{"id":408287,"date":"2024-06-29T20:04:41","date_gmt":"2024-06-29T20:04:41","guid":{"rendered":"http:\/\/savepearlharbor.com\/?p=408287"},"modified":"-0001-11-30T00:00:00","modified_gmt":"-0001-11-29T21:00:00","slug":"","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/savepearlharbor.com\/?p=408287","title":{"rendered":"<span>\u041a\u0430\u043a \u044d\u0442\u043e \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u043d\u043e: \u041e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0430 \u0434\u043b\u044f EUV\/BEUV \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438<\/span>"},"content":{"rendered":"<div><!--[--><!--]--><\/div>\n<div id=\"post-content-body\">\n<div>\n<div class=\"article-formatted-body article-formatted-body article-formatted-body_version-2\">\n<div xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xhtml\">\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780q1\/webt\/o3\/0p\/ns\/o30pnspcsdszkbzgbedbdrnxbvs.jpeg\" alt=\"\u041f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 EUV \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u0435\" title=\"\u041f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 EUV \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u0435\" width=\"740\" height=\"473\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/o3\/0p\/ns\/o30pnspcsdszkbzgbedbdrnxbvs.jpeg\" data-blurred=\"true\"\/><figcaption>\u041f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 EUV \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u0435<\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0427\u0430\u0441\u0442\u043e \u0432 \u043e\u0431\u0441\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445, \u043f\u043e\u0441\u0432\u044f\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0432\u043d\u0435\u0434\u0440\u0435\u043d\u0438\u044e \u0432\u0441\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043c\u0435\u043b\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0421\u0411\u0418\u0421, \u0432\u0441\u043f\u043b\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0442\u0435\u043c\u0430 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438. \u0422\u0435\u043c\u0430 \u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0430\u044f, \u0438 \u0437\u0430\u043f\u0443\u0442\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043e\u0431\u0441\u0443\u0436\u0434\u0430\u0442\u044c \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441 &#171;\u043a\u0442\u043e \u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0434\u0438\u043b &#8212; Cymer \u0438\u043b\u0438 ASML. \u041d\u043e \u044d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u043e\u0441\u0442 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0438\u044e.<\/p>\n<p>\u0422\u0430\u043a \u0443\u0436 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u043b\u043e\u0441\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 20 \u0441 \u043b\u0438\u0448\u043d\u0438\u043c \u043b\u0435\u0442 \u044f \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u044e\u0441\u044c \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439, \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f <abbr title=\"Extreme Ultraviolet, \u043e\u043d \u0436\u0435 &quot;\u043c\u044f\u0433\u043a\u0438\u0439 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d&quot;\">EUV <\/abbr>\u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u044b, \u043d\u044b\u043d\u0447\u0435 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0432\u043d\u0435\u0434\u0440\u044f\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e. \u0412\u043e\u0442 \u043e\u0431 \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u0445 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043a \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0435 \u044f \u0438 \u0445\u043e\u0447\u0443 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c.<\/p>\n<h3>\u0427\u0442\u043e \u0437\u0430 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0430?<\/h3>\n<p>\u0420\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0430 \u2013 \u044d\u0442\u043e \u043e\u0434\u043d\u0430 \u0438\u0437 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439, \u0436\u0438\u0437\u043d\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u0430\u044f \u0434\u043b\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0444\u043b\u0443\u043e\u0440\u0435\u0441\u0446\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437, \u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u044f, \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b \u043d\u0430 \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430\u0445, \u0438 \u0442.\u043f. \u00a0\u041d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0441\u0442\u0430\u043b\u043e \u043d\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0443 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13.5 \u043d\u043c. \u0424\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e, \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0441\u044f \u043a \u043c\u044f\u0433\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u0443, \u043d\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434 \u00ab\u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043c\u00bb Extreme Ultraviolet (EUV). <\/p>\n<figure class=\"float full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/hv\/6n\/hs\/hv6nhs9snpgofpfg1jx3qlyjtsk.png\" alt=\"\u0423\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u043e\u0440\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \" title=\"\u0423\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u043e\u0440\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \" width=\"564\" height=\"327\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/hv\/6n\/hs\/hv6nhs9snpgofpfg1jx3qlyjtsk.png\"\/><figcaption>\u0423\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u043e\u0440\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 <\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0421 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435\u043c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438, \u043d\u043e\u0440\u043c\u044b \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f \u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u044e\u0442 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f. \u0412 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442 (Deep Ultraviolet (DUV)) \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 193 \u043d\u043c. \u042d\u0442\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0441\u044f \u043a \u043f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0435\u043c\u0443 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e.\u00a0 \u041d\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0436\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 EUV. \u041f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043c\u044f\u0433\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u0430, \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434 \u043d\u0430 \u043d\u043e\u0432\u0443\u044e \u0434\u043b\u0438\u043d\u0443 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0431\u0443\u043a\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u00ab\u0432\u0441\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0442\u044c\u00bb. \u0412 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043c\u044f\u0433\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0441 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438. <\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/z6\/m9\/3w\/z6m93wuuvmovxg1c6ki5eoczd9q.png\" alt=\"\u0421\u0445\u0435\u043c\u0430 EUV \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u0430\" title=\"\u0421\u0445\u0435\u043c\u0430 EUV \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u0430\" width=\"1714\" height=\"1055\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/z6\/m9\/3w\/z6m93wuuvmovxg1c6ki5eoczd9q.png\"\/><figcaption>\u0421\u0445\u0435\u043c\u0430 EUV \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u0430<\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0420\u0438\u0441\u0443\u043d\u043e\u043a \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0438\u043b\u043b\u044e\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443 \u0442\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e EUV \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u0430, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0432 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438.\u00a0 \u041a\u0430\u043a \u0432\u0438\u0434\u043d\u043e, \u043e\u043d \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0442 \u043d\u0435 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 5 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0432 \u043f\u043e\u0434\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0435 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0438 6 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438. \u041e\u0431\u0449\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0432 \u0441\u0442\u043e \u0440\u0430\u0437 \u043d\u0438\u0436\u0435, \u0447\u0435\u043c \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0434\u0438\u043d\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0423\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f (<abbr title=\"\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\">\u041a\u041e<\/abbr>) \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u0441 53 \u0434\u043e 65% \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043d\u0443\u044e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0432 7 \u0440\u0430\u0437. \u0422\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043d\u0435\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0435 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0435\u043c\u0435\u0434\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c. \u042d\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0449\u0443\u044e \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430, \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u044f \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u0438. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443, \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 EUV \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u0430. \u00ab\u0422\u0430\u043a \u0434\u0430\u0432\u0430\u0439\u0442\u0435 \u0436\u0435 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043c <abbr title=\"\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\">\u041a\u041e<\/abbr>, \u043e\u0442\u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430, \u043a \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u0443\u2026\u00bb \u043f\u043e\u0434\u0443\u043c\u0430\u0435\u0442 \u043b\u044e\u0431\u043e\u0437\u043d\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c. \u041d\u043e \u043d\u0435 \u0432\u0441\u0435 \u0442\u0430\u043a \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u2026<\/p>\n<h3>\u0425\u044c\u044e\u0441\u0442\u043e\u043d, \u0443 \u043d\u0430\u0441 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430\u2026 <\/h3>\n<p>\u0421\u043b\u0430\u0431\u043e\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u044f\u0433\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u044b\u043c\u0438 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u041f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u043c \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u044b\u043c \u0438 \u0440\u0430\u0432\u0435\u043d\u00a0 1 &#8212; \u03b4 + i\u03b2, \u0433\u0434\u0435 \u043c\u043d\u0438\u043c\u0430\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435. \u0421\u0440\u0430\u0437\u0443 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0431\u044b\u043b\u043e \u043e\u0431\u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u0441\u0435\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0441\u043b\u0430\u0431\u043e \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u044b (\u03b4 ~ 10<sup>-5<\/sup>). \u041f\u043e\u0437\u0436\u0435, \u0432 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u0445, \u0431\u044b\u043b \u043e\u0431\u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d \u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439. \u00ab\u041d\u043e\u0432\u0430\u044f \u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u044f\u00bb \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0431\u044b\u043b\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0430 30 \u043b\u0435\u0442 \u043d\u0430\u0437\u0430\u0434, \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0431\u044b\u043b\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0430\u043d\u0438\u043f\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043b\u0443\u0447\u0430\u043c\u0438. \u041e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0442 \u0438\u0437 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0434\u0432\u0443\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u043a\u0430\u043a \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0435 3. \u0422\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0443\u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430. \u0422\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u043d\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438 (\u0430\u043d\u0433\u043b. periodical multilayer X-ray mirrors\u00a0 &#8212; PMMS).<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/aw\/sp\/qu\/awspqufv-yo3e6bcmhumxccsun8.png\" alt=\"\u0421\u0445\u0435\u043c\u0430 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430\" title=\"\u0421\u0445\u0435\u043c\u0430 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430\" width=\"2016\" height=\"1075\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/aw\/sp\/qu\/awspqufv-yo3e6bcmhumxccsun8.png\"\/><figcaption>\u0421\u0445\u0435\u043c\u0430 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430<\/figcaption><\/figure>\n<p>\u041c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043a\u0438, \u043f\u043e \u0441\u0443\u0442\u0438, \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0411\u0440\u0435\u0433\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u043c\u0438, \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0438\u043c\u0438 \u0438\u0437 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u00ab\u043b\u0435\u0433\u043a\u043e\u0433\u043e\u00bb \u0438 \u00ab\u0442\u044f\u0436\u0435\u043b\u043e\u0433\u043e\u00bb \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430; \u043e\u043d\u0438 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043d\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u00abspacer\u00bb \u0438 \u00ababsorber\u00bb. \u041f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u043e\u0432\u0438\u043d\u0443 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0443\u0433\u043b\u0430 \u043f\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0431\u043b\u0438\u0437\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u0438. \u041c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044e\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430\u0445 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043b\u0435\u0433\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0438 \u0442\u044f\u0436\u0435\u043b\u044b\u043c\u0438 \u0441\u043b\u043e\u044f\u043c\u0438. <\/p>\n<p>\u041d\u0430 \u043b\u044e\u0431\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u03b4 \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u03b2 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432. \u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u03b4 \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u03b2 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0430\u0442 \u0441\u043f\u0435\u0439\u0441\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438. \u041f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c\u0438 \u03b4 (\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u043f\u0435\u0439\u0441\u0435\u0440\u0430 \u0438 \u0430\u0431\u0441\u043e\u0440\u0431\u0435\u0440\u0430) \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u0430\u0441\u0442. \u041a\u0430\u043a \u0430\u0431\u0441\u043e\u0440\u0431\u0435\u0440\u044b, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0441\u043f\u0435\u0439\u0441\u0435\u0440\u044b \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0433\u043e \u03b2, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0432\u044b\u0448\u0435 12,8 \u043d\u043c \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0435\u0433\u043e \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0430\u0431\u0441\u043e\u0440\u0431\u0435\u0440\u0430. \u041d\u0430 \u0442\u043e\u0439 \u0436\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043a\u0430\u043a \u0441\u043f\u0435\u0439\u0441\u0435\u0440. <\/p>\n<h3>\u0421\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0435\u043c<\/h3>\n<p>\u041f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0448\u0430\u0433\u043e\u0432. \u041f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0439 \u0448\u0430\u0433 &#8212; \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043f\u0430\u0440\u044b \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430. \u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0432 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d \u0432\u043e\u043b\u043d. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043f\u0430\u0440\u0430 Mo\/Si \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u043c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13,5 \u043d\u043c (EUV), \u0430 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043a\u0438 Mo\/B \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f 6,7 \u043d\u043c, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0431\u043e\u0440 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u043c; Co\/C \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d \u0432\u043e\u043b\u043d 4,4 &#8212; 4,5 \u043d\u043c.<\/p>\n<p>\u0421\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u0448\u0430\u0433\u043e\u043c \u0432\u044b\u0431\u0438\u0440\u0430\u0435\u0442 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0443 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0438 \u0438\u0445 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e. \u042d\u0442\u043e\u0442 \u0448\u0430\u0433 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u043d\u043e\u043c \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 <abbr title=\"\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\">KO<\/abbr> \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b. \u0414\u043b\u044f \u0440\u0430\u0441\u0447\u0435\u0442\u0430 <abbr title=\"\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\">\u041a\u041e<\/abbr> \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b. \u041c\u044b \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0438\u0442\u0430\u0435\u043c \u043d\u0430\u0448 \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 <a href=\"https:\/\/github.com\/OleksiyPenkov\/X-RayCalc\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">X-RayCalc<\/a>.  <\/p>\n<p>\u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0434\u043b\u044f 13.5 \u043d\u043c, \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b Mo \u0438 Si \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 2.8 \u0438 4.6 \u043d\u043c, \u043e\u0431\u0449\u0435\u0435 \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e \u043f\u0430\u0440 (\u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u043e\u0432) &#8212; 50-60: <\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780q1\/webt\/vs\/e9\/c1\/vse9c1bmvi65ntm9ocofyvi6c0k.jpeg\" alt=\"\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 Mo\/Si (\u043f\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435) \u0438 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u041a\u041e \u043e\u0442 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u043e\u0432. \" title=\"\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 Mo\/Si (\u043f\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435) \u0438 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u041a\u041e \u043e\u0442 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u043e\u0432. \" width=\"1465\" height=\"654\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/vs\/e9\/c1\/vse9c1bmvi65ntm9ocofyvi6c0k.jpeg\" data-blurred=\"true\"\/><figcaption>\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 Mo\/Si (\u043f\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435) \u0438 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u041a\u041e \u043e\u0442 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u043e\u0432. <\/figcaption><\/figure>\n<h3>\u0422\u0430\u043a \u043a\u0430\u043a \u0436\u0435 \u044d\u0442\u043e \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u043d\u043e? <\/h3>\n<p>\u0422\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u2013 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (\u043d\u0438\u043a\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0412\u0427 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430\u043c \u043d\u0435 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442). \u0412\u0435\u0441\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0432 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0435 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0433\u0430\u0437\u0430 (\u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u0430). \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u0443\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438\u0442\u044c \u2013 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0434\u0432\u0430 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430, \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434 \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u044c\u044e (\u0434\u0438\u0441\u043a \u0438\u0437 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043d\u0443\u0436\u043d\u043e \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u044f\u0442\u044c). \u041c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u044b \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0437\u0430\u043c\u043a\u043d\u0443\u0442\u043e\u0435 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0435, \u0443\u043b\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b. \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u044d\u043c\u0438\u0442\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437 \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u0438 \u043f\u043e\u0434 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c \u043e\u0442\u0440\u0438\u0446\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u0430, \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043a \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u0438 (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e, \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441\u043e\u0442\u0435\u043d \u0432\u043e\u043b\u044c\u0442). \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u043e\u043c \u043f\u043e\u043b\u0435, \u0441\u0442\u0430\u043b\u043a\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u043c\u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430, \u0438\u043e\u043d\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u044f \u0435\u0433\u043e. \u0418\u043e\u043d\u044b \u0431\u043e\u043c\u0431\u0430\u0440\u0434\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0443, \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u044f\u044f \u0435\u0435. \u041f\u043e\u0442\u043e\u043a \u0430\u0442\u043e\u043c\u043e\u0432 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0443, \u0433\u0434\u0435 \u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0443\u044e \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0443. \u041d\u0435\u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0445\u0430\u0431\u0440\u0435 \u0432\u044b\u0448\u043b\u0430 <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/company\/ruvds\/blog\/580218\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u044f \u043e \u043f\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0435 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0432 \u0434\u043e\u043c\u0430\u0448\u043d\u0438\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445<\/a>. <\/p>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u044f\u043c\u0438, \u0438 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0438 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043e\u0432, \u043f\u0440\u0438\u043b\u0435\u0442\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0443. \u042d\u0442\u043e \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0430\u043c\u0438. \u0414\u043b\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043e\u0431\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b, \u0442.\u043d. \u043a\u0430\u0440\u0443\u0441\u0435\u043b\u044c.<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/jt\/ds\/dq\/jtdsdqh4w9_0wnalgw6yeazc2jq.gif\" width=\"854\" height=\"480\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/jt\/ds\/dq\/jtdsdqh4w9_0wnalgw6yeazc2jq.gif\"\/><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0412 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u044b \u0432\u043e\u043a\u0440\u0443\u0433 \u043e\u0441\u0438 \u043a\u0430\u0440\u0443\u0441\u0435\u043b\u0438 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u043f\u0435\u043d\u0434\u0438\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e \u0435\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041a\u0430\u0440\u0443\u0441\u0435\u043b\u044c \u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430 \u0446\u0438\u043a\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430 \u043a \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u043c\u0443.\u00a0 \u041c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u0441\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u0440\u043d\u043e\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435, \u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0435\u043c \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u0438. \u0414\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f\u0441\u044f \u0437\u0430\u0441\u043b\u043e\u043d\u043a\u0430 \u0441 \u043e\u043a\u043d\u043e\u043c. \u0412\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e, \u043d\u0435 \u0442\u0430\u043a \u043b\u0438?\u00a0 \u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0<\/p>\n<h3>\u0415\u0449\u0451 \u043e\u0434\u043d\u043e \u043b\u0438\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0442\u0441\u0442\u0443\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h3>\n<p>\u0417\u0430 \u0441\u0432\u043e\u044e \u043a\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u0443 \u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0438\u043b \u0442\u0440\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b. \u041f\u0435\u0440\u0432\u0430\u044f \u0431\u044b\u043b\u0430 \u0432 \u0425\u0430\u0440\u044c\u043a\u043e\u0432\u0435, \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0430 \u0430\u0441\u043f\u0438\u0440\u0430\u043d\u0442\u0443\u0440\u044b, \u0441 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043e\u043c, \u0438 \u00ab\u043f\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0438\u043b\u00bb \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u044c \u0431\u0443\u043a\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u043b \u0437\u0430\u043b\u0438\u0432\u043a\u0443 \u0431\u0435\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0440\u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u0430. \u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0435\u0442 \u0434\u043e \u0441\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0440, \u0445\u043e\u0442\u044f \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043e\u0442\u043c\u0435\u0447\u0430\u0442\u044c \u0434\u0432\u0430\u0434\u0446\u0430\u0442\u0438\u043b\u0435\u0442\u0438\u0435. \u041f\u043e\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0438\u0442\u0435, \u043a\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0438\u043c\u043f\u0430\u043d\u043a (\u043e\u0441\u044c \u043a\u0430\u0440\u0443\u0441\u0435\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0430 \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e):<\/p>\n<p>\u00a0<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780q1\/webt\/sg\/sy\/_t\/sgsy_tcdu0gqoydfg9ntgf2stbi.jpeg\" alt=\"\u0412\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u0430\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b, \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u0425\u0430\u0440\u044c\u043a\u043e\u0432, 2002 \u0433.\" title=\"\u0412\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u0430\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b, \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u0425\u0430\u0440\u044c\u043a\u043e\u0432, 2002 \u0433.\" width=\"1169\" height=\"791\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/sg\/sy\/_t\/sgsy_tcdu0gqoydfg9ntgf2stbi.jpeg\" data-blurred=\"true\"\/><figcaption>\u0412\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u0430\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b, \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u0425\u0430\u0440\u044c\u043a\u043e\u0432, 2002 \u0433.<\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0414\u0430\u043b\u044c\u0448\u0435 \u044f \u0443\u0436\u0435 \u043d\u0438\u0447\u0435\u0433\u043e \u043d\u0435 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0438\u043b \u0441\u0430\u043c, \u0430 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b. \u0412\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0431\u044b\u043b\u0430 \u0432 \u041a\u043e\u0440\u0435\u0435, \u0438 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0439 \u0443\u0434\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u0442\u044c \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u043d\u0435\u043f\u043b\u043e\u0445\u0438\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 Mo\/B \u0434\u043b\u044f \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 6.7 \u043d\u043c. \u0422\u0443\u0442 \u043e\u0441\u044c \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f, \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0443, \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0434 \u043d\u0438\u043c\u0438. <\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780q1\/webt\/fx\/7z\/i5\/fx7zi5qdcqxrwpbbylouqjqd-jo.jpeg\" alt=\"\u0412\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041a\u043e\u0440\u0435\u044f, 2017-2019 \u0433. \" title=\"\u0412\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041a\u043e\u0440\u0435\u044f, 2017-2019 \u0433. \" width=\"930\" height=\"355\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/fx\/7z\/i5\/fx7zi5qdcqxrwpbbylouqjqd-jo.jpeg\" data-blurred=\"true\"\/><figcaption>\u0412\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041a\u043e\u0440\u0435\u044f, 2017-2019 \u0433. <\/figcaption><\/figure>\n<p>\u041d\u0430 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0435: 1 &#8212; \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u0430\u044f \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u0430, 2 \u0438 3 &#8212; \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b. 4-5 &#8212; \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c. <\/p>\n<p>\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0442\u0440\u0435\u0442\u044c\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u044b\u043b\u0430 \u0437\u0430\u043f\u0443\u0449\u0435\u043d\u0430 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0435\u0432 \u043d\u0430\u0437\u0430\u0434. \u041d\u0430\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043e\u043f\u044b\u0442 + (\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438) \u043d\u0435\u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u0435\u043b\u0438 \u0432\u043e\u0442 \u044d\u0442\u0443 \u043a\u0440\u0430\u0441\u043e\u0442\u0443:<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780q1\/webt\/h7\/vq\/4_\/h7vq4_f6xhm6ghxsjg7-2qruwxe.jpeg\" alt=\"\u0422\u0440\u0435\u0442\u044c\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439, 2021\u0433.\" title=\"\u0422\u0440\u0435\u0442\u044c\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439, 2021\u0433.\" width=\"4104\" height=\"3736\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/h7\/vq\/4_\/h7vq4_f6xhm6ghxsjg7-2qruwxe.jpeg\" data-blurred=\"true\"\/><figcaption>\u0422\u0440\u0435\u0442\u044c\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439, 2021\u0433.<\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0427\u0435\u0442\u044b\u0440\u0435 150 \u043c\u043c \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430, \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0432\u043e\u0434\u043e-\u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0430\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438, \u0448\u043b\u044e\u0437, \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u044b,  \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f. \u0411\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 &#8212; 1e-7 \u0422\u043e\u0440\u0440. \u041d\u0430\u043a\u043e\u043d\u0435\u0446-\u0442\u043e \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0432\u0435\u0440\u043d\u0443\u0442\u044c\u0441\u044f \u043f\u043e \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0435.<\/p>\n<p>\u041a\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438, \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0439 \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0442\u044c\u0435\u0439 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a, \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u043b\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u0432\u043e\u0438\u043c\u0438 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043c\u0438. \u0418\u043c\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0448\u0430\u0433\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0442\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u043b\u0435\u0440\u044b \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e \u0440\u0443\u043b\u0438\u0442\u044c \u044d\u0442\u0438\u043c \u0445\u043e\u0437\u044f\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c. \u0414\u0430\u0436\u0435 \u0441\u0432\u043e\u044f \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u0435\u0442\u044c \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 \u0435\u0441\u0442\u044c:<\/p>\n<figure class=\"\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780q1\/webt\/9x\/cf\/xw\/9xcfxwwjeywsgbc-7-pd0rkjoeu.jpeg\" alt=\"\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u0438 \u0437\u0430\u0441\u043b\u043e\u043d\u043a\u0438.\" title=\"\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u0438 \u0437\u0430\u0441\u043b\u043e\u043d\u043a\u0438.\" width=\"508\" height=\"293\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/9x\/cf\/xw\/9xcfxwwjeywsgbc-7-pd0rkjoeu.jpeg\" data-blurred=\"true\"\/><figcaption>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u0438 \u0437\u0430\u0441\u043b\u043e\u043d\u043a\u0438.<\/figcaption><\/figure>\n<p> \u041d\u0443 \u0438 \u043a\u0440\u0430\u0441\u0438\u0432\u044b\u0439 \u0441\u0430\u043c\u043e\u043f\u0438\u0441\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441 \u043d\u0430 Delphi, \u043a\u0443\u0434\u0430 \u0436\u0435 \u0431\u0435\u0437 \u043d\u0435\u0433\u043e. \u041d\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u044d\u0442\u0430\u043f\u0435 \u044d\u0442\u043e \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u0438\u0442 \u0442\u0430\u043a:<\/p>\n<p>\u00a0<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/ee\/ne\/b-\/eeneb-mh2lzh3tmxq7jvaxuol_i.png\" alt=\"\u0418\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.\" title=\"\u0418\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.\" width=\"1923\" height=\"1041\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/ee\/ne\/b-\/eeneb-mh2lzh3tmxq7jvaxuol_i.png\"\/><figcaption>\u0418\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.<\/figcaption><\/figure>\n<p>\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u043e\u0435 \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u2013 \u0441\u0432\u043e\u0439 \u0441\u043a\u0440\u0438\u043f\u0442\u043e\u0432\u044b\u0439 \u044f\u0437\u044b\u043a, \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432\u0435\u0441\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u043b\u043e\u043a\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f. \u041a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442 3-5 \u0447\u0430\u0441\u043e\u0432, \u043d\u0435 \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438, \u0431\u0435\u0437 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0438\u043a\u0430\u043a. <\/p>\n<h3>\u0418 \u0433\u0434\u0435 \u043c\u044b?<\/h3>\n<p>\u041d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0438\u0442\u044c \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e \u2013 \u044d\u0442\u043e \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u043e\u043b\u0434\u0435\u043b\u0430. \u0415\u0433\u043e \u0435\u0449\u0435 \u043d\u0443\u0436\u043d\u043e \u0430\u0442\u0442\u0435\u0441\u0442\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c, \u0438 \u0443\u0431\u0435\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0438\u043b\u0438 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0442\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0441\u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u2013 \u043d\u0435\u0442). \u041f\u0440\u044f\u043c\u043e\u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u2013 \u043f\u043e\u0435\u0445\u0430\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u0439\u0448\u0438\u0439 \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u0442\u0440\u043e\u043d, \u0438 \u043f\u043e\u043c\u0435\u0440\u044f\u0442\u044c <abbr title=\"\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\">\u041a\u041e<\/abbr> \u043d\u0430 \u043d\u0443\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b. \u041a \u0441\u043e\u0436\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e, \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e, \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e, \u0438 \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0447\u0442\u043e-\u0442\u043e \u043f\u043e\u0448\u043b\u043e \u043d\u0435 \u0442\u0430\u043a, \u043c\u044b \u044d\u0442\u043e \u0443\u0432\u0438\u0434\u0438\u043c, \u043d\u043e \u0432\u0440\u044f\u0434 \u043b\u0438 \u043f\u043e\u0439\u043c\u0435\u043c \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443.<\/p>\n<p>\u0422\u0443\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043c\u0430\u043b\u043e\u0443\u0433\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0430\u044f \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u044f + \u043e\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0432\u044b\u0448\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435. \u0418\u0434\u0435\u044f \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0430\u044f \u2013 \u0431\u0435\u0440\u0435\u043c \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0442\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0439 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e 0.154 \u043d\u043c), \u0438 \u0441\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u043c \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0443\u044e \u043a\u0440\u0438\u0432\u0443\u044e. \u041f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0435\u0441\u0442\u044c \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430, \u0442\u043e \u0432\u0441\u0435 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u0442\u0430\u043a \u0436\u0435, \u043a\u0430\u043a \u0441 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u043c\u0438. \u041d\u043e \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435\u0433\u043e \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0443\u043c\u044b \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432\u0431\u043b\u0438\u0437\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0432\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430, \u043d\u0430 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u043c\u0430\u043b\u044b\u0445 \u0443\u0433\u043b\u0430\u0445. \u041f\u043e\u0442\u043e\u043c \u0431\u0435\u0440\u0435\u043c \u043d\u0430\u0448\u0443 \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u044c, \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0435\u043c \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e X-Ray Calc, \u0438 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0430\u0435\u043c \u043e\u0431\u0435 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0432\u044b\u0435. \u041d\u0435 \u0441\u043e\u0432\u043f\u0430\u043b\u043e? \u041f\u043e\u0434\u0433\u043e\u043d\u044f\u0435\u043c \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438 \u0434\u043e \u0442\u0435\u0445 \u043f\u043e\u0440, \u043f\u043e\u043a\u0430 \u043d\u0435 \u0441\u043e\u0432\u043f\u0430\u0434\u0435\u0442. \u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0442\u0430\u043a:<\/p>\n<p>\u00a0<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/m2\/gi\/d0\/m2gid0jwaon83iwze34fb9dx8i4.png\" width=\"1778\" height=\"892\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/m2\/gi\/d0\/m2gid0jwaon83iwze34fb9dx8i4.png\"\/><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<h3>\u041d\u0435 \u043f\u043e\u043f\u0430\u043b\u0438 \u2026<\/h3>\n<p>\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 &#8212;\u00a0 \u044d\u0442\u043e \u0435\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434, \u0440\u0430\u0432\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0443\u043c\u043c\u0435 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u0435\u0433\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u044f\u0436\u0435\u043b\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f. \u0412\u0441\u0435 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0430 \u0437\u0430\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0434\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0435 \u0443\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0411\u0440\u044d\u0433\u0433\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0442 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0435 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u0438:<\/p>\n<p>2d sin \u03b8 = n\u03bb<\/p>\n<p>\u0413\u0434\u0435 d \u2013 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434, \u0442\u0435\u0442\u0430 \u2013 \u0443\u0433\u043e\u043b \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u0438, \u043b\u044f\u043c\u0431\u0434\u0430 \u2013 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b, n \u2013 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043e\u043a. <\/p>\n<p>\u0421\u0430\u043c\u044b\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u044b\u0439 \u043a\u043e\u0441\u044f\u043a \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0435\u043a \u2013 \u043d\u0435 \u043f\u043e\u043f\u0430\u043b\u0438 \u0432 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434. \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0430 \u2013 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u044b \u0432 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u0435, \u0440\u0430\u0441\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442 \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u0438 \u0434\u043e \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438, \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0438 \u0442.\u043f. \u0412\u0441\u0435 \u044d\u0442\u0438 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043c\u0435\u043d\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u043e\u0442 \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043a \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u0443. \u0418 \u0435\u0441\u043b\u0438, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0441 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u044b \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0431\u043e\u0440\u043e\u0442\u044c\u0441\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438 (\u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0448\u043b\u044e\u0437 \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a), \u0442\u043e \u043e\u0442 \u044d\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438 \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u0438 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0438\u043a\u0443\u0434\u0430 \u043d\u0435 \u0434\u0435\u043d\u0435\u0448\u044c\u0441\u044f. <\/p>\n<p>\u0412 \u0438\u0442\u043e\u0433\u0435 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u043c\u0430\u0445\u043d\u0443\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u0430\u0440\u0443 \u0430\u043d\u0433\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c (\u043f\u0440\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0435 \u0432 6,5 \u043d\u043c) \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432\u043e\u0442 \u0442\u0430\u043a:<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/sj\/9j\/cl\/sj9jclculo5_fuxidqu2nwvhjus.png\" alt=\"\u0412\u0441\u0435\u0433\u043e-\u0442\u043e \u043d\u0430 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0430\u043d\u0433\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u043c\u0430\u0437\u0430\u043b\u0438 ...\" title=\"\u0412\u0441\u0435\u0433\u043e-\u0442\u043e \u043d\u0430 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0430\u043d\u0433\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u043c\u0430\u0437\u0430\u043b\u0438 ...\" width=\"1126\" height=\"842\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/sj\/9j\/cl\/sj9jclculo5_fuxidqu2nwvhjus.png\"\/><figcaption>\u0412\u0441\u0435\u0433\u043e-\u0442\u043e \u043d\u0430 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0430\u043d\u0433\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u043c\u0430\u0437\u0430\u043b\u0438 &#8230;<\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0422\u0443\u0442 \u0432\u0440\u043e\u0434\u0435 \u0438 \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0439 <abbr title=\"\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\">\u041a\u041e<\/abbr> \u043d\u0430 \u043c\u0435\u0441\u0442\u0435, \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432\u043e\u0442 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0438\u043a\u0430 \u0443\u0435\u0445\u0430\u043b\u043e \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u0435\u043c\u044c \u0433\u0440\u0430\u0434\u0443\u0441\u043e\u0432. \u0422\u0430\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u0430\u0445 \u044e\u0441\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0443\u0436\u0435 \u043d\u0435 \u0438\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c &#8230;<\/p>\n<p>\u0414\u0440\u0443\u0433\u0430\u044f \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430 \u2013 \u0434\u0440\u0438\u0444\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0430 \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430. \u041e\u043f\u044f\u0442\u044c \u0436\u0435, \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0430, \u0440\u0430\u0441\u0442\u0435\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430, \u0438 \u0442.\u043f. \u042d\u0442\u043e \u043b\u0435\u0447\u0438\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439, \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0437\u0430 \u0437\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0435\u0432 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0439 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b, \u043f\u043e\u0442\u043e\u043c \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0447\u0430\u0441\u043e\u0432 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0442 \u0432\u0445\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0443\u044e. \u00ab\u0423 \u043d\u0430\u0441 \u043f\u043e\u043f\u043b\u044b\u043b \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u00bb \u043d\u0430 \u043c\u0430\u043b\u043e\u0443\u0433\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u0438\u0442 \u043a\u0430\u043a-\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a:<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/sj\/co\/gm\/sjcogmbhe8s2ypj0tc9iggjmyiq.png\" alt=\"\u0414\u0440\u0438\u0444\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0430 \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0443\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u0440\u0430\u0441\u0449\u0435\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432 (\u0441\u0435\u0440\u0430\u044f \u043a\u0440\u0438\u0432\u0430\u044f)\" title=\"\u0414\u0440\u0438\u0444\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0430 \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0443\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u0440\u0430\u0441\u0449\u0435\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432 (\u0441\u0435\u0440\u0430\u044f \u043a\u0440\u0438\u0432\u0430\u044f)\" width=\"1654\" height=\"838\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/sj\/co\/gm\/sjcogmbhe8s2ypj0tc9iggjmyiq.png\"\/><figcaption>\u0414\u0440\u0438\u0444\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0430 \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0443\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u0440\u0430\u0441\u0449\u0435\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432 (\u0441\u0435\u0440\u0430\u044f \u043a\u0440\u0438\u0432\u0430\u044f)<\/figcaption><\/figure>\n<p>\u042f\u0441\u043d\u043e\u0435 \u0434\u0435\u043b\u043e, \u0436\u0434\u0430\u0442\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e <abbr title=\"\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\">\u041a\u041e<\/abbr> \u043d\u0430 \u0446\u0435\u043b\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0442\u0443\u0442 \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f.<\/p>\n<p>\u041d\u043e \u0435\u0436\u0435\u043b\u0438 \u0447\u0443\u0434\u0435\u0441\u043d\u044b\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c \u043c\u044b \u043f\u043e\u043f\u0430\u043b\u0438 \u0432 \u043d\u0443\u0436\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434, \u0438 \u043d\u0438\u0447\u0435\u0433\u043e \u043d\u0435 \u0443\u043f\u043b\u044b\u043b\u043e, \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u0430\u0437\u0434\u043d\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c. \u041d\u043e \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0430, \u043d\u0443\u0436\u043d\u043e \u043e\u0446\u0435\u043d\u0438\u0442\u044c <abbr title=\"\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\">\u041a\u041e<\/abbr> \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044f \u0443\u0442\u043e\u0447\u043d\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u044c, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043c\u0430\u043b\u043e\u0443\u0433\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u0438. \u0418\u043b\u0438 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043f\u043e\u043c\u0435\u0440\u044f\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u0442\u0440\u043e\u043d\u0435, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442. \u0422\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a\u0430\u043a-\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a: <\/p>\n<p>\u00a0<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/ud\/b1\/-v\/udb1-vzjqymwuqiofgdgyyrl5d4.png\" width=\"991\" height=\"608\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/ud\/b1\/-v\/udb1-vzjqymwuqiofgdgyyrl5d4.png\"\/><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u041d\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044c\u0442\u0435,<\/p>\n<h3>\u0413\u0434\u0435 \u0436\u0435 \u043d\u0430\u0448 \u041a\u041e?<\/h3>\n<p>\u0412 \u0441\u043c\u044b\u0441\u043b\u0435, \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0442\u0430\u043a\u0430\u044f \u0440\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u0441 \u0442\u0435\u043e\u0440\u0438\u0439, \u0438 \u043d\u0435 \u0432 \u043d\u0430\u0448\u0443 \u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443? \u041f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430. \u0412 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0435, \u0435\u0435 (\u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443) \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0451\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445. \u0420\u0430\u0437\u0443\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f, \u044d\u0442\u043e \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e, \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0435\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0441\u0432\u044f\u0437\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 \u0438 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u043c\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0421\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441\u0430 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0448\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0441\u043b\u043e\u044f\u043c\u0438, \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u044e\u0442 \u0440\u0435\u0437\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430 \u0438 \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0430\u044e\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c. \u0422\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0431\u0435\u0437 \u0437\u043d\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u043d\u0435\u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0443\u044e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b. \u041f\u043e \u044d\u0442\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u043e\u0432 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0434\u043b\u044f EUV \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0448\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043b\u043e \u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e.<\/p>\n<p>\u041c\u0435\u0436\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u0430\u044f \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0439 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u044f\u043d\u0438\u044f. \u0412\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043e\u0446\u0435\u043d\u0435\u043d\u043e \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u043e\u0440\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0435\u0439, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0442.\u043d. \u0414\u0435\u0431\u0430\u0435\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430. \u00a0\u0415\u0441\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u043f\u0438\u0441\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u0435\u0439 \u0413\u0430\u0443\u0441\u0441\u0430, \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u041a\u041e \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043e\u043f\u0438\u0441\u0430\u0442\u044c \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u0435\u0439:<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/_d\/f9\/_0\/_df9_0qjle31_k-97n0vvdv2bsg.png\" width=\"612\" height=\"84\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/_d\/f9\/_0\/_df9_0qjle31_k-97n0vvdv2bsg.png\"\/><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u00a0\u0433\u0434\u0435 r<sub>0<\/sub> &#8212; \u044d\u0442\u043e \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0439 \u0438 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0434\u0432\u0443\u043c\u044f \u0441\u043b\u043e\u044f\u043c\u0438. \u0420\u0430\u0441\u0447\u0435\u0442 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0432\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 0,3 \u043d\u043c \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430\u0445 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0443\u0440\u043e\u043d\u0438\u0442\u044c <abbr title=\" \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\">\u041a\u041e<\/abbr> \u043d\u0430 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u044c\u044e. \u0423\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 0,3 \u0434\u043e 0,2 \u043d\u043c \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430 5-6%.<\/p>\n<h3>\u0414\u0430\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0445\u0443\u0436\u0435 \u2026<\/h3>\n<p>\u041f\u043e\u043c\u0438\u043c\u043e \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0434\u043b\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0440 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0442\u0435\u043a\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u0439, \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0435\u0435 \u043a \u0442.\u043d. \u043c\u0435\u0436\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0448\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439 Si \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d \u0434\u0438\u0441\u0438\u043b\u0438\u0446\u0438\u0434\u0430 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 MoSi<sub>2<\/sub>. \u0412 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 Mo \u0438 B \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0438\u0431\u043e\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 MoB<sub>2<\/sub>: <\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/tl\/zg\/1w\/tlzg1wh3c8ldn10dmr2np4k5dgm.png\" alt=\"\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043d\u0438\u043c\u043e\u043a \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u043e\u043c \u0438 \u0431\u043e\u0440\u043e\u043c.\" title=\"\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043d\u0438\u043c\u043e\u043a \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u043e\u043c \u0438 \u0431\u043e\u0440\u043e\u043c.\" width=\"1654\" height=\"711\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/webt\/tl\/zg\/1w\/tlzg1wh3c8ldn10dmr2np4k5dgm.png\"\/><figcaption>\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043d\u0438\u043c\u043e\u043a \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u043e\u043c \u0438 \u0431\u043e\u0440\u043e\u043c.<\/figcaption><\/figure>\n<p>\u041f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0448\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u043c \u043d\u0435\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0441\u043c\u0435\u0436\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u044e\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u0438 \u043e\u043f\u044f\u0442\u044c \u0440\u043e\u043d\u044f\u044e\u0442 <abbr title=\" \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\">\u041a\u041e<\/abbr>, \u043d\u0435\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u044f \u043d\u0430 \u0438\u0445 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0443\u044e \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0443 (\u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 1 \u043d\u043c). \u0415\u0441\u043b\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u043e\u0448\u043b\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0448\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435, \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441 (\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430) \u00a0Mo\/B, \u0437\u0430\u043c\u0435\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u0432\u0443\u043c\u044f \u043a\u0443\u0434\u0430 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u0430\u0441\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441\u0430\u043c\u0438 B\/MoB<sub>2<\/sub> \u0438 MoB<sub>2<\/sub>\/Mo. \u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043e\u0431\u0449\u0438\u0439 \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441\u043e\u0432 \u0432 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0438 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043b\u0441\u044f. \u041f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c , \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a\u0443\u043c\u0443\u043b\u044f\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0422\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043c\u0435\u0448\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b:<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/getpro\/habr\/upload_files\/b2e\/aad\/501\/b2eaad50115e47d3fdb25ce11be01ee8.png\" alt=\"\u042d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043d\u043e\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432 \u043d\u0430 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0424\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u0430\u044f \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f - \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0434\u043b\u044f &quot;\u0441\u043f\u0435\u0439\u0441\u0435\u0440\u0430&quot;. \" title=\"\u042d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043d\u043e\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432 \u043d\u0430 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0424\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u0430\u044f \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f - \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0434\u043b\u044f &quot;\u0441\u043f\u0435\u0439\u0441\u0435\u0440\u0430&quot;. \" width=\"905\" height=\"694\" data-src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/upload_files\/b2e\/aad\/501\/b2eaad50115e47d3fdb25ce11be01ee8.png\"\/><figcaption>\u042d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043d\u043e\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432 \u043d\u0430 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0424\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u0430\u044f \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f &#8212; \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0434\u043b\u044f &#171;\u0441\u043f\u0435\u0439\u0441\u0435\u0440\u0430&#187;. <\/figcaption><\/figure>\n<h3>\u0418 \u0447\u0442\u043e \u0441 \u044d\u0442\u0438\u043c \u0434\u0435\u043b\u0430\u0442\u044c?<\/h3>\n<p>\u0415\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u044b. \u041d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 &#8212; \u0432\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u043d\u0430 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430\u0445 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0440\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u0430. \u041f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u041a\u041e, \u043d\u043e \u0438 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0430\u0435\u0442 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b. <\/p>\n<h3>\u0410 \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 EUV<\/h3>\n<p>\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u0442\u0440\u043e\u043d\u0443 \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0439\u0448\u0435\u0433\u043e \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b, \u0434\u043e 6.7 \u043d\u043c (\u0442.\u043d. BEUV).  \u0422\u0430\u043c \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c \u0435\u0449\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435. \u0412\u043e-\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0445, \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u043d\u0443\u0436\u043d\u043e \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0442\u044c \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u0432\u0434\u0432\u043e\u0435 (\u0434\u043e 3.4 \u043d\u043c). \u0412\u043e-\u0432\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445, \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0445\u043e\u0442\u044f \u0431\u044b \u0434\u043e 300. \u0412 \u0442\u0440\u0435\u0442\u044c\u0438\u0445,  \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u0442\u044c \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0439 \u043d\u0430 \u0431\u043e\u0440 (\u0442\u0430 \u0435\u0449\u0435 \u0437\u0430\u0440\u0430\u0437\u0430). \u041f\u043e\u0437\u0438\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 &#8212; \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432, \u043d\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0449\u0435 \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043a\u043e\u043c\u043f\u0435\u043d\u0441\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0439 KO.<\/p>\n<p>\u041d\u0430 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0432\u0441\u0435. \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0432\u0430\u0441 \u0437\u0430\u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441\u043e\u0432\u0430\u043b\u0430 \u044d\u0442\u0430 \u0442\u0435\u043c\u0430, \u0442\u043e \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043e\u0431 EUV \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 (\u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0438\u044e) \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043d\u0430\u0439\u0442\u0438 \u0432 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0437\u0430\u043c\u0435\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043d\u0438\u0433\u0435:<\/p>\n<p><em>Vivek Bakshi, EUV Lithography, SPIE 2018<\/em><\/p>\n<p>\u0415\u0449\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0439 \u043f\u043e \u0441\u0430\u043c\u0438\u043c \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430\u043c \u0438 \u0441\u043e\u043f\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u043c \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043d\u0430\u0439\u0442\u0438 \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c:<\/p>\n<p><em>Spiller Eberhard, Soft X-Ray Optic, SPIE 1994<\/em><\/p>\n<p><em>\u0412\u0438\u043d\u043e\u0433\u0440\u0430\u0434\u043e\u0432 \u0410., \u0411\u0440\u044b\u0442\u043e\u0432 \u0418., \u0413\u0440\u0443\u0434\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0410., \u0417\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0430, \u041b. \u041c\u0430\u0448\u0438\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u0438\u0435, 1989<\/em><\/p>\n<p> \u041d\u0430 \u0442\u0435\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c <strong>\u00a0<\/strong>BEUV \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u044c \u043d\u0430\u0448 \u0441\u0432\u0435\u0436\u0438\u0439 \u043e\u0431\u0437\u043e\u0440: <a href=\"https:\/\/www.preprints.org\/manuscript\/202110.0083\/v1\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Multilayer Reflective Coatings for BEUV Lithography: A Review<\/a>.<\/p>\n<p><strong>\u041d\u0435\u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0447\u043a\u043e \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0445, \u043a\u043e\u043c\u0443 \u044d\u0442\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441\u043d\u043e<\/strong><\/p>\n<p>\u0412 \u043c\u043e\u0435\u043c \u043b\u0438\u0446\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u041c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u043c \u043a\u0430\u043c\u043f\u0443\u0441\u0435 \u0414\u0436\u0435\u0434\u0437\u044f\u043d\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0442\u0435\u0442\u0430 (Zhejiang University, 53 \u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0432 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u043c \u0440\u0435\u0439\u0442\u0438\u043d\u0433\u0435 THE), \u0438\u0449\u0435\u0442 \u043c\u0430\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0430\u0441\u043f\u0438\u0440\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432, \u0436\u0435\u043b\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u044c \u043d\u0430\u0443\u043a\u0443 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u0443\u044e \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0443\u044e \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0443.\u00a0 <\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p><!----><!----><\/div>\n<p><!----><!----><br \/> \u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0440\u0438\u0433\u0438\u043d\u0430\u043b \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438 <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/articles\/582510\/\"> https:\/\/habr.com\/ru\/articles\/582510\/<\/a><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<div><!--[--><!--]--><\/div>\n<div id=\"post-content-body\">\n<div>\n<div class=\"article-formatted-body article-formatted-body article-formatted-body_version-2\">\n<div xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xhtml\">\n<figure class=\"full-width\"><figcaption>\u041f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 EUV \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u0435<\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0427\u0430\u0441\u0442\u043e \u0432 \u043e\u0431\u0441\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445, \u043f\u043e\u0441\u0432\u044f\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0432\u043d\u0435\u0434\u0440\u0435\u043d\u0438\u044e \u0432\u0441\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043c\u0435\u043b\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0421\u0411\u0418\u0421, \u0432\u0441\u043f\u043b\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0442\u0435\u043c\u0430 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438. \u0422\u0435\u043c\u0430 \u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0430\u044f, \u0438 \u0437\u0430\u043f\u0443\u0442\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043e\u0431\u0441\u0443\u0436\u0434\u0430\u0442\u044c \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441 &#171;\u043a\u0442\u043e \u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0434\u0438\u043b &#8212; Cymer \u0438\u043b\u0438 ASML. \u041d\u043e \u044d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u043e\u0441\u0442 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0438\u044e.<\/p>\n<p>\u0422\u0430\u043a \u0443\u0436 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u043b\u043e\u0441\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 20 \u0441 \u043b\u0438\u0448\u043d\u0438\u043c \u043b\u0435\u0442 \u044f \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u044e\u0441\u044c \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439, \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f <abbr title=\"Extreme Ultraviolet, \u043e\u043d \u0436\u0435 &quot;\u043c\u044f\u0433\u043a\u0438\u0439 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d&quot;\">\u043d\u0442\u0433\u0435&quot;&#187;>EUV <\/abbr>\u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u044b, \u043d\u044b\u043d\u0447\u0435 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0432\u043d\u0435\u0434\u0440\u044f\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e. \u0412\u043e\u0442 \u043e\u0431 \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u0445 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043a \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0435 \u044f \u0438 \u0445\u043e\u0447\u0443 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c.<\/p>\n<h3>\u0427\u0442\u043e \u0437\u0430 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0430?<\/h3>\n<p>\u0420\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0430 \u2013 \u044d\u0442\u043e \u043e\u0434\u043d\u0430 \u0438\u0437 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439, \u0436\u0438\u0437\u043d\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u0430\u044f \u0434\u043b\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0444\u043b\u0443\u043e\u0440\u0435\u0441\u0446\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437, \u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u044f, \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b \u043d\u0430 \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430\u0445, \u0438 \u0442.\u043f. \u00a0\u041d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0441\u0442\u0430\u043b\u043e \u043d\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0443 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13.5 \u043d\u043c. \u0424\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e, \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0441\u044f \u043a \u043c\u044f\u0433\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u0443, \u043d\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434 \u00ab\u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043c\u00bb Extreme Ultraviolet (EUV). <\/p>\n<figure class=\"float full-width\"><figcaption>\u0423\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u043e\u0440\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 <\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0421 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435\u043c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438, \u043d\u043e\u0440\u043c\u044b \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f \u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u044e\u0442 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f. \u0412 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442 (Deep Ultraviolet (DUV)) \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 193 \u043d\u043c. \u042d\u0442\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0441\u044f \u043a \u043f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0435\u043c\u0443 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e.\u00a0 \u041d\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0436\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 EUV. \u041f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043c\u044f\u0433\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u0430, \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434 \u043d\u0430 \u043d\u043e\u0432\u0443\u044e \u0434\u043b\u0438\u043d\u0443 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0431\u0443\u043a\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u00ab\u0432\u0441\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0442\u044c\u00bb. \u0412 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043c\u044f\u0433\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0441 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438. <\/p>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption>\u0421\u0445\u0435\u043c\u0430 EUV \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u0430<\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0420\u0438\u0441\u0443\u043d\u043e\u043a \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0438\u043b\u043b\u044e\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443 \u0442\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e EUV \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u0430, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0432 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438.\u00a0 \u041a\u0430\u043a \u0432\u0438\u0434\u043d\u043e, \u043e\u043d \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0442 \u043d\u0435 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 5 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0432 \u043f\u043e\u0434\u0441\u0432\u0435\u0442\u043a\u0435 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0438 6 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438. \u041e\u0431\u0449\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0432 \u0441\u0442\u043e \u0440\u0430\u0437 \u043d\u0438\u0436\u0435, \u0447\u0435\u043c \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0434\u0438\u043d\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0423\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f (<abbr title=\"\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\">\u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f&#187;>\u041a\u041e<\/abbr>) \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u0441 53 \u0434\u043e 65% \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043d\u0443\u044e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0432 7 \u0440\u0430\u0437. \u0422\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043d\u0435\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0435 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0435\u043c\u0435\u0434\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c. \u042d\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0449\u0443\u044e \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430, \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u044f \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u0438. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443, \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 EUV \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u0430. \u00ab\u0422\u0430\u043a \u0434\u0430\u0432\u0430\u0439\u0442\u0435 \u0436\u0435 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043c <abbr title=\"\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\">\u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f&#187;>\u041a\u041e<\/abbr>, \u043e\u0442\u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430, \u043a \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u0443\u2026\u00bb \u043f\u043e\u0434\u0443\u043c\u0430\u0435\u0442 \u043b\u044e\u0431\u043e\u0437\u043d\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c. \u041d\u043e \u043d\u0435 \u0432\u0441\u0435 \u0442\u0430\u043a \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u2026<\/p>\n<h3>\u0425\u044c\u044e\u0441\u0442\u043e\u043d, \u0443 \u043d\u0430\u0441 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430\u2026 <\/h3>\n<p>\u0421\u043b\u0430\u0431\u043e\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u044f\u0433\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u044b\u043c\u0438 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u041f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u043c \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u044b\u043c \u0438 \u0440\u0430\u0432\u0435\u043d\u00a0 1 &#8212; \u03b4 + i\u03b2, \u0433\u0434\u0435 \u043c\u043d\u0438\u043c\u0430\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435. \u0421\u0440\u0430\u0437\u0443 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0431\u044b\u043b\u043e \u043e\u0431\u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u0441\u0435\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0441\u043b\u0430\u0431\u043e \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u044b (\u03b4 ~ 10<sup>-5<\/sup>). \u041f\u043e\u0437\u0436\u0435, \u0432 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u0445, \u0431\u044b\u043b \u043e\u0431\u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d \u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439. \u00ab\u041d\u043e\u0432\u0430\u044f \u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u044f\u00bb \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0431\u044b\u043b\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0430 30 \u043b\u0435\u0442 \u043d\u0430\u0437\u0430\u0434, \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0431\u044b\u043b\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0430\u043d\u0438\u043f\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043b\u0443\u0447\u0430\u043c\u0438. \u041e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0442 \u0438\u0437 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0434\u0432\u0443\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u043a\u0430\u043a \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0435 3. \u0422\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0443\u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430. \u0422\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u043d\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438 (\u0430\u043d\u0433\u043b. periodical multilayer X-ray mirrors\u00a0 &#8212; PMMS).<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption>\u0421\u0445\u0435\u043c\u0430 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430<\/figcaption><\/figure>\n<p>\u041c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043a\u0438, \u043f\u043e \u0441\u0443\u0442\u0438, \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0411\u0440\u0435\u0433\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u043c\u0438, \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0438\u043c\u0438 \u0438\u0437 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u00ab\u043b\u0435\u0433\u043a\u043e\u0433\u043e\u00bb \u0438 \u00ab\u0442\u044f\u0436\u0435\u043b\u043e\u0433\u043e\u00bb \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430; \u043e\u043d\u0438 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043d\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u00abspacer\u00bb \u0438 \u00ababsorber\u00bb. \u041f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u043e\u0432\u0438\u043d\u0443 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0443\u0433\u043b\u0430 \u043f\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0431\u043b\u0438\u0437\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u0438. \u041c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044e\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430\u0445 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043b\u0435\u0433\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0438 \u0442\u044f\u0436\u0435\u043b\u044b\u043c\u0438 \u0441\u043b\u043e\u044f\u043c\u0438. <\/p>\n<p>\u041d\u0430 \u043b\u044e\u0431\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u03b4 \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u03b2 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432. \u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u03b4 \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u03b2 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0430\u0442 \u0441\u043f\u0435\u0439\u0441\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438. \u041f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c\u0438 \u03b4 (\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u043f\u0435\u0439\u0441\u0435\u0440\u0430 \u0438 \u0430\u0431\u0441\u043e\u0440\u0431\u0435\u0440\u0430) \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u0430\u0441\u0442. \u041a\u0430\u043a \u0430\u0431\u0441\u043e\u0440\u0431\u0435\u0440\u044b, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0441\u043f\u0435\u0439\u0441\u0435\u0440\u044b \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0433\u043e \u03b2, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0432\u044b\u0448\u0435 12,8 \u043d\u043c \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0435\u0433\u043e \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0430\u0431\u0441\u043e\u0440\u0431\u0435\u0440\u0430. \u041d\u0430 \u0442\u043e\u0439 \u0436\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043a\u0430\u043a \u0441\u043f\u0435\u0439\u0441\u0435\u0440. <\/p>\n<h3>\u0421\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0435\u043c<\/h3>\n<p>\u041f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0448\u0430\u0433\u043e\u0432. \u041f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0439 \u0448\u0430\u0433 &#8212; \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043f\u0430\u0440\u044b \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430. \u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0432 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d \u0432\u043e\u043b\u043d. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043f\u0430\u0440\u0430 Mo\/Si \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u043c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13,5 \u043d\u043c (EUV), \u0430 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043a\u0438 Mo\/B \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f 6,7 \u043d\u043c, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0431\u043e\u0440 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u043c; Co\/C \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d \u0432\u043e\u043b\u043d 4,4 &#8212; 4,5 \u043d\u043c.<\/p>\n<p>\u0421\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u0448\u0430\u0433\u043e\u043c \u0432\u044b\u0431\u0438\u0440\u0430\u0435\u0442 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0443 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0438 \u0438\u0445 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e. \u042d\u0442\u043e\u0442 \u0448\u0430\u0433 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u043d\u043e\u043c \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 <abbr title=\"\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\">\u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f&#187;>KO<\/abbr> \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b. \u0414\u043b\u044f \u0440\u0430\u0441\u0447\u0435\u0442\u0430 <abbr title=\"\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\">\u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f&#187;>\u041a\u041e<\/abbr> \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b. \u041c\u044b \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0438\u0442\u0430\u0435\u043c \u043d\u0430\u0448 \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 <a href=\"https:\/\/github.com\/OleksiyPenkov\/X-RayCalc\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">X-RayCalc<\/a>.  <\/p>\n<p>\u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0434\u043b\u044f 13.5 \u043d\u043c, \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b Mo \u0438 Si \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 2.8 \u0438 4.6 \u043d\u043c, \u043e\u0431\u0449\u0435\u0435 \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e \u043f\u0430\u0440 (\u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u043e\u0432) &#8212; 50-60: <\/p>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption>\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 Mo\/Si (\u043f\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435) \u0438 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u041a\u041e \u043e\u0442 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u043e\u0432. <\/figcaption><\/figure>\n<h3>\u0422\u0430\u043a \u043a\u0430\u043a \u0436\u0435 \u044d\u0442\u043e \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u043d\u043e? <\/h3>\n<p>\u0422\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u2013 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (\u043d\u0438\u043a\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0412\u0427 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430\u043c \u043d\u0435 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442). \u0412\u0435\u0441\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0432 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0435 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0433\u0430\u0437\u0430 (\u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u0430). \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u0443\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438\u0442\u044c \u2013 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0434\u0432\u0430 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430, \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434 \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u044c\u044e (\u0434\u0438\u0441\u043a \u0438\u0437 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043d\u0443\u0436\u043d\u043e \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u044f\u0442\u044c). \u041c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u044b \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0437\u0430\u043c\u043a\u043d\u0443\u0442\u043e\u0435 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0435, \u0443\u043b\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b. \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u044d\u043c\u0438\u0442\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437 \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u0438 \u043f\u043e\u0434 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c \u043e\u0442\u0440\u0438\u0446\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u0430, \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043a \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u0438 (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e, \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441\u043e\u0442\u0435\u043d \u0432\u043e\u043b\u044c\u0442). \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u043e\u043c \u043f\u043e\u043b\u0435, \u0441\u0442\u0430\u043b\u043a\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u043c\u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430, \u0438\u043e\u043d\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u044f \u0435\u0433\u043e. \u0418\u043e\u043d\u044b \u0431\u043e\u043c\u0431\u0430\u0440\u0434\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0443, \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u044f\u044f \u0435\u0435. \u041f\u043e\u0442\u043e\u043a \u0430\u0442\u043e\u043c\u043e\u0432 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0443, \u0433\u0434\u0435 \u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0443\u044e \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0443. \u041d\u0435\u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0445\u0430\u0431\u0440\u0435 \u0432\u044b\u0448\u043b\u0430 <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/company\/ruvds\/blog\/580218\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u044f \u043e \u043f\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0435 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0432 \u0434\u043e\u043c\u0430\u0448\u043d\u0438\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445<\/a>. <\/p>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u044f\u043c\u0438, \u0438 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0438 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043e\u0432, \u043f\u0440\u0438\u043b\u0435\u0442\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0443. \u042d\u0442\u043e \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0430\u043c\u0438. \u0414\u043b\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043e\u0431\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b, \u0442.\u043d. \u043a\u0430\u0440\u0443\u0441\u0435\u043b\u044c.<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0412 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u044b \u0432\u043e\u043a\u0440\u0443\u0433 \u043e\u0441\u0438 \u043a\u0430\u0440\u0443\u0441\u0435\u043b\u0438 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u043f\u0435\u043d\u0434\u0438\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e \u0435\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041a\u0430\u0440\u0443\u0441\u0435\u043b\u044c \u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430 \u0446\u0438\u043a\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430 \u043a \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u043c\u0443.\u00a0 \u041c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u0441\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u0440\u043d\u043e\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435, \u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0435\u043c \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u0438. \u0414\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f\u0441\u044f \u0437\u0430\u0441\u043b\u043e\u043d\u043a\u0430 \u0441 \u043e\u043a\u043d\u043e\u043c. \u0412\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e, \u043d\u0435 \u0442\u0430\u043a \u043b\u0438?\u00a0 \u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0<\/p>\n<h3>\u0415\u0449\u0451 \u043e\u0434\u043d\u043e \u043b\u0438\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0442\u0441\u0442\u0443\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h3>\n<p>\u0417\u0430 \u0441\u0432\u043e\u044e \u043a\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u0443 \u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0438\u043b \u0442\u0440\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b. \u041f\u0435\u0440\u0432\u0430\u044f \u0431\u044b\u043b\u0430 \u0432 \u0425\u0430\u0440\u044c\u043a\u043e\u0432\u0435, \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0430 \u0430\u0441\u043f\u0438\u0440\u0430\u043d\u0442\u0443\u0440\u044b, \u0441 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043e\u043c, \u0438 \u00ab\u043f\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0438\u043b\u00bb \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u044c \u0431\u0443\u043a\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u043b \u0437\u0430\u043b\u0438\u0432\u043a\u0443 \u0431\u0435\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0440\u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u0430. \u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0435\u0442 \u0434\u043e \u0441\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0440, \u0445\u043e\u0442\u044f \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043e\u0442\u043c\u0435\u0447\u0430\u0442\u044c \u0434\u0432\u0430\u0434\u0446\u0430\u0442\u0438\u043b\u0435\u0442\u0438\u0435. \u041f\u043e\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0438\u0442\u0435, \u043a\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0438\u043c\u043f\u0430\u043d\u043a (\u043e\u0441\u044c \u043a\u0430\u0440\u0443\u0441\u0435\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0430 \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e):<\/p>\n<p>\u00a0<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption>\u0412\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u0430\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b, \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u0425\u0430\u0440\u044c\u043a\u043e\u0432, 2002 \u0433.<\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0414\u0430\u043b\u044c\u0448\u0435 \u044f \u0443\u0436\u0435 \u043d\u0438\u0447\u0435\u0433\u043e \u043d\u0435 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0438\u043b \u0441\u0430\u043c, \u0430 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b. \u0412\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0431\u044b\u043b\u0430 \u0432 \u041a\u043e\u0440\u0435\u0435, \u0438 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0439 \u0443\u0434\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u0442\u044c \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u043d\u0435\u043f\u043b\u043e\u0445\u0438\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 Mo\/B \u0434\u043b\u044f \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 6.7 \u043d\u043c. \u0422\u0443\u0442 \u043e\u0441\u044c \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f, \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0443, \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0434 \u043d\u0438\u043c\u0438. <\/p>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption>\u0412\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041a\u043e\u0440\u0435\u044f, 2017-2019 \u0433. <\/figcaption><\/figure>\n<p>\u041d\u0430 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0435: 1 &#8212; \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u0430\u044f \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u0430, 2 \u0438 3 &#8212; \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b. 4-5 &#8212; \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c. <\/p>\n<p>\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0442\u0440\u0435\u0442\u044c\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u044b\u043b\u0430 \u0437\u0430\u043f\u0443\u0449\u0435\u043d\u0430 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0435\u0432 \u043d\u0430\u0437\u0430\u0434. \u041d\u0430\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043e\u043f\u044b\u0442 + (\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438) \u043d\u0435\u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u0435\u043b\u0438 \u0432\u043e\u0442 \u044d\u0442\u0443 \u043a\u0440\u0430\u0441\u043e\u0442\u0443:<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption>\u0422\u0440\u0435\u0442\u044c\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439, 2021\u0433.<\/figcaption><\/figure>\n<p>\u0427\u0435\u0442\u044b\u0440\u0435 150 \u043c\u043c \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430, \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0432\u043e\u0434\u043e-\u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0430\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438, \u0448\u043b\u044e\u0437, \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u044b,  \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f. \u0411\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 &#8212; 1e-7 \u0422\u043e\u0440\u0440. \u041d\u0430\u043a\u043e\u043d\u0435\u0446-\u0442\u043e \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0432\u0435\u0440\u043d\u0443\u0442\u044c\u0441\u044f \u043f\u043e \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0435.<\/p>\n<p>\u041a\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438, \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0439 \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0442\u044c\u0435\u0439 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a, \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u043b\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u0432\u043e\u0438\u043c\u0438 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043c\u0438. \u0418\u043c\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0448\u0430\u0433\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0442\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u043b\u0435\u0440\u044b \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e \u0440\u0443\u043b\u0438\u0442\u044c \u044d\u0442\u0438\u043c \u0445\u043e\u0437\u044f\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c. \u0414\u0430\u0436\u0435 \u0441\u0432\u043e\u044f \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u0435\u0442\u044c \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 \u0435\u0441\u0442\u044c:<\/p>\n<figure class=\"\"><figcaption>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u0438 \u0437\u0430\u0441\u043b\u043e\u043d\u043a\u0438.<\/figcaption><\/figure>\n<p> \u041d\u0443 \u0438 \u043a\u0440\u0430\u0441\u0438\u0432\u044b\u0439 \u0441\u0430\u043c\u043e\u043f\u0438\u0441\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441 \u043d\u0430 Delphi, \u043a\u0443\u0434\u0430 \u0436\u0435 \u0431\u0435\u0437 \u043d\u0435\u0433\u043e. \u041d\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u044d\u0442\u0430\u043f\u0435 \u044d\u0442\u043e \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u0438\u0442 \u0442\u0430\u043a:<\/p>\n<p>\u00a0<\/p>\n<figure class=\"full-width\"><figcaption>\u0418\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.<\/figcaption><\/figure>\n<p>\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u043e\u0435 \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u2013 \u0441\u0432\u043e\u0439 \u0441\u043a\u0440\u0438\u043f\u0442\u043e\u0432\u044b\u0439 \u044f\u0437\u044b\u043a, \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432\u0435\u0441\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u043b\u043e\u043a\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f. \u041a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442 3-5 \u0447\u0430\u0441\u043e\u0432, \u043d\u0435 \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438, \u0431\u0435\u0437 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0438\u043a\u0430\u043a. <\/p>\n<h3>\u0418 \u0433\u0434\u0435 \u043c\u044b?<\/h3>\n<p>\u041d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0438\u0442\u044c \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u043e \u2013 \u044d\u0442\u043e \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u043e\u043b\u0434\u0435\u043b\u0430. \u0415\u0433\u043e \u0435\u0449\u0435 \u043d\u0443\u0436\u043d\u043e \u0430\u0442\u0442\u0435\u0441\u0442\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c, \u0438 \u0443\u0431\u0435\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0438\u043b\u0438 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0442\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0441\u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u2013 \u043d\u0435\u0442). \u041f\u0440\u044f\u043c\u043e\u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u2013 \u043f\u043e\u0435\u0445\u0430\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u0439\u0448\u0438\u0439 \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u0442\u0440\u043e\u043d, \u0438 \u043f\u043e\u043c\u0435\u0440\u044f\u0442\u044c <abbr title=\"\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\">\u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f&#187;>\u041a\u041e<\/abbr> \u043d\u0430 \u043d\u0443\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b. \u041a \u0441\u043e\u0436\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e, \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e, \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e, \u0438 \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0447\u0442\u043e-\u0442\u043e \u043f\u043e\u0448\u043b\u043e \u043d\u0435 \u0442\u0430\u043a, \u043c\u044b \u044d\u0442\u043e \u0443\u0432\u0438\u0434\u0438\u043c, \u043d\u043e \u0432\u0440\u044f\u0434 \u043b\u0438 \u043f\u043e\u0439\u043c\u0435\u043c \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443.<\/p>\n<p>\u0422\u0443\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[],"tags":[],"class_list":["post-408287","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/408287","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=408287"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/408287\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=408287"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=408287"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=408287"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}