0410 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0442 \u0437\u0430\u0440\u0443\u0431\u0435\u0436\u043d\u044b\u043c \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c, \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u043a\u0430\u043a \u0433\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0441\u043a\u0430\u044f ASM International \u0438 \u044f\u043f\u043e\u043d\u0441\u043a\u0430\u044f Tokyo Electron, \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0434\u043e\u043b\u044e \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u0438 \u0441\u043c\u044f\u0433\u0447\u0438\u0442\u044c \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/p>\n<p>\u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0439 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, ASML, \u043a\u0430\u0442\u0435\u0433\u043e\u0440\u0438\u0447\u0435\u043d \u0432 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043d\u0435\u0441\u043e\u0431\u043b\u044e\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0421\u0428\u0410.<\/p>\n<blockquote>\n<p>\u041a\u0430\u043a \u0435\u0432\u0440\u043e\u043f\u0435\u0439\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0432 \u043d\u0430\u0448\u0438\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445, ASML \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u0432\u0441\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u043d\u0435 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u044f\u0449\u0438\u0435\u0441\u044f \u043a EUV, \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439 \u0438\u0437 \u041d\u0438\u0434\u0435\u0440\u043b\u0430\u043d\u0434\u043e\u0432.<\/p>\n<p>\u041f\u0438\u0442\u0435\u0440 \u0412\u0435\u043d\u043d\u0438\u043d\u043a, \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u0440\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440 ASML<\/p>\n<\/blockquote>\n<p>\u0418 \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u044f \u043d\u0430 \u0442\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f ASML \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0421\u0430\u043d-\u0414\u0438\u0435\u0433\u043e \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0435\u0439 Cymer, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0443\u044e \u043e\u043d\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043e\u0431\u0440\u0435\u043b\u0438.<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043e \u0432 \u0421\u0428\u0410. \u0425\u043e\u0442\u044f \u0443 \u0421\u0428\u0410, \u0431\u0435\u0437\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043d\u043e, \u0435\u0441\u0442\u044c \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u044b \u0437\u0430\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c ASML \u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439, \u0421\u0428\u0410 \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043b\u0438 \u0434\u0438\u043f\u043b\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0443\u0442\u044c.<\/p>\n<p>\u0412 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0435\u0432 \u0432 \u0421\u0428\u0410, \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u041d\u0438\u0434\u0435\u0440\u043b\u0430\u043d\u0434\u0430\u0445 \u0432\u0435\u0434\u0443\u0442\u0441\u044f \u0434\u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0438\u0438 \u043e\u0431 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u043a \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e. \u0412 \u043f\u044f\u0442\u043d\u0438\u0446\u0443 \u0441\u0442\u0430\u043b\u043e \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044b \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u0438\u043b\u0438\u0441\u044c \u043d\u0430 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435. \u041e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441, \u043d\u0430\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u0430\u043b\u0435\u043a\u043e \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438\u0440\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u044d\u0442\u0438 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0447\u0442\u043e \u043e\u043d\u0438 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u0435 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442? \u041d\u0430\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u044b \u043f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u043c, \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u043d\u0435\u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b \u0438 \u043a\u0430\u0441\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 ArFi. \u042d\u0442\u043e \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e-\u043f\u0440\u0435\u0436\u043d\u0435\u043c\u0443 \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442 \u0443\u0441\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440, \u043d\u043e \u043c\u044b \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0435\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044b \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u0438\u043b\u0438\u0441\u044c \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432\u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u043d\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435. \u041f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u044b \u0438 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b, \u043d\u0435 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u044f\u0449\u0438\u0435\u0441\u044f \u043a \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438. \u0421\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u043c\u044b \u0441\u043e\u0431\u0438\u0440\u0430\u0435\u043c\u0441\u044f \u043e\u0431\u0441\u0443\u0434\u0438\u0442\u044c \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0437\u0438\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0434\u044b\u0440 \u0432 \u043d\u0435\u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043d\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e \u0432 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u0435\u043a \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n<p><strong>\u0426\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/strong><\/p>\n<p>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u043c \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u043a \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435. \u0425\u043e\u0442\u044f \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0435\u0445\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u043d\u0435\u0435 \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e \u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430 \u043a \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 DUV, \u043d\u0435\u0442 \u0443\u043f\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e \u0442\u043e\u043c, \u043d\u0430\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043e\u043d\u0438 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b. DUV \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e \u0441\u043e \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u043e\u043c \u043a\u0440\u0438\u043f\u0442\u043e\u043d\u0430 (KrF), \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u043e\u043c \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u0430 (ArF) \u0438 \u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0435\u0439 \u0441\u043e \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u043e\u043c \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u0430 (ArFi).<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>Nikon \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u0442\u0438\u043b\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0439 DUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u043f\u043e\u0434 \u043d\u0430\u0437\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c NSR-1505EX \u0432 1988 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 KrF. \u041f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u043d \u0438\u043c\u0435\u043b \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 500 \u043d\u043c, \u043d\u043e \u0441\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0435\u043c \u043e\u043d \u0431\u044b\u043b \u043c\u043e\u0434\u0435\u0440\u043d\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d \u0434\u043e 250 \u043d\u043c \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f 100 \u043d\u043c. \u041d\u0435\u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0421\u0428\u0410, \u041d\u0438\u0434\u0435\u0440\u043b\u0430\u043d\u0434\u043e\u0432 \u0438 \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u0438 \u043d\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u044d\u0442\u0443 \u0441\u0442\u0430\u0440\u0443\u044e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044e. \u0421 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b, ASML NXT 2100i, \u0432\u044b\u043f\u0443\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432 2022 \u0433\u043e\u0434\u0443, \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f 1,5 \u043d\u043c \u0438 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043d\u0430 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0442\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445.<\/p>\n<p>\u0415\u0441\u043b\u0438 \u0446\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043c\u0435\u0448\u0430\u0442\u044c \u041a\u0438\u0442\u0430\u044e \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c 14 \u043d\u043c, 7 \u043d\u043c \u0438\u043b\u0438 5 \u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b, \u0442\u043e \u0437\u0430\u043f\u0440\u0435\u0442 \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u043a\u0430\u0441\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0433\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e \u00a0\u0432 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b TSMC 16 \u0438 12 \u043d\u043c \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 metal pitch \u00a064 \u043d\u043c. \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 TSMC 7 \u043d\u043c \u043f\u0440\u0435\u0434\u0443\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 metal pitch 40 \u043d\u043c. 5-\u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 TSMC \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 metal pitch 28 \u043d\u043c.<\/p>\n<p>\u041b\u044e\u0431\u043e\u0439 \u0437\u0430\u043f\u0440\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u0443\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u044d\u0442\u0438 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b metal pitch \u00a0\u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u043a \u0437\u0430\u043f\u0440\u0435\u0449\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e.<\/p>\n<p>\u0412 \u0443\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0435\u0440\u0438\u044f \u0420\u044d\u043b\u0435\u044f (CD = k1\u2022 \u03bb\/NA) CD \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440, \u043d\u0430\u0438\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0439 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430. \u03bb \u2014 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430. NA \u2014 \u044d\u0442\u043e \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438, \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0430\u044f, \u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u043e\u043d\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u044c. \u041d\u0430\u043a\u043e\u043d\u0435\u0446, \u00a0k1 \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0447\u0438\u043f\u0430. \u0424\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 k1 = 0,25.<\/p>\n<p>\u0421\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f\u0441\u044f \u0447\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430 (SAQP) \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u043d\u044b\u043c \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u043c \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0438\u0442\u044c \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 DUV. \u0425\u043e\u0442\u044f \u0435\u0441\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u043c\u044b \u0431\u0443\u0434\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0446\u0435\u043b\u0435\u0441\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c. TSMC \u0438 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f SMIC \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u043b\u0438 7-\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0431\u0435\u0437 EUV, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044f SAQP \u0441 \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u043d\u043e-\u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u043d\u0443\u044e \u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u0443\u044e (ArFi) \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e, \u043d\u043e \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0447\u0442\u043e \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u043e.<\/p>\n<p>\u041c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 metal pitch 28 \u043d\u043c, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0432 TSMC N5, \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d \u0431\u0435\u0437 EUV. SAQP \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ArFi (NA = 1,35, \u03bb = 193 \u043d\u043c) \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0434\u0430\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043f\u0440\u0438 k1, \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c 0,391. \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0446\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043c\u0435\u0448\u0430\u0442\u044c \u041a\u0438\u0442\u0430\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0439\u0442\u0438 \u043d\u0430 5-\u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441, \u0442\u043e \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438 ArFi \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0431\u044b\u0442\u044c \u0437\u0430\u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b. ASML \u0438 Nikon \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ArFi \u0441 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c metal pitch 28 \u043d\u043c. \u0425\u043e\u0442\u044f \u044d\u0442\u043e \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043d\u0435 \u0442\u0430\u043a \u0440\u0435\u043d\u0442\u0430\u0431\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u043a\u0430\u043a EUV, \u0440\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u043d\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043a\u0430\u043a \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439.<\/p>\n<p>\u0415\u0441\u043b\u0438 \u0446\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043c\u0435\u0448\u0430\u0442\u044c \u041a\u0438\u0442\u0430\u044e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0447\u044c \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 7 \u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u0442\u043e \u0432\u0441\u0435 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 metal pitch 40 \u043d\u043c, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 7-\u043d\u043c \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430 TSMC, \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0431\u044b\u0442\u044c \u0437\u0430\u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b. \u041d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0442\u044c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e ArFi, \u043d\u043e \u0438\u0445 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0438\u0442\u044c. SAQP \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0443\u0445\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0441\u043e \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u043e\u043c \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u0430 ArF (NA = 0,93, \u03bb = 193 \u043d\u043c) \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0434\u0430\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0441 k1 \u0440\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c 0,385. \u041e\u043f\u044f\u0442\u044c \u0436\u0435, \u044d\u0442\u043e \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043d\u0435 \u0442\u0430\u043a \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u043d\u043e, \u043a\u0430\u043a ArFi DUV \u00ab7 \u043d\u043c\u00bb \u043e\u0442 Intel, TSMC \u0438 SMIC , \u043d\u043e \u044d\u0442\u043e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u043e, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0441 \u0443\u0447\u0435\u0442\u043e\u043c \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0420\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u0432 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442\u0430\u0445 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u0441\u0443\u0431\u0441\u0438\u0434\u0438\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u0421\u0428\u0410.<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0415\u0441\u043b\u0438 \u0446\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043c\u0435\u0448\u0430\u0442\u044c \u041a\u0438\u0442\u0430\u044e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0438\u0442\u044c \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u044b \u0441\u0432\u043e\u0435\u0433\u043e 14 \u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u0442\u043e \u0432\u0441\u0435 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 metal pitch 64 \u043d\u043c, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043d\u043e\u0434\u0430\u0445, \u043a\u0430\u043a 16-\u043d\u043c \u0438 12-\u043d\u043c TSMC \u0438 14-\u043d\u043c Samsung, \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0431\u044b\u0442\u044c \u0437\u0430\u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b. \u042d\u0442\u0438 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441\u043e\u0431\u043b\u044e\u0434\u0430\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043d\u0430 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 ArF, \u043d\u043e \u0438 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0442\u0438\u043f\u044b \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438\u0437 \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0438\u043f\u0442\u043e\u043d\u0430 (KrF). \u0424\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0438\u043f\u0442\u043e\u043d\u0430 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u03bb = 248 \u043d\u043c, \u043d\u043e \u0431\u044b\u043b\u043e \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430 \u043b\u0438\u043d\u0437. \u0412 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u043c \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u0441 0,6 \u0434\u043e 0,8 \u0438 \u0434\u043e 0,93.<\/p>\n<p>SAQP, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0441\u0430\u043c\u0443\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0443\u044e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e KrF (NA = 0,93, \u03bb = 248 \u043d\u043c), \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0441 k1, \u0440\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c 0,48. SAQP \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 KrF \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0433\u043e \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0430 (NA = 0,8, \u03bb = 248 \u043d\u043c) \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0441 k1 \u0440\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c 0,413. \u042d\u0442\u043e \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u043e \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043e\u0442 ASML, Nikon \u0438\u043b\u0438 Canon. \u041e\u043f\u044f\u0442\u044c \u0436\u0435, \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0430 \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u043d\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439, \u043d\u043e \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0443\u0434\u0432\u043e\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0443\u0437\u043b\u0435 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430 14 \u043d\u043c \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0435\u0442 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043a \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u043d\u0430 19%. \u042d\u0442\u043e \u0443\u0436\u0435 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0446\u0435\u043b\u0435\u0441\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u043e \u0441 \u0443\u0447\u0435\u0442\u043e\u043c \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0443\u0431\u0441\u0438\u0434\u0438\u0439, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0438\u043c \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c.<\/p>\n<p>\u0421\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0442\u043c\u0435\u0442\u0438\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u044b \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0443\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f (overlay) \u043f\u0440\u0438 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043a\u0430\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439. \u0412 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0441\u044f \u043a \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u043b\u043e\u044f\u043c\u0438 \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430. \u042d\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0441 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u043a \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u043c\u0443 \u0441\u043b\u043e\u044e. \u0412 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u043c \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0448\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u0441\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f\u0441\u044f \u0447\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430 (SAQP), \u0447\u0442\u043e \u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0432\u044b\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f\u0442\u044c 4 \u0441\u043b\u043e\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438. \u0422\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435.<\/p>\n<p>\u0421\u0430\u043c\u044b\u0435 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 EUV-\u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u044b \u043e\u0442 ASML \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f 1,1 \u043d\u043c. \u041f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0430\u044f \u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u044f, 3400C, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0431\u044b\u043b\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c EUV, \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0432 2021 \u0433\u043e\u0434\u0443, \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f 1,5 \u043d\u043c. \u042d\u0442\u043e \u0445\u0443\u0436\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0442\u044b\u0439 DUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u043e\u0442 ASML, 2100i. \u041d\u0430 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u043c\u044b \u043d\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0435\u043c \u0441\u043b\u0438\u0448\u043a\u043e\u043c \u0443\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u0442\u043e, \u0433\u0434\u0435, \u043f\u043e \u043d\u0430\u0448\u0435\u043c\u0443 \u043c\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e, \u043f\u0440\u0438\u0435\u043c\u043b\u0435\u043c\u0430\u044f \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u044d\u043a\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 14 \u043d\u043c, 7 \u043d\u043c \u0438 5 \u043d\u043c, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u044d\u0442\u043e \u0431\u044b\u043b\u043e \u0431\u044b \u043f\u0435\u0440\u0435\u0431\u043e\u0440\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439.<\/p>\n<p><strong>\u0426\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432<\/strong><\/p>\n<p>\u0421\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u043f\u0440\u043e\u0431\u0435\u043b\u043e\u043c \u0432 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u0430\u0442\u043e\u0432, \u0430 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e, \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430. \u0412 <a href=\"https:\/\/www.semianalysis.com\/p\/lam-research-tokyo-electron-jsr-battle\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435<\/a> \u043c\u044b \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e \u043f\u043e\u0433\u0440\u0443\u0437\u0438\u043b\u0438\u0441\u044c \u0432 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u044b, \u043d\u043e \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043a\u0440\u0430\u0442\u043a\u043e, \u0442\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435. \u041f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0433\u043e\u0440\u0441\u0442\u043a\u043e\u0439 \u044f\u043f\u043e\u043d\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0439. \u0410\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f Dupont \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442 \u0434\u0430\u043b\u0435\u043a\u043e\u0435 4-\u0435<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[],"tags":[],"class_list":["post-346199","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/346199","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=346199"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/346199\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=346199"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=346199"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=346199"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}