{"id":379992,"date":"2024-06-26T15:01:04","date_gmt":"2024-06-26T15:01:04","guid":{"rendered":"http:\/\/savepearlharbor.com\/?p=379992"},"modified":"-0001-11-30T00:00:00","modified_gmt":"-0001-11-29T21:00:00","slug":"","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/savepearlharbor.com\/?p=379992","title":{"rendered":"<span>\u041c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435: \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442 \u0438 \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e<\/span>"},"content":{"rendered":"<div><!--[--><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" height=\"1\" src=\"https:\/\/top-fwz1.mail.ru\/counter?id=3309870\" style=\"display:none;\" width=\"1\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" height=\"1\" src=\"https:\/\/amc.yandex.ru\/show?cmn_id=50862&amp;plt_id=169565&amp;crv_id=411858&amp;evt_t=render&amp;ad_type=banner&amp;rnd=%25system.random%25\" style=\"display:none;\" width=\"1\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" height=\"1\" src=\"https:\/\/amc.yandex.ru\/show?cmn_id=50862&amp;plt_id=169565&amp;crv_id=411859&amp;evt_t=render&amp;ad_type=banner&amp;rnd=%25system.random%25\" style=\"display:none;\" width=\"1\"><!--]--><\/div>\n<div id=\"post-content-body\">\n<div>\n<div class=\"article-formatted-body article-formatted-body article-formatted-body_version-2\">\n<div xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xhtml\">\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/getpro\/habr\/upload_files\/f90\/e99\/d89\/f90e99d89d697e1f18d39efaf59aa980.png\" width=\"780\" height=\"440\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/upload_files\/f90\/e99\/d89\/f90e99d89d697e1f18d39efaf59aa980.png\"\/><\/figure>\n<p>\u041c\u044b \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0435\u043c \u0440\u0430\u0441\u0441\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u043e \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445, \u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435 \u0438 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0435. \u041d\u0430 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437 \u0440\u0435\u0447\u044c \u043f\u043e\u0439\u0434\u0435\u0442 \u043e SiH4.<\/p>\n<h3>\u0413\u0434\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d?<\/h3>\n<p>\u0412 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0432\u043e\u0441\u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d \u0433\u0430\u0437\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d SiH4 \u0438 \u0435\u0433\u043e \u0445\u043b\u043e\u0440 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 (\u0445\u043b\u043e\u0440\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u044b, \u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0440\u0438\u0445\u043b\u043e\u0440\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d) \u0434\u043b\u044f 4-\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f:<\/p>\n<ol>\n<li>\n<p><strong>\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/strong>.\u00a0\u0421\u0438\u043b\u0430\u043d \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0442 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u041f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435<\/strong>.\u00a0\u0414\u043b\u044f \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0433\u0430\u0437\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b. \u042d\u0442\u043e \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0438\u0445 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0422\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 \u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b<\/strong>.\u00a0\u0421\u0438\u043b\u0430\u043d \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 \u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b. \u042d\u0442\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u043e\u0432, \u0441\u043c\u0430\u0440\u0442\u0444\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0424\u043e\u0442\u043e\u043f\u0440\u0438\u0435\u043c\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b<\/strong>.\u00a0\u0421\u0438\u043b\u0430\u043d \u0438\u0433\u0440\u0430\u0435\u0442 \u0432\u0430\u0436\u043d\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043f\u0440\u0438\u0435\u043c\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u0421\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u043d\u0435\u043b\u0438, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0432\u0435\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0447\u0442\u043e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044e \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u043a\u0438.<\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<p>\u0422\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043a\u043b\u0435\u0435\u0432, \u0433\u0435\u0440\u043c\u0435\u0442\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0440\u0435\u0437\u0438\u043d, \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0444\u0430\u0440\u043c\u0430\u0446\u0435\u0432\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u0436\u0443\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u043e\u0432\u00a0<\/p>\n<p>\u0421\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u0442\u0430\u043a\u0430\u044f:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b (\u0418\u0421) \u2013 40%,<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u043d\u0434\u0438\u043a\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u043d\u0435\u043b\u0438 (LCD-TFT-\u0434\u0438\u0441\u043f\u043b\u0435\u0438, \u0416\u041a-\u0434\u0438\u0441\u043f\u043b\u0435\u0438) \u2013 30%,<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0444\u043e\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 (\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b, \u043f\u0440\u043e\u0441\u0432\u0435\u0442\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432) \u2013 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 25%,<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u2013 5%.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0421\u0438\u043b\u0430\u043d \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u043d\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0438\u0437\u0431\u0435\u0436\u0430\u0442\u044c \u0434\u0432\u0443\u0441\u043c\u044b\u0441\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0438 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u044c \u043e\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430.<\/p>\n<h3>\u041c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\/\u0445\u043b\u043e\u0440\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u044b \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435<\/h3>\n<p>\u041c\u0438\u0440\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443 \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430 \u043e\u0446\u0435\u043d\u0438\u0432\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u0432 30 000 \u0442\u043e\u043d\u043d. \u041e\u043d\u0438 \u0441\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u043e\u0447\u0435\u043d\u044b \u0432 \u0442\u0440\u0435\u0445 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u0430\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0439 \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u0438, \u042e. \u041a\u043e\u0440\u0435\u0438, \u0415\u0421, \u0421\u0428\u0410 \u0438 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f, \u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>Tokuyama Corp., \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u044f,<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>REC Group, \u041d\u043e\u0440\u0432\u0435\u0433\u0438\u044f,<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>MEMC Electronic Materials, \u0418\u0442\u0430\u043b\u0438\u044f,<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Evonik (\u0440\u0430\u043d\u0435\u0435 Degussa), \u0413\u0435\u0440\u043c\u0430\u043d\u0438\u044f,<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Air Liquide (Denal Silane \u2013 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u0435 \u0441 Denka Group), \u0424\u0440\u0430\u043d\u0446\u0438\u044f,<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Mitsui Chemicals, \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u041f\u043e \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0443\u0435\u043c\u044b\u043c \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c, \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043e\u043a \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438.<\/p>\n<h3>\u0421\u0438\u043b\u0430\u043d \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438<\/h3>\n<p>\u0412 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0440\u0442\u0430 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u043b\u0435\u0435\u0432, \u0433\u0435\u0440\u043c\u0435\u0442\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043c\u0430\u0441\u0442\u0438\u043a, \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u043e\u043d, \u043a\u0440\u043e\u0432\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432.\u00a0<\/p>\n<p>\u0414\u043e 2020 \u0433. \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d \u0438 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043b\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u043a\u0430 \u00ab\u0421\u0438\u043b\u0430\u043d\u00bb \u2014 \u0431\u044b\u0432\u0448\u0438\u0439 \u0414\u0430\u043d\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434, \u0444\u0438\u043b\u0438\u0430\u043b \u0410\u041e \u00ab\u0413\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439\u00bb (\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0432\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0435\u0433\u043e \u0432 \u00ab\u0420\u043e\u0441\u0442\u0435\u0445\u00bb \u041e\u041d\u041f\u041f \u00ab\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u00bb). \u041f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438 \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u0441\u0442\u0430\u043b\u043e \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u044e \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u044f \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0430\u0440\u0435\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435, \u043d\u0435\u0433\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u043f\u043e\u0432\u043b\u0438\u044f\u0432\u0448\u0435\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c. \u042d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0442\u044b \u043e\u0442\u043c\u0435\u0447\u0430\u044e\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u0435 \u0443\u0436\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0431\u044b\u043b\u043e \u043d\u0435\u0440\u0435\u043d\u0442\u0430\u0431\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0438 \u043d\u0435 \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u043b\u043e \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0431\u043e\u0440\u044c\u0431\u044b.<\/p>\n<p>\u041e\u0431\u044a\u0435\u043c \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u043e\u0432 \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 2 000 \u0442\/\u0433\u043e\u0434. \u0421\u043f\u0440\u043e\u0441 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0438\u0437 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f.<\/p>\n<p>\u0412 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0415\u0413\u0418\u0421\u0423 \u041d\u0418\u041e\u041a\u0420\u0422 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0441\u044f 330 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442 \u043d\u0430 \u00ab\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u00bb, \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e \u043c\u0435\u0434\u0438\u0446\u0438\u043d\u0435, \u0431\u0438\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438, \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0438, \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438. \u041f\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043e\u0434\u043d\u0430 \u041d\u0418\u0420 \u00ab\u041f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u043e\u0432 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437-\u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435\u00bb (2018-2021 \u0433\u0433.), \u041f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442 \u0420\u0424\u0424\u0418 \u2116 18-29-11023 \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u0438 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0426\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430 \u0415\u0441\u0442\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u0418\u041e\u0424 \u0420\u0410\u041d.\u00a0<\/p>\n<p>\u0422\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430 \u0432\u0435\u0434\u0443\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0440\u044f\u0434\u0435 \u0432\u0443\u0437\u043e\u0432, \u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u041c\u0418\u0420\u042d\u0410, \u041c\u0418\u0424\u0418, \u041c\u0424\u0422\u0418, \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442\u043e\u0432, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440 \u0418\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0420\u0410\u041d, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0420\u0424.<\/p>\n<h3>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442<\/h3>\n<p>\u041d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u0442\u0430\u043b\u0435 Google.Patents \u0443\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u043e 68403 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0438\u044e\u043d\u044c 2024 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u043f\u043e \u0441\u0438\u043c\u0432\u043e\u043b\u0443 SiH4. \u0421\u0440\u0435\u0434\u0438 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0422\u041e\u041f-5 \u043b\u0438\u0434\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u043b\u0438:<\/p>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;assignee=Canon+Inc&amp;peid=61b06eead9920%3A35%3Ae5baca1f\">Canon Inc<\/a> \u2014 25,4%;<\/p>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;assignee=Applied+Materials+Inc&amp;peid=61b06eea5d8c0%3A33%3A546fa67e\">Applied Materials Inc<\/a> \u2014 4%;<\/p>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;assignee=Nec+Corp&amp;peid=61b06edef3ac0%3A2c%3Afc580893\">Nec Corp<\/a> \u2014 3,1%;<\/p>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;assignee=Semiconductor+Energy+Lab&amp;peid=61b06eea4cb38%3A32%3Ac12aebdf\">Semiconductor Energy Lab<\/a> \u2014 2,9%;<\/p>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;assignee=Toshiba+Corp&amp;peid=61b06ee639bb8%3A31%3Aaa40dbd6\">Toshiba Corp<\/a> \u2014 2,7%.<\/p>\n<p>\u041d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043c \u043c\u0435\u0441\u0442\u0435 \u0441 \u0441\u0435\u0440\u044c\u0435\u0437\u043d\u044b\u043c \u043e\u0442\u0440\u044b\u0432\u043e\u043c \u043e\u0442 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438\u043b\u0430\u0441\u044c \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u0430 Canon \u0438\u0437 \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u0438. \u041d\u0430 \u0447\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u043c \u043c\u0435\u0441\u0442\u0435 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0443\u0432\u0438\u0434\u0435\u0442\u044c \u0444\u0438\u0440\u043c\u0443 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u0440\u043e\u043b\u044f \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u0438 \u042f\u043c\u0430\u0434\u0437\u0430\u043a\u0438 \u0421\u044e\u043c\u043f\u044d\u044f. \u0415\u043c\u0443 \u043c\u044b \u0443\u0436\u0435 \u043f\u043e\u0441\u0432\u044f\u0442\u0438\u043b\u0438 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/companies\/onlinepatent\/articles\/706412\/\"><u>\u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b<\/u><\/a> \u043d\u0430 \u0425\u0430\u0431\u0440\u0435. \u0414\u0430\u043b\u0435\u0435 \u0438\u0434\u0443\u0442 \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u043e\u0434\u043d\u0430 \u044f\u043f\u043e\u043d\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438. \u041d\u0430 \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u043c\u0435\u0441\u0442\u0435 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u0440\u043f\u043e\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0432 \u043d\u0430\u0448\u0435\u043c \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u043c \u0441\u043f\u0438\u0441\u043a\u0435 \u2014 Applied Materials. \u041a\u0430\u043a \u0432\u0438\u0434\u0438\u0442\u0435, \u0432\u0441\u0435 \u043e\u0441\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u044f\u043f\u043e\u043d\u0441\u043a\u0438\u0435. \u0412\u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442.<\/p>\n<p>\u041f\u043e\u043f\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0435\u043c\u044b \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u0445 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u044f\u0442 \u0442\u0430\u043a:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;q=H01L&amp;peid=61b07140025f8%3A3d%3Ad724b172\">H01L<\/a> \u2014 53,2%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;q=C23C&amp;peid=61b071434e1f8%3A3f%3Ab4348b1\">C23C<\/a> \u2014 22,5%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0431\u0440\u043e\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0430\u0440\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432 <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;q=Y02E&amp;peid=61b0714431a98%3A40%3Ac8db448f\">Y02E<\/a> \u2014 14,3%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u0430 \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u044b \u0432 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445, \u0432 \u0442.\u0447. \u0431\u0438\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;oq=SiH4.\">Y02P<\/a> \u2014 14%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f; \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0444\u043e\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f; \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;oq=SiH4.\">G03G<\/a> \u2014 12,9%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u043d\u0435\u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b; \u0438\u0445 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;oq=SiH4.\">C01B<\/a> \u2014 4,8%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;oq=SiH4.\">Y10S<\/a> \u2014 4,5%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0433\u0430\u0437\u043e\u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;oq=SiH4.\">H01J<\/a> \u2014 4,2%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b; \u043a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441\u044b \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;oq=SiH4.\">H10K<\/a> \u2014 3,3%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;oq=SiH4.\">G02F<\/a> \u2014 3,1%.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u041b\u0438\u0434\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b, \u043f\u043e\u0441\u0432\u044f\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0432\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435, \u043f\u0440\u0438\u0447\u0451\u043c \u0441 \u043e\u0433\u0440\u043e\u043c\u043d\u044b\u043c \u043e\u0442\u0440\u044b\u0432\u043e\u043c \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b (<a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(tantalum)&amp;q=H01L\">H01L<\/a>); \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f <a href=\"https:\/\/patentimages.storage.googleapis.com\/ed\/67\/4a\/74b3569a52af55\/US20210202462A1.pdf\">US20210202462A1\u00a0<\/a>\u0438 <a href=\"https:\/\/patentimages.storage.googleapis.com\/4a\/f4\/0e\/d28bb983d8b9b5\/US11670577.pdf\">US11670577B2<\/a>.<\/p>\n<p>\u0410 \u0447\u0442\u043e \u0436\u0435 <strong>\u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438<\/strong>?<\/p>\n<p>\u0412 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0424\u0418\u041f\u0421 \u043d\u0430 \u00ab\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u00bb \u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0441\u044f 449 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0420\u0424 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f<strong>,<\/strong> \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e 136 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435.<\/p>\n<p>\u041f\u043e \u043f\u043e\u0434\u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0443 \u00ab\u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Zinc)&amp;q=H01L&amp;peid=613fbf0dfb640%3A34%3A3525dceb\">H01L<\/a>\u00bb \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043d\u0430\u0439\u0442\u0438 5 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u041f\u0435\u0440\u0435\u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u043c \u0438\u0445 \u0432\u0441\u0435:<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2614080&amp;TypeFile=html\">2614080<\/a> \u2014 \u00ab\u041f\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f\u00bb (\u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u043f\u043e \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0440\u0435 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0440\u0435\u0430\u0433\u0435\u043d\u0442, \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0437 \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u044b, \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0439 \u0438\u0437\u00a0\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430\u00a0(SiH4), Si2H6, Si2H4, SiF4, Si2F6\u00a0\u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439) \u0438 \u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2632267&amp;TypeFile=html\">2632267<\/a> \u2014 \u00ab\u0421\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443\u00bb (\u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u0438 \u0432 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0435\u00a0\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430\u00a0\u0438 \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u0430) \u043e\u0442 \u041e\u041e\u041e \u00ab\u041d\u0422\u0426 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0432 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u043a\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0424\u0422\u0418 \u0438\u043c. \u0410.\u0424. \u0418\u043e\u0444\u0444\u0435\u00bb.<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2754808&amp;TypeFile=html\">2754808<\/a> \u2014 \u00ab\u041c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0438 \u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u00bb (\u043f\u0435\u0440\u0432\u0430\u044f \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u0430 \u043f\u0440\u0438\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0430 \u043a \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043c\u0443\u00a0\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0443 \u0438\u043b\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430) \u043e\u0442 \u00ab\u0418\u043b\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0430, \u0418\u043d\u043a.\u00bb (US) \u0438 \u00ab\u0418\u043b\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0430 \u041a\u0435\u043c\u0431\u0440\u0438\u0434\u0436 \u041b\u0438\u043c\u0438\u0442\u0435\u0434\u00bb (GB).<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2764040&amp;TypeFile=html\">2764040<\/a> \u2014 \u00ab\u0412\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e 3C-SiC \u043d\u0430 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0438\u00bb (\u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0442 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d \u0438\u043b\u0438 \u0445\u043b\u043e\u0440 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d) \u043e\u0442 \u00ab\u0414\u0437\u0435 \u042e\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0442\u0438 \u043e\u0444 \u0423\u043e\u0440\u0438\u043a\u00bb (GB).<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2805132&amp;TypeFile=html\">2805132<\/a> \u2014 \u00ab\u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u0430\u00bb (\u0432 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0435 SiH4-CO2-HCI-H2) \u043e\u0442 \u0427\u0435\u0447\u0435\u043d\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0442\u0435\u0442\u0430 \u0438\u043c. \u0410.\u0410. \u041a\u0430\u0434\u044b\u0440\u043e\u0432\u0430.<\/p>\n<p>\u0422\u043e \u0435\u0441\u0442\u044c \u0438\u0437 5 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 2 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0430\u0434\u043b\u0435\u0436\u0430\u0442 \u0437\u0430\u0440\u0443\u0431\u0435\u0436\u043d\u044b\u043c \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f\u043c.<\/p>\n<p>\u0414\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0420\u0424 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e 4 \u0448\u0442\u0443\u043a\u0438, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPM&amp;DocNumber=181920&amp;TypeFile=html\">181920<\/a> \u00ab\u0418\u043c\u043c\u0443\u043d\u043e\u0447\u0438\u043f \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0435\u043f\u043e\u043d\u0435\u043c\u0430-\u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0435\u0440\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0441\u0438\u0444\u0438\u043b\u0438\u0441\u0430\u00bb. \u041f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u043e \u043f\u043e\u0434\u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0443 \u00ab\u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Zinc)&amp;q=H01L&amp;peid=613fbf0dfb640%3A34%3A3525dceb\">H01L<\/a>\u00bb \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043e\u0434\u043d\u0430: \u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPM&amp;DocNumber=196513&amp;TypeFile=html\">196513<\/a> \u00ab\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c\u00bb (\u0441\u043e\u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430) \u043e\u0442 \u00ab\u041c\u0418\u0420\u042d\u0410\u00bb.<\/p>\n<p>\u041f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f \u042d\u0412\u041c \u043e\u0434\u043d\u0430 \u2014 \u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=EVM&amp;DocNumber=2022684133&amp;TypeFile=html\">2022684133<\/a> \u00ab\u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0437\u0430\u0442\u043e\u0440 \u043a\u0438\u043d\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0431\u043b\u043e\u043a\u0430 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0430\u00bb \u043e\u0442 \u041e\u041e\u041e \u00ab\u0419\u041e\u0421\u042f\u00bb.<\/p>\n<p>\u0411\u0430\u0437 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0435\u0442.<\/p>\n<p>\u0422\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u043d\u0435\u0442.<\/p>\n<h3>\u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u00a0<\/h3>\n<p>\u041d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0442\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u043b\u0435\u0442 \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d \u043e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u043c \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u0432 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044f\u0445, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0435\u0433\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u0431\u043b\u044e\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0440 \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0435\u0433\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043a\u0441\u0438\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043f\u0438\u0440\u043e\u0444\u043e\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u042d\u0442\u043e\u0442 \u0433\u0430\u0437 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0433\u0440\u0430\u0442\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u0445, \u0438 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u043c.<\/p>\n<p>\u0420\u044b\u043d\u043e\u043a \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430 \u0432 2023 \u0433. \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u043b $1,3 \u043c\u043b\u0440\u0434. \u041f\u043e \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c <a href=\"https:\/\/www.skyquestt.com\/report\/monosilane-market%20https:\/\/www.skyquestt.com\/report\/monosilane-market\"><u>\u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/u><\/a> \u0434\u043e 2030 \u0433. \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0441 \u0442\u0435\u043c\u043f\u043e\u043c 7,7% \u0432 \u0433\u043e\u0434. \u0414\u043e\u043b\u0438 \u0415\u0421, \u0421\u0435\u0432\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0410\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0410\u0437\u0438\u0430\u0442\u0441\u043a\u043e-\u0442\u0438\u0445\u043e\u043e\u043a\u0435\u0430\u043d\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u0433\u0438\u043e\u043d\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0440\u0430\u0432\u043d\u044b \u0438 \u043c\u0430\u043b\u043e \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u044f\u0442\u0441\u044f.<\/p>\n<p>\u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u044f \u043f\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0443 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0430\u0443\u0442\u0441\u0430\u0439\u0434\u0435\u0440. \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e \u043f\u0430\u043b\u044c\u0446\u0430\u043c. \u0418 \u044d\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0441\u043a\u043e\u0440\u0431\u043d\u043e. <\/p>\n<p><a href=\"https:\/\/t.me\/onlinepatent\/1704\"><strong>\u0420\u043e\u0437\u044b\u0433\u0440\u044b\u0448 \u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 5 \u0442\u043e\u0432\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0437\u043d\u0430\u043a\u043e\u0432.<\/strong><\/a><\/p>\n<p><strong>\u041f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0442 \u041e\u043d\u043b\u0430\u0439\u043d \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442:<\/strong><\/p>\n<ol>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/companies\/onlinepatent\/articles\/793940\/\">\u041a\u0430\u043a \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0433\u043e\u0441\u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0443 \u0434\u043b\u044f IT-\u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438?<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/onlinepatent.ru\/faq\/evmdb\/kakie-vygody-mozhno-poluchit-ot-registracii-programmy-dlya-evm-v-rospatente\/?utm_source=habr&amp;utm_medium=organic&amp;utm_campaign=habrpodval\">\u041a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0433\u043e\u0434\u044b \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u044b \u0434\u043b\u044f \u042d\u0412\u041c?<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/onlinepatent.ru\/faq\/evmdb\/kak-zashchitit-bazu-dannyh-klientov\/?utm_source=habr&amp;utm_medium=organic&amp;utm_campaign=habrpodval\">\u041a\u0430\u043a \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u0438\u0442\u044c \u0431\u0430\u0437\u0443 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043b\u0438\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432?<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/onlinepatent.ru\/faq\/evmdb\/kakie-vygody-mozhno-poluchit-ot-registracii-programmy-dlya-evm-v-rospatente\/?utm_source=habr&amp;utm_medium=organic&amp;utm_campaign=habrpodval\">\u041d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0430\u0439\u0442\u0438\u0448\u043d\u0438\u043a\u0438: \u043a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0432\u043d\u0435\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u044b \u0432 \u0420\u0435\u0435\u0441\u0442\u0440 \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u041f\u041e?\u00a0<\/a>\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/t.me\/onlinepatent_x_bot\">\u0420\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e \u0442\u043e\u0432\u0430\u0440\u043d\u044b\u043c \u0437\u043d\u0430\u043a\u0430\u043c \u0432 2024 \u0433\u043e\u0434\u0443.<\/a><\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<p><a href=\"https:\/\/t.me\/+DsqzUsFtJrA1OGY6\">\u0411\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043e \u0441\u0444\u0435\u0440\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u043d\u0430\u0448\u0435\u043c Telegram-\u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0435<\/a><\/p>\n<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p><!----><!----><\/div>\n<p><!----><!----><br \/> \u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0440\u0438\u0433\u0438\u043d\u0430\u043b \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438 <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/articles\/824788\/\"> https:\/\/habr.com\/ru\/articles\/824788\/<\/a><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<div><!--[--><!--]--><\/div>\n<div id=\"post-content-body\">\n<div>\n<div class=\"article-formatted-body article-formatted-body article-formatted-body_version-2\">\n<div xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xhtml\">\n<figure class=\"full-width\"><\/figure>\n<p>\u041c\u044b \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0435\u043c \u0440\u0430\u0441\u0441\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u043e \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445, \u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435 \u0438 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0435. \u041d\u0430 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437 \u0440\u0435\u0447\u044c \u043f\u043e\u0439\u0434\u0435\u0442 \u043e SiH4.<\/p>\n<h3>\u0413\u0434\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d?<\/h3>\n<p>\u0412 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0432\u043e\u0441\u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d \u0433\u0430\u0437\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d SiH4 \u0438 \u0435\u0433\u043e \u0445\u043b\u043e\u0440 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 (\u0445\u043b\u043e\u0440\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u044b, \u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0440\u0438\u0445\u043b\u043e\u0440\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d) \u0434\u043b\u044f 4-\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f:<\/p>\n<ol>\n<li>\n<p><strong>\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/strong>.\u00a0\u0421\u0438\u043b\u0430\u043d \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0442 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u041f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435<\/strong>.\u00a0\u0414\u043b\u044f \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0433\u0430\u0437\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b. \u042d\u0442\u043e \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0438\u0445 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0422\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 \u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b<\/strong>.\u00a0\u0421\u0438\u043b\u0430\u043d \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 \u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b. \u042d\u0442\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u043e\u0432, \u0441\u043c\u0430\u0440\u0442\u0444\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0424\u043e\u0442\u043e\u043f\u0440\u0438\u0435\u043c\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b<\/strong>.\u00a0\u0421\u0438\u043b\u0430\u043d \u0438\u0433\u0440\u0430\u0435\u0442 \u0432\u0430\u0436\u043d\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043f\u0440\u0438\u0435\u043c\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u0421\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u043d\u0435\u043b\u0438, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0432\u0435\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0447\u0442\u043e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044e \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u043a\u0438.<\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<p>\u0422\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043a\u043b\u0435\u0435\u0432, \u0433\u0435\u0440\u043c\u0435\u0442\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0440\u0435\u0437\u0438\u043d, \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0444\u0430\u0440\u043c\u0430\u0446\u0435\u0432\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u0436\u0443\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u043e\u0432\u00a0<\/p>\n<p>\u0421\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u0442\u0430\u043a\u0430\u044f:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b (\u0418\u0421) \u2013 40%,<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u043d\u0434\u0438\u043a\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u043d\u0435\u043b\u0438 (LCD-TFT-\u0434\u0438\u0441\u043f\u043b\u0435\u0438, \u0416\u041a-\u0434\u0438\u0441\u043f\u043b\u0435\u0438) \u2013 30%,<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0444\u043e\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 (\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b, \u043f\u0440\u043e\u0441\u0432\u0435\u0442\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432) \u2013 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 25%,<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u2013 5%.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0421\u0438\u043b\u0430\u043d \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u043d\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0438\u0437\u0431\u0435\u0436\u0430\u0442\u044c \u0434\u0432\u0443\u0441\u043c\u044b\u0441\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0438 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u044c \u043e\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430.<\/p>\n<h3>\u041c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\/\u0445\u043b\u043e\u0440\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u044b \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435<\/h3>\n<p>\u041c\u0438\u0440\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443 \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430 \u043e\u0446\u0435\u043d\u0438\u0432\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u0432 30 000 \u0442\u043e\u043d\u043d. \u041e\u043d\u0438 \u0441\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u043e\u0447\u0435\u043d\u044b \u0432 \u0442\u0440\u0435\u0445 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u0430\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0439 \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u0438, \u042e. \u041a\u043e\u0440\u0435\u0438, \u0415\u0421, \u0421\u0428\u0410 \u0438 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f, \u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>Tokuyama Corp., \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u044f,<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>REC Group, \u041d\u043e\u0440\u0432\u0435\u0433\u0438\u044f,<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>MEMC Electronic Materials, \u0418\u0442\u0430\u043b\u0438\u044f,<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Evonik (\u0440\u0430\u043d\u0435\u0435 Degussa), \u0413\u0435\u0440\u043c\u0430\u043d\u0438\u044f,<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Air Liquide (Denal Silane \u2013 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u0435 \u0441 Denka Group), \u0424\u0440\u0430\u043d\u0446\u0438\u044f,<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Mitsui Chemicals, \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u041f\u043e \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0443\u0435\u043c\u044b\u043c \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c, \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043e\u043a \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438.<\/p>\n<h3>\u0421\u0438\u043b\u0430\u043d \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438<\/h3>\n<p>\u0412 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0440\u0442\u0430 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u043b\u0435\u0435\u0432, \u0433\u0435\u0440\u043c\u0435\u0442\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043c\u0430\u0441\u0442\u0438\u043a, \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u043e\u043d, \u043a\u0440\u043e\u0432\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432.\u00a0<\/p>\n<p>\u0414\u043e 2020 \u0433. \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d \u0438 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043b\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u043a\u0430 \u00ab\u0421\u0438\u043b\u0430\u043d\u00bb \u2014 \u0431\u044b\u0432\u0448\u0438\u0439 \u0414\u0430\u043d\u043a\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434, \u0444\u0438\u043b\u0438\u0430\u043b \u0410\u041e \u00ab\u0413\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439\u00bb (\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0432\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0435\u0433\u043e \u0432 \u00ab\u0420\u043e\u0441\u0442\u0435\u0445\u00bb \u041e\u041d\u041f\u041f \u00ab\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u00bb). \u041f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438 \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u0441\u0442\u0430\u043b\u043e \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u044e \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u044f \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0430\u0440\u0435\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435, \u043d\u0435\u0433\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u043f\u043e\u0432\u043b\u0438\u044f\u0432\u0448\u0435\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c. \u042d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0442\u044b \u043e\u0442\u043c\u0435\u0447\u0430\u044e\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u0435 \u0443\u0436\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0431\u044b\u043b\u043e \u043d\u0435\u0440\u0435\u043d\u0442\u0430\u0431\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0438 \u043d\u0435 \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u043b\u043e \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0431\u043e\u0440\u044c\u0431\u044b.<\/p>\n<p>\u041e\u0431\u044a\u0435\u043c \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u043e\u0432 \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 2 000 \u0442\/\u0433\u043e\u0434. \u0421\u043f\u0440\u043e\u0441 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0438\u0437 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f.<\/p>\n<p>\u0412 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0415\u0413\u0418\u0421\u0423 \u041d\u0418\u041e\u041a\u0420\u0422 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0441\u044f 330 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442 \u043d\u0430 \u00ab\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u00bb, \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e \u043c\u0435\u0434\u0438\u0446\u0438\u043d\u0435, \u0431\u0438\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438, \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0438, \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438. \u041f\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043e\u0434\u043d\u0430 \u041d\u0418\u0420 \u00ab\u041f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u043e\u0432 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437-\u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435\u00bb (2018-2021 \u0433\u0433.), \u041f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442 \u0420\u0424\u0424\u0418 \u2116 18-29-11023 \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u0438 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0426\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430 \u0415\u0441\u0442\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u0418\u041e\u0424 \u0420\u0410\u041d.\u00a0<\/p>\n<p>\u0422\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430 \u0432\u0435\u0434\u0443\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0440\u044f\u0434\u0435 \u0432\u0443\u0437\u043e\u0432, \u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u041c\u0418\u0420\u042d\u0410, \u041c\u0418\u0424\u0418, \u041c\u0424\u0422\u0418, \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442\u043e\u0432, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440 \u0418\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0420\u0410\u041d, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0420\u0424.<\/p>\n<h3>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442<\/h3>\n<p>\u041d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u0442\u0430\u043b\u0435 Google.Patents \u0443\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u043e 68403 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0438\u044e\u043d\u044c 2024 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u043f\u043e \u0441\u0438\u043c\u0432\u043e\u043b\u0443 SiH4. \u0421\u0440\u0435\u0434\u0438 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0422\u041e\u041f-5 \u043b\u0438\u0434\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u043b\u0438:<\/p>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;assignee=Canon+Inc&amp;peid=61b06eead9920%3A35%3Ae5baca1f\">Canon Inc<\/a> \u2014 25,4%;<\/p>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;assignee=Applied+Materials+Inc&amp;peid=61b06eea5d8c0%3A33%3A546fa67e\">Applied Materials Inc<\/a> \u2014 4%;<\/p>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;assignee=Nec+Corp&amp;peid=61b06edef3ac0%3A2c%3Afc580893\">Nec Corp<\/a> \u2014 3,1%;<\/p>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;assignee=Semiconductor+Energy+Lab&amp;peid=61b06eea4cb38%3A32%3Ac12aebdf\">Semiconductor Energy Lab<\/a> \u2014 2,9%;<\/p>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;assignee=Toshiba+Corp&amp;peid=61b06ee639bb8%3A31%3Aaa40dbd6\">Toshiba Corp<\/a> \u2014 2,7%.<\/p>\n<p>\u041d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043c \u043c\u0435\u0441\u0442\u0435 \u0441 \u0441\u0435\u0440\u044c\u0435\u0437\u043d\u044b\u043c \u043e\u0442\u0440\u044b\u0432\u043e\u043c \u043e\u0442 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438\u043b\u0430\u0441\u044c \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u0430 Canon \u0438\u0437 \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u0438. \u041d\u0430 \u0447\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u043c \u043c\u0435\u0441\u0442\u0435 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0443\u0432\u0438\u0434\u0435\u0442\u044c \u0444\u0438\u0440\u043c\u0443 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u0440\u043e\u043b\u044f \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u0438 \u042f\u043c\u0430\u0434\u0437\u0430\u043a\u0438 \u0421\u044e\u043c\u043f\u044d\u044f. \u0415\u043c\u0443 \u043c\u044b \u0443\u0436\u0435 \u043f\u043e\u0441\u0432\u044f\u0442\u0438\u043b\u0438 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/companies\/onlinepatent\/articles\/706412\/\"><u>\u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b<\/u><\/a> \u043d\u0430 \u0425\u0430\u0431\u0440\u0435. \u0414\u0430\u043b\u0435\u0435 \u0438\u0434\u0443\u0442 \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u043e\u0434\u043d\u0430 \u044f\u043f\u043e\u043d\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438. \u041d\u0430 \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u043c\u0435\u0441\u0442\u0435 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u0440\u043f\u043e\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0432 \u043d\u0430\u0448\u0435\u043c \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u043c \u0441\u043f\u0438\u0441\u043a\u0435 \u2014 Applied Materials. \u041a\u0430\u043a \u0432\u0438\u0434\u0438\u0442\u0435, \u0432\u0441\u0435 \u043e\u0441\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u044f\u043f\u043e\u043d\u0441\u043a\u0438\u0435. \u0412\u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442.<\/p>\n<p>\u041f\u043e\u043f\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0435\u043c\u044b \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u0445 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u044f\u0442 \u0442\u0430\u043a:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;q=H01L&amp;peid=61b07140025f8%3A3d%3Ad724b172\">H01L<\/a> \u2014 53,2%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;q=C23C&amp;peid=61b071434e1f8%3A3f%3Ab4348b1\">C23C<\/a> \u2014 22,5%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0431\u0440\u043e\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0430\u0440\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432 <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;q=Y02E&amp;peid=61b0714431a98%3A40%3Ac8db448f\">Y02E<\/a> \u2014 14,3%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u0430 \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u044b \u0432 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445, \u0432 \u0442.\u0447. \u0431\u0438\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;oq=SiH4.\">Y02P<\/a> \u2014 14%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f; \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0444\u043e\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f; \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;oq=SiH4.\">G03G<\/a> \u2014 12,9%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u043d\u0435\u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b; \u0438\u0445 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;oq=SiH4.\">C01B<\/a> \u2014 4,8%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;oq=SiH4.\">Y10S<\/a> \u2014 4,5%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0433\u0430\u0437\u043e\u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;oq=SiH4.\">H01J<\/a> \u2014 4,2%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b; \u043a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441\u044b \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;oq=SiH4.\">H10K<\/a> \u2014 3,3%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(SiH4.)&amp;oq=SiH4.\">G02F<\/a> \u2014 3,1%.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u041b\u0438\u0434\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b, \u043f\u043e\u0441\u0432\u044f\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0432\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435, \u043f\u0440\u0438\u0447\u0451\u043c \u0441 \u043e\u0433\u0440\u043e\u043c\u043d\u044b\u043c \u043e\u0442\u0440\u044b\u0432\u043e\u043c \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b (<a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(tantalum)&amp;q=H01L\">H01L<\/a>); \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f <a href=\"https:\/\/patentimages.storage.googleapis.com\/ed\/67\/4a\/74b3569a52af55\/US20210202462A1.pdf\">US20210202462A1\u00a0<\/a>\u0438 <a href=\"https:\/\/patentimages.storage.googleapis.com\/4a\/f4\/0e\/d28bb983d8b9b5\/US11670577.pdf\">US11670577B2<\/a>.<\/p>\n<p>\u0410 \u0447\u0442\u043e \u0436\u0435 <strong>\u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438<\/strong>?<\/p>\n<p>\u0412 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0424\u0418\u041f\u0421 \u043d\u0430 \u00ab\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u00bb \u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0441\u044f 449 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0420\u0424 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f<strong>,<\/strong> \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e 136 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435.<\/p>\n<p>\u041f\u043e \u043f\u043e\u0434\u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0443 \u00ab\u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Zinc)&amp;q=H01L&amp;peid=613fbf0dfb640%3A34%3A3525dceb\">H01L<\/a>\u00bb \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043d\u0430\u0439\u0442\u0438 5 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u041f\u0435\u0440\u0435\u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u043c \u0438\u0445 \u0432\u0441\u0435:<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2614080&amp;TypeFile=html\">2614080<\/a> \u2014 \u00ab\u041f\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f\u00bb (\u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u043f\u043e \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0440\u0435 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0440\u0435\u0430\u0433\u0435\u043d\u0442, \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0437 \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u044b, \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0439 \u0438\u0437\u00a0\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430\u00a0(SiH4), Si2H6, Si2H4, SiF4, Si2F6\u00a0\u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439) \u0438 \u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2632267&amp;TypeFile=html\">2632267<\/a> \u2014 \u00ab\u0421\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443\u00bb (\u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u0438 \u0432 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0435\u00a0\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430\u00a0\u0438 \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u0430) \u043e\u0442 \u041e\u041e\u041e \u00ab\u041d\u0422\u0426 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0432 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u043a\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0424\u0422\u0418 \u0438\u043c. \u0410.\u0424. \u0418\u043e\u0444\u0444\u0435\u00bb.<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2754808&amp;TypeFile=html\">2754808<\/a> \u2014 \u00ab\u041c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0438 \u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u00bb (\u043f\u0435\u0440\u0432\u0430\u044f \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u0430 \u043f\u0440\u0438\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0430 \u043a \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043c\u0443\u00a0\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0443 \u0438\u043b\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430) \u043e\u0442 \u00ab\u0418\u043b\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0430, \u0418\u043d\u043a.\u00bb (US) \u0438 \u00ab\u0418\u043b\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0430 \u041a\u0435\u043c\u0431\u0440\u0438\u0434\u0436 \u041b\u0438\u043c\u0438\u0442\u0435\u0434\u00bb (GB).<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2764040&amp;TypeFile=html\">2764040<\/a> \u2014 \u00ab\u0412\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e 3C-SiC \u043d\u0430 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0438\u00bb (\u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0442 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d \u0438\u043b\u0438 \u0445\u043b\u043e\u0440 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d) \u043e\u0442 \u00ab\u0414\u0437\u0435 \u042e\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0442\u0438 \u043e\u0444 \u0423\u043e\u0440\u0438\u043a\u00bb (GB).<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2805132&amp;TypeFile=html\">2805132<\/a> \u2014 \u00ab\u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u0430\u00bb (\u0432 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0435 SiH4-CO2-HCI-H2) \u043e\u0442 \u0427\u0435\u0447\u0435\u043d\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0442\u0435\u0442\u0430 \u0438\u043c. \u0410.\u0410. \u041a\u0430\u0434\u044b\u0440\u043e\u0432\u0430.<\/p>\n<p>\u0422\u043e \u0435\u0441\u0442\u044c \u0438\u0437 5 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 2 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0430\u0434\u043b\u0435\u0436\u0430\u0442 \u0437\u0430\u0440\u0443\u0431\u0435\u0436\u043d\u044b\u043c \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f\u043c.<\/p>\n<p>\u0414\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0420\u0424 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e 4 \u0448\u0442\u0443\u043a\u0438, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPM&amp;DocNumber=181920&amp;TypeFile=html\">181920<\/a> \u00ab\u0418\u043c\u043c\u0443\u043d\u043e\u0447\u0438\u043f \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0435\u043f\u043e\u043d\u0435\u043c\u0430-\u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0435\u0440\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0434\u0438\u0430\u0433\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0441\u0438\u0444\u0438\u043b\u0438\u0441\u0430\u00bb. \u041f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u043e \u043f\u043e\u0434\u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0443 \u00ab\u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Zinc)&amp;q=H01L&amp;peid=613fbf0dfb640%3A34%3A3525dceb\">H01L<\/a>\u00bb \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043e\u0434\u043d\u0430: \u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPM&amp;DocNumber=196513&amp;TypeFile=html\">196513<\/a> \u00ab\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c\u00bb (\u0441\u043e\u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430) \u043e\u0442 \u00ab\u041c\u0418\u0420\u042d\u0410\u00bb.<\/p>\n<p>\u041f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f \u042d\u0412\u041c \u043e\u0434\u043d\u0430 \u2014 \u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=EVM&amp;DocNumber=2022684133&amp;TypeFile=html\">2022684133<\/a> \u00ab\u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0437\u0430\u0442\u043e\u0440 \u043a\u0438\u043d\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0431\u043b\u043e\u043a\u0430 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0430\u00bb \u043e\u0442 \u041e\u041e\u041e \u00ab\u0419\u041e\u0421\u042f\u00bb.<\/p>\n<p>\u0411\u0430\u0437 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0435\u0442.<\/p>\n<p>\u0422\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u043d\u0435\u0442.<\/p>\n<h3>\u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u00a0<\/h3>\n<p>\u041d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0442\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u043b\u0435\u0442 \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d \u043e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u043c \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u0432 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044f\u0445, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0435\u0433\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u0431\u043b\u044e\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0440 \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0435\u0433\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043a\u0441\u0438\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043f\u0438\u0440\u043e\u0444\u043e\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u042d\u0442\u043e\u0442 \u0433\u0430\u0437 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0433\u0440\u0430\u0442\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u0445, \u0438 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u043c.<\/p>\n<p>\u0420\u044b\u043d\u043e\u043a \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430 \u0432 2023 \u0433. \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u043b $1,3 \u043c\u043b\u0440\u0434. \u041f\u043e \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c <a href=\"https:\/\/www.skyquestt.com\/report\/monosilane-market%20https:\/\/www.skyquestt.com\/report\/monosilane-market\"><u>\u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/u><\/a> \u0434\u043e 2030 \u0433. \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0441 \u0442\u0435\u043c\u043f\u043e\u043c 7,7% \u0432 \u0433\u043e\u0434. \u0414\u043e\u043b\u0438 \u0415\u0421, \u0421\u0435\u0432\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0410\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0410\u0437\u0438\u0430\u0442\u0441\u043a\u043e-\u0442\u0438\u0445\u043e\u043e\u043a\u0435\u0430\u043d\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u0433\u0438\u043e\u043d\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0440\u0430\u0432\u043d\u044b \u0438 \u043c\u0430\u043b\u043e \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u044f\u0442\u0441\u044f.<\/p>\n<p>\u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u044f \u043f\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0443 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0430\u0443\u0442\u0441\u0430\u0439\u0434\u0435\u0440. \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e \u043f\u0430\u043b\u044c\u0446\u0430\u043c. \u0418 \u044d\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0441\u043a\u043e\u0440\u0431\u043d\u043e. <\/p>\n<p><a href=\"https:\/\/t.me\/onlinepatent\/1704\"><strong>\u0420\u043e\u0437\u044b\u0433\u0440\u044b\u0448 \u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 5 \u0442\u043e\u0432\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0437\u043d\u0430\u043a\u043e\u0432.<\/strong><\/a><\/p>\n<p><strong>\u041f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0442 \u041e\u043d\u043b\u0430\u0439\u043d \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442:<\/strong><\/p>\n<ol>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/companies\/onlinepatent\/articles\/793940\/\">\u041a\u0430\u043a \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0433\u043e\u0441\u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0443 \u0434\u043b\u044f IT-\u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438?<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/onlinepatent.ru\/faq\/evmdb\/kakie-vygody-mozhno-poluchit-ot-registracii-programmy-dlya-evm-v-rospatente\/?utm_source=habr&amp;utm_medium=organic&amp;utm_campaign=habrpodval\">\u041a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0433\u043e\u0434\u044b \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u044b \u0434\u043b\u044f \u042d\u0412\u041c?<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/onlinepatent.ru\/faq\/evmdb\/kak-zashchitit-bazu-dannyh-klientov\/?utm_source=habr&amp;utm_medium=organic&amp;utm_campaign=habrpodval\">\u041a\u0430\u043a \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u0438\u0442\u044c \u0431\u0430\u0437\u0443 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043b\u0438\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432?<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/onlinepatent.ru\/faq\/evmdb\/kakie-vygody-mozhno-poluchit-ot-registracii-programmy-dlya-evm-v-rospatente\/?utm_source=habr&amp;utm_medium=organic&amp;utm_campaign=habrpodval\">\u041d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0430\u0439\u0442\u0438\u0448\u043d\u0438\u043a\u0438: \u043a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0432\u043d\u0435\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u044b \u0432 \u0420\u0435\u0435\u0441\u0442\u0440 \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u041f\u041e?\u00a0<\/a>\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/t.me\/onlinepatent_x_bot\">\u0420\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e \u0442\u043e\u0432\u0430\u0440\u043d\u044b\u043c \u0437\u043d\u0430\u043a\u0430\u043c \u0432 2024 \u0433\u043e\u0434\u0443.<\/a><\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<p><a href=\"https:\/\/t.me\/+DsqzUsFtJrA1OGY6\">\u0411\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043e \u0441\u0444\u0435\u0440\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u043d\u0430\u0448\u0435\u043c Telegram-\u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0435<\/a><\/p>\n<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p><!----><!----><\/div>\n<p><!----><!----><br \/> \u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0440\u0438\u0433\u0438\u043d\u0430\u043b \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438 <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/articles\/824788\/\"> https:\/\/habr.com\/ru\/articles\/824788\/<\/a><br \/><\/br><\/br><\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[],"tags":[],"class_list":["post-379992","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/379992","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=379992"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/379992\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=379992"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=379992"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=379992"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}