{"id":462887,"date":"2025-06-11T15:00:32","date_gmt":"2025-06-11T15:00:32","guid":{"rendered":"http:\/\/savepearlharbor.com\/?p=462887"},"modified":"-0001-11-30T00:00:00","modified_gmt":"-0001-11-29T21:00:00","slug":"","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/savepearlharbor.com\/?p=462887","title":{"rendered":"<span>\u0410\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 (Atomic layer deposition, ALD) \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435: \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437<\/span>"},"content":{"rendered":"<div><!--[--><!--]--><\/div>\n<div id=\"post-content-body\">\n<div>\n<div class=\"article-formatted-body article-formatted-body article-formatted-body_version-2\">\n<div xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xhtml\">\n<figure class=\"full-width\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/getpro\/habr\/upload_files\/7d8\/31b\/fb9\/7d831bfb94cb7b30b67548c61e232015.png\" width=\"780\" height=\"440\" sizes=\"auto, (max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780\/getpro\/habr\/upload_files\/7d8\/31b\/fb9\/7d831bfb94cb7b30b67548c61e232015.png 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/getpro\/habr\/upload_files\/7d8\/31b\/fb9\/7d831bfb94cb7b30b67548c61e232015.png 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/><\/figure>\n<p>Atomic Layer Deposition (ALD) \u2013 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445, \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u043f\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041e \u043d\u0435\u0439 \u043c\u044b \u0438 \u043f\u043e\u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u0438\u043c \u0432 \u043d\u0430\u0448\u0435\u043c \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f\u0448\u043d\u0435\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0435.\u00a0<\/p>\n<h2>\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434<\/h2>\n<p>\u0421\u0443\u0442\u044c ALD \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u043d\u0435\u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u0432\u0435\u0441\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u043b\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043f\u043e\u0434\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0438\u0437\u0432\u043d\u0435 \u0440\u0435\u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u0430\u043c\u0438 (\u0424\u0413) \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438.<\/p>\n<p>\u0420\u0430\u043d\u0435\u0435 \u043c\u044b \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u043b\u0438 CVD- \u0438 PVD-\u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439, \u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0438\u0441\u043f\u0430\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435; \u0438\u0445 \u043e\u0431\u0449\u0435\u0439 \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u043a \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\/\u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u0435\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440 \u0433\u0430\u0437\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0435\u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n<p>\u041f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c ALD \u2013\u00a0 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e-\u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434. \u041f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430.\u00a0<\/p>\n<h2>\u0410\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438<\/h2>\n<p>\u041e\u0441\u043e\u0431\u0430\u044f \u0430\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043e\u043a \u043f\u043e \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u043c\u0443 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044e (ALD) \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0434\u043e\u0433\u043e\u043d\u044f\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0431\u0430\u0437\u044b \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 (\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c, \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 \u0438 \u0434\u0440.). \u041f\u0440\u0438 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0440\u0435\u043b\u044c\u0435\u0444\u0430 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440 \u043e\u0434\u043d\u0430 \u0438\u0445 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0440\u043e\u043b\u0435\u0439 \u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0433\u0430\u0437\u043e\u0444\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c, \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u043d\u0430 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u044f\u0445, \u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u043c\u0443 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044e (ALD). \u041f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c, \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0440\u0435\u0441\u0443\u0440\u0441\u043d\u043e\u0439 \u0431\u0430\u0437\u044b \u2013 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 (\u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432), \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0446\u0435\u043b\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b.<\/p>\n<p>\u0412 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u044b \u0442\u0430\u043d\u0442\u0430\u043b\u0430, \u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u043d\u0430, \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0441\u043c\u0435\u0448\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b, \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e, \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u044b \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0433\u043e \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e\u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u044b \u0432\u0432\u0438\u0434\u0443 \u0438\u043c\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430. \u0422\u0430\u043a, \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u044b \u0442\u0430\u043d\u0442\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u044f \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438, \u0430 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u043d\u0430 \u2013 \u043a\u0430\u043a \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0434\u043e\u043f\u0430\u043d\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0439\u0448\u0435\u0433\u043e \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043d\u043e\u0440\u043c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0434\u043b\u044f \u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0435\u0433\u043d\u0435\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438. \u0422\u0430\u043a \u043a\u0430\u043a \u0432\u0441\u0435 \u044d\u0442\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043b\u0438\u0431\u043e \u0434\u043b\u044f \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043d\u043e\u0440\u043c (\u043d\u0438\u0436\u0435 14 \u043d\u043c), \u043b\u0438\u0431\u043e \u0436\u0435 \u0438\u0445 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u0432\u043b\u0438\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0438 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438, \u0442\u043e \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u044f\u0442\u0441\u044f \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0435 \u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a.<\/p>\n<p>\u0412\u0430\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0447\u0435\u0440\u043a\u043d\u0443\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0438, \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 ALD \u043d\u0430\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 (\u043b\u0435\u0442\u0443\u0447\u0435\u0441\u0442\u044c, \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c). \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0430, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u043f\u0430\u0440\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e-\u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439, \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u044b, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0442\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0441\u043a\u0440\u0438\u043d\u0438\u043d\u0433\u0430 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u043a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438, \u043d\u043e \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0441\u0447\u0435\u0442\u043e\u0432 \u0437\u0430\u0447\u0430\u0441\u0442\u0443\u044e \u0434\u0430\u044e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043e\u0440\u0435\u0447\u0438\u0432\u0443\u044e \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u044e, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043e\u043a.\u00a0<\/p>\n<p>\u0412 \u043c\u0430\u0440\u043a\u0435\u0442\u0438\u043d\u0433\u043e\u0432\u043e\u043c <a href=\"https:\/\/www.precedenceresearch.com\/atomic-layer-deposition-market\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438<\/a> Atomic Layer Deposition Market Size, Share, and Trends 2025 to 2034 \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u043e\u0441\u0442 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 3,18 \u0434\u043e 9,88 \u043c\u043b\u0440\u0434 \u0434\u043e\u043b\u043b. \u0441 2025 \u043f\u043e 2034 \u0433. \u0441 \u043e\u0433\u0440\u043e\u043c\u043d\u044b\u043c \u0442\u0435\u043c\u043f\u043e\u043c CAGR 13,42% \u0437\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434. \u0420\u043e\u0441\u0442 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0432 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043b\u0438 \u043c\u0438\u043d\u0438\u0430\u0442\u044e\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.\u00a0\u0412 2024 \u0433. \u0441\u0435\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043b\u0438\u0434\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b \u043d\u0430 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u043c \u0440\u044b\u043d\u043a\u0435 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0432\u043d\u0443\u0448\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043e\u043b\u0435\u0439 \u0432\u044b\u0440\u0443\u0447\u043a\u0438 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 41% \u0438, \u043a\u0430\u043a \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0451 \u0434\u043e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0435\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0442\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0433\u043d\u043e\u0437\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0430 \u0434\u043e 2035 \u0433\u043e\u0434\u0430.\u00a0\u042d\u0442\u043e \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043e \u0441 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u043c \u0438 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0443\u0449\u0438\u043c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435, \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445 \u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430\u0445. \u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0438 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0441\u0432\u043e\u0435\u0439 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043d\u0430\u0434\u0451\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043c\u0438\u043d\u0438\u0430\u0442\u044e\u0440\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u043c \u0438 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n<p>\u0413\u043b\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0438\u0433\u0440\u043e\u043a\u0430\u043c\u0438 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0438\u044e\u043d\u044c 2025 \u0433. \u044f\u0432\u043b\u044f\u043b\u0438\u0441\u044c Lam Research Corporation, Applied Materials, Inc., Tokyo Electron Ltd., ASM International, Veeco Instruments, Inc., Denton Vacuum, LLC., Picosun Group, ALD NanoSolutions, Inc., Beneq Oy, Kurt J. Lesker Company, Canon Anvela Corporation.<\/p>\n<p>\u0412 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435 \u043d\u0430\u0441 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441\u0443\u0435\u0442 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442.<\/p>\n<h2>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442<\/h2>\n<p>\u041d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u0442\u0430\u043b\u0435 Google.Patents \u043f\u043e\u0438\u0441\u043a \u043f\u043e \u0437\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441\u0443 <strong>Atomic Layer Deposition<\/strong> \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 100 000 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u041f\u043e \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043b\u0438\u0434\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043c\u044b:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=Direct+laser+writing+(DLW)&amp;oq=Direct+laser+writing+(DLW)+\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">H01L<\/a> \u2014 70%<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;oq=Atomic+Layer+Deposition+\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">C23C<\/a> \u2014 57%<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;oq=Atomic+Layer+Deposition+\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">H10B<\/a> \u2014 18%<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0433\u0430\u0437\u043e\u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b \u0438 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0441\u0432\u0435\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0430\u043c\u043f\u044b <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;oq=Atomic+Layer+Deposition+\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">H01J<\/a> \u2014 10%<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0412\u0438\u0434\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0435\u0440\u0432\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=Direct+laser+writing+(DLW)&amp;oq=Direct+laser+writing+(DLW)+\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">H01L<\/a> \u0441 \u0434\u043e\u043b\u0435\u0439 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u0430\u0445 70%.<\/p>\n<p>\u041b\u0438\u0434\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u043c \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0432\u044b\u0441\u0442\u0443\u043f\u0438\u043b\u0438 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438:<\/p>\n<ol>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;assignee=Micron+Technology%2c+Inc.&amp;peid=634c0c038c0f0%3A29%3A693bc685\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Micron Technology, Inc.<\/a> \u2014 8%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;oq=Atomic+Layer+Deposition+\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Sandisk Technologies Llc<\/a> \u2014 5%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;oq=Atomic+Layer+Deposition+\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Applied Materials, Inc.<\/a> \u2014 5%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;oq=Atomic+Layer+Deposition+\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Asm Ip Holding B.V.<\/a> \u2014 4%.<\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<p>\u0421\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0438\u0441\u043a \u043f\u043e \u0437\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441\u0443 <strong>(Atomic Layer Deposition) (H01L) <\/strong>Google.Patents \u0432\u044b\u0434\u0430\u043b \u043d\u0430 \u0438\u044e\u043d\u044c 2025 \u0433\u043e\u0434\u0430 88828 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u0414\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043e \u0433\u043e\u0434\u0430\u043c \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u0438\u0441. 1.<\/p>\n<p><strong>\u0420\u0438\u0441\u0443\u043d\u043e\u043a 1: \u0414\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u043c\u0443 (Atomic Layer Deposition) (H01L) \u0432 1992-2025 \u0433\u0433.<\/strong><\/p>\n<figure class=\"\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/getpro\/habr\/upload_files\/78e\/04f\/7de\/78e04f7de3998cb352377986d0aa5540.png\" width=\"433\" height=\"253\" sizes=\"auto, (max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780\/getpro\/habr\/upload_files\/78e\/04f\/7de\/78e04f7de3998cb352377986d0aa5540.png 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/getpro\/habr\/upload_files\/78e\/04f\/7de\/78e04f7de3998cb352377986d0aa5540.png 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/><\/figure>\n<p><em>\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u043f\u0440\u0435\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 Google.Patents 29.05.2025<\/em><\/p>\n<p>\u0412\u0438\u0434\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 20 \u043b\u0435\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u044b \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u043d\u043e\u0441\u044f\u0442 \u043c\u044f\u0433\u043a\u043e-\u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440 (\u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0430 2025 \u0433. \u0435\u0449\u0435 \u043d\u0435 \u0443\u0447\u0442\u0435\u043d\u044b \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e). \u041b\u0438\u0434\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f:<\/p>\n<ol>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;q=H01L&amp;assignee=Taiwan+Semiconductor+Manufacturing+Company%2c+Ltd.&amp;peid=634c0d21ff1d0%3A6b%3A40b0a226\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.<\/a> \u2014 15%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;assignee=Asm+Ip+Holding+B.V.&amp;peid=634c0c05b5868%3A2b%3Ada33507\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Micron Technology, Inc.<\/a> \u2014 4%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;assignee=Lam+Research+Corporation&amp;peid=634c0c2145ad8%3A2f%3Ad466597f\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Samsung Electronics Co., Ltd.<\/a> \u2014 3%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;assignee=%EC%97%90%EC%9D%B4%EC%97%90%EC%8A%A4%EC%97%A0+%EC%95%84%EC%9D%B4%ED%94%BC+%ED%99%80%EB%94%A9+%EB%B9%84.%EB%B8%8C%EC%9D%B4.&amp;peid=634c0c05c5e20%3A2d%3A71d84ccd\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">International Business Machines Corporation<\/a> \u2014 2%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;q=H01L\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Nanya Technology Corporation<\/a> \u2014 2%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;assignee=%EC%96%B4%ED%94%8C%EB%9D%BC%EC%9D%B4%EB%93%9C+%EB%A8%B8%ED%8B%B0%EC%96%B4%EB%A6%AC%EC%96%BC%EC%8A%A4%2c+%EC%9D%B8%EC%BD%94%ED%8F%AC%EB%A0%88%EC%9D%B4%ED%8B%B0%EB%93%9C&amp;peid=634c0c2137848%3A2e%3A1a00d0e4\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Applied Materials, Inc.<\/a> \u2014 2%.<\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<p>\u041a\u0430\u043a \u0432\u0438\u0434\u043d\u043e, \u043b\u0438\u0434\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u0442\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u0422\u0430\u0439\u0432\u0430\u043d\u044f. \u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432:<\/p>\n<p>US10516100B2 Silicon oxynitride based encapsulation layer for magnetic tunnel junctions<\/p>\n<p>US11456211B2 Method of forming interconnect structure<\/p>\n<p><\/p>\n<h2>\u0410 \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438?\u00a0<\/h2>\n<p>\u0412 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0424\u0418\u041f\u0421 \u0432 \u0440\u0435\u0444\u0435\u0440\u0430\u0442\u0430\u0445 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f \u0420\u0424 \u043f\u043e \u0437\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441\u0443 <strong>\u0410\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435<\/strong> 67 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0435 2.<\/p>\n<p><strong>\u0420\u0438\u0441\u0443\u043d\u043e\u043a 2: \u0414\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u043c\u0443 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 2011-2025 \u0433\u0433.<\/strong><\/p>\n<figure class=\"\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/getpro\/habr\/upload_files\/8cc\/db0\/90e\/8ccdb090eef380f5e13395ec970040be.png\" width=\"433\" height=\"253\" sizes=\"auto, (max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780\/getpro\/habr\/upload_files\/8cc\/db0\/90e\/8ccdb090eef380f5e13395ec970040be.png 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/getpro\/habr\/upload_files\/8cc\/db0\/90e\/8ccdb090eef380f5e13395ec970040be.png 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/><\/figure>\n<p><em>\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: \u0424\u0418\u041f\u0421 10.05.2025<\/em><\/p>\n<p>\u0412\u0438\u0434\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0432 2011-2025 \u0433\u0433. \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u043e\u0435 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0448\u043b\u043e \u0440\u0432\u0430\u043d\u044b\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c.<\/p>\n<p>\u041c\u044b \u043f\u0440\u043e\u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b (\u0438\u0445 30), \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043f\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e 5 \u0435\u0434., \u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u043c \u0438\u0445 \u0432\u0441\u0435:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2601771&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2601771<\/a> (2016) \u0421<em>\u0432\u0435\u0442\u043e\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0434\u0438\u0441\u043f\u043b\u0435\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438\u043e\u0434\u0430\u0445 \u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0435\u0435 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/em>. \u041e\u041e\u041e &#171;\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438&#187; (\u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430). \u041e\u043d\u0430 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0433\u0435\u0440\u043c\u0435\u0442\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 AlxOy, \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e\u00a0\u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2633894&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2633894<\/a> (2017) \u0421<em>\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e-\u0441\u0442\u0438\u043c\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0433\u0435\u0442\u0435\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434-\u0433\u0430\u043b\u043b\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432. <\/em>\u0410\u041e &#171;\u041d\u041f\u041f &#171;\u041f\u0443\u043b\u044c\u0441\u0430\u0440&#187;, \u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430. \u041f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0433\u0435\u0442\u0435\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0432\u0430\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u0432 \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0437\u043e\u043d\u0435, \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2747132&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2747132<\/a> (2021) \u0421<em>\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0434\u0438\u043e\u0434\u0430. <\/em>\u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c. \u0410.\u0424. \u0418\u043e\u0444\u0444\u0435 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a. \u041d\u0430\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u044b\u043c \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 5-15 \u043d\u043c \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430, \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0432\u044b\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u0442\u044c SiO2, \u0438\u043b\u0438 \u0410l2O3. \u0418\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0434\u0438\u043e\u0434\u044b \u0441 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0441\u0440\u043e\u043a\u043e\u043c \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u0433\u0440\u0430\u0434\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430 \u0441\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0435\u043c.\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2792707&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2792707<\/a> (2023) <em>\u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u043f\u0440\u0438\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/em>. \u0410\u041e &#171;\u041d\u041f\u041e &#171;\u041e\u0440\u0438\u043e\u043d&#187; (\u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430). \u0424\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u0443\u044e \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0443 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 10 \u043d\u043c \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2808961&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2808961<\/a> (2023) <em>\u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0439-\u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0431\u0435\u0437\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/em> \u041e\u041e\u041e &#171;\u0418\u043d\u0436\u0438\u043d\u0438\u0440\u0438\u043d\u0433\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440 &#171;\u0426\u0438\u0444\u0440\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b&#187; (\u0412\u043e\u043b\u0436\u0441\u043a\u0438\u0439). \u0418\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0434\u0432\u0443\u0445\u044d\u0442\u0430\u043f\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435, \u0433\u0434\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043c \u044d\u0442\u0430\u043f\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u00a0\u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044e\u00a0\u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0442\u0440\u0438\u043c\u0435\u0442\u0438\u043b\u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0432\u043e\u0434\u044b \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c\u00a0\u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f\u00a0\u0441 \u0446\u0435\u043b\u044c\u044e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0433\u0438\u0434\u0440\u043e\u043a\u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0430\u0434\u0433\u0435\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0439-\u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043a \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435.\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0412 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0424\u0418\u041f\u0421 \u0447\u0435\u0442\u044b\u0440\u0435 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0420\u0424 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438 \u043f\u043e \u043d\u0430\u0448\u0435\u0439 \u0442\u0435\u043c\u0435, \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u0434\u0432\u0430:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPM&amp;DocNumber=171207&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">171207<\/a> (2017) \u042d<em>\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0431\u0435\u0440\u0438\u043b\u043b\u0438\u044f \u0441 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435\u043c. <\/em>\u0411\u0430\u043b\u0442\u0438\u0439\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0444\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0443\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0442\u0435\u0442 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0418\u043c\u043c\u0430\u043d\u0443\u0438\u043b\u0430 \u041a\u0430\u043d\u0442\u0430. \u041f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0430 \u0441 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435\u043c \u0438\u0437 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0430 10-200 \u043d\u043c, \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPM&amp;DocNumber=202461&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">202461<\/a>\u00a0(2021) <em>\u041c\u0435\u043c\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0438\u043d\u0430\u043f\u0441.<\/em> \u0421\u0430\u043d\u043a\u0442-\u041f\u0435\u0442\u0435\u0440\u0431\u0443\u0440\u0433\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0443\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0442\u0435\u0442 &#171;\u041b\u042d\u0422\u0418&#187; \u0438\u043c. \u0412.\u0418. \u0423\u043b\u044c\u044f\u043d\u043e\u0432\u0430 (\u041b\u0435\u043d\u0438\u043d\u0430). \u0414\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0430\u0434\u0430\u043f\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 &#8212; \u043c\u0435\u043c\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u043d\u0430\u043f\u0441\u0430 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u043b\u043e\u0439 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0442\u0438\u0442\u0430\u043d\u0430 \u0432 \u0444\u0430\u0437\u0435 \u0430\u043d\u0430\u0442\u0430\u0437\u0430, \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442 20 \u0434\u043e 60 \u043d\u043c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0411\u0430\u0437 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0435\u0442.<\/p>\n<p>\u0418\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f 7 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c \u0434\u043b\u044f \u042d\u0412\u041c (\u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u0432\u0435\u0436\u0438\u0445, 2020-2024 \u0433\u0433.). \u041f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=EVM&amp;DocNumber=2020661251&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2020661251<\/a> \u041f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441 \u0434\u043b\u044f \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041e\u041e\u041e \u00ab\u0422\u0430\u0440\u043a\u0443\u0441\u00bb (\u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430). \u0412\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0438\u043f \u0438 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u0430\u0442\u043e\u0432, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f; \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c\u0438 &#8212; \u0441\u0442\u0435\u0445\u0438\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0435\u0433\u043e \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438.\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=EVM&amp;DocNumber=2022664767&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2022664767<\/a> \u041f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441 \u041f\u0410\u041a \u00ab\u041a\u0422-\u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u043b\u0435\u0440\u00bb. \u041e\u041e\u041e \u041d\u041f\u041e &#171;\u041a\u0432\u0438\u043d\u0442\u0422\u0435\u0445&#187; (\u0417\u0435\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u0440\u0430\u0434). \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0424\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438: \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0437\u043b\u0430\u043c\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438; \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u0435, \u0440\u0435\u0434\u0430\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435, \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0430\u043b\u0433\u043e\u0440\u0438\u0442\u043c\u043e\u0432 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0410\u0421\u041e (\u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0446\u0435\u043f\u0442\u0430\u043c\u0438); \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0430\u043b\u0433\u043e\u0440\u0438\u0442\u043c\u043e\u0432 (\u0440\u0435\u0446\u0435\u043f\u0442\u043e\u0432). \u0422\u0438\u043f \u042d\u0412\u041c: \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0421\u0430\u043b\u044e\u0442-\u042d\u041b24\u041f\u041c \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u0430 1892\u0412\u041c14\u042f. \u041e\u0421: GNU\/Linux \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 Buildroot.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=EVM&amp;DocNumber=2022683063&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2022683063<\/a> \u041f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041e\u041e\u041e &#171;\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a&#187; (\u0417\u0435\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u0440\u0430\u0434). \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u043e\u0439, \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432\u043e\u043c, \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0438\u043c\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<h2>\u041d\u0418\u041e\u041a\u0422\u0420<\/h2>\n<p>\u041d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u0442\u0430\u043b\u0435 \u00ab\u041d\u0430\u0443\u043a\u0430 \u0438 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438\u00bb \u043f\u043e \u0442\u0435\u043c\u0435 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u0447\u0442\u0435\u043d\u043e 359 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435 13 \u0435\u0434. \u043f\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435, 17 \u0435\u0434. \u043a\u0430\u0441\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.\u00a0<\/p>\n<p>\u0422\u0430\u043a, \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0445 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0441 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0430\u043c\u0438 High &#8212; K \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u0437\u0443\u0447\u0435\u043d\u044b \u0432 2022-2024 \u0433\u0433. \u0437\u0430 23,3 \u043c\u043b\u043d \u0440\u0443\u0431. \u043e\u0442 \u041c\u0438\u043d\u043e\u0431\u0440\u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0420\u0424 \u0432 \u0418\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442\u0435 \u041d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0420\u0410\u041d. \u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u0442\u0438\u0442\u0430\u043d\u0430 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (100) n-\u0442\u0438\u043f\u0430.<\/p>\n<p>\u041d\u0430 2025-2027 \u0433\u0433. \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u043e \u0444\u0438\u043d\u0430\u043d\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u041d\u0418\u0420 \u00ab\u0421\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435, \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u041c\u0414\u041f \u0433\u0435\u0442\u0435\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0441\u0435\u043d\u0441\u043e\u0440\u0438\u043a\u0438, \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u043d\u0435\u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0439 \u0438 \u043d\u0435\u0439\u0440\u043e\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438\u00bb \u0434\u043b\u044f \u0418\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442\u0430 \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u043c. \u0410.\u0412. \u0420\u0436\u0430\u043d\u043e\u0432\u0430 \u0421\u0438\u0431\u0438\u0440\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u041e\u0442\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0410\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u041d\u0430\u0443\u043a \u0432 \u043e\u0431\u044a\u0451\u043c\u0435 59,4 \u043c\u043b\u043d \u0440\u0443\u0431. \u043e\u0442 \u041c\u0438\u043d\u043e\u0431\u0440\u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0420\u0424.\u00a0<\/p>\n<p>\u041c\u0424\u0422\u0418 \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u0435\u0442 \u0432 2024-2026 \u0433\u0433. \u0437\u0430 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0442 21 \u043c\u043b\u043d \u0440\u0443\u0431. \u043e\u0442 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u043d\u0434\u0430 \u041d\u0418\u0420 \u00ab\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0443\u043d\u043d\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e-\u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u0438\u043d\u0436\u0438\u043d\u0438\u0440\u0438\u043d\u0433\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\/MoS<sub>2<\/sub> \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445 \u0441 2D \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u043c\u00bb. \u0414\u0438\u0445\u0430\u043b\u044c\u043a\u043e\u0433\u0435\u043d\u0438\u0434\u044b \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 (\u0414\u041f\u041c) (MoS\u2082, WS\u2082, WSe\u2082) \u2013 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442\u0441\u044f \u043a \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0443 \u0412\u0430\u043d-\u0434\u0435\u0440-\u0412\u0430\u0430\u043b\u044c\u0441\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043b\u0435\u0433\u043a\u043e \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u044b \u0432 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0435 \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 ~0,7 \u043d\u043c \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044f \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u043c\u043e\u0439 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0437\u0430\u043f\u0440\u0435\u0449\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0437\u043e\u043d\u044b ~1,6-1,8 \u044d\u0412. \u042d\u0442\u0438 \u0434\u0432\u0443\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u0440\u043d\u043e \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e. \u0412 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 \u0433\u043e\u0434\u044b \u0441\u0435\u0440\u044c\u0435\u0437\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u043f\u0435\u0445\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u043d\u0443\u0442\u044b \u0432 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0440\u043e\u0441\u0442\u0435 \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0445 MoS\u2082 \u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u043a \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 ~ 40-50 \u0441\u043c\u00b2\/\u0412\u2219\u0441 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u0445 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0435\u0439. \u0422\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u044b \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0430\u043a \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0443\u043c \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043e\u043a \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0438 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043c\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b.<\/p>\n<h2>\u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n<p>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 20 \u043b\u0435\u0442 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0438 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u0435\u0434\u0443\u0449\u0438\u043c\u0438 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u043e\u0431\u0449\u0435\u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/p>\n<p>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u044f \u0432 \u0420\u0424 \u0441\u043b\u0430\u0431\u0430\u044f. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0432\u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u043b\u044f\u0435\u0442 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u0444\u0438\u043d\u0430\u043d\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u041d\u0418\u041e\u041a\u0422\u0420 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430: \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0432 2015 \u0433. \u0433\u0440\u0430\u043d\u0442\u044b \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u043b\u0438 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0430 3 \u043c\u043b\u043d \u0440\u0443\u0431., \u0442\u043e \u0432 2025 \u2013 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 150 \u043c\u043b\u043d \u0440\u0443\u0431. \u041e\u0441\u043e\u0431\u043e \u0449\u0435\u0434\u0440\u044b\u0435 \u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0418\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u043c. \u0410.\u0412. \u0420\u0436\u0430\u043d\u043e\u0432\u0430 \u0421\u0438\u0431\u0438\u0440\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u041e\u0442\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0410\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u041d\u0430\u0443\u043a. \u041c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u044d\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0451\u0442 \u043a \u0440\u044f\u0434\u0443 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439.\u00a0<\/p>\n<p>\u041e\u0447\u0435\u0432\u0438\u0434\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u0443\u0432\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u0442\u0435\u0442\u0430 \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0430\u043c\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0432 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043d\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0435\u0434\u0438\u043d\u0443 2025 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u044b. \u0412 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0438 \u0441 \u043f\u0440\u0438\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u0442\u043d\u044b\u043c \u0432\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c, \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0441\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0438, \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441 \u043f\u0438\u043e\u043d\u0435\u0440\u0441\u043a\u0438\u0445 \u041d\u0418\u0420 \u0432 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0431\u044b\u043b \u0441\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u043e\u0447\u0435\u043d \u043d\u0430 \u00ab\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445\u00bb \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u0445 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438, \u0442.\u0435. \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0435 \u0438 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043e\u0432 Hf, Zr, Ti \u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 Ru, Co, Cu. \u042d\u0442\u043e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043b\u043e \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0437\u0430\u0434\u0435\u043b, \u043d\u043e \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0432 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0430\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0435\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438. \u0420\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u0438\u0431\u043b\u0438\u043e\u0442\u0435\u043a\u0438 \u043b\u0435\u0442\u0443\u0447\u0438\u0445 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b \u0438 \u043b\u0438\u0433\u0430\u043d\u0434\u044b, \u0441 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b, \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0438\u0442 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0444\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u044c \u043f\u0443\u0442\u044c \u043a \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044e \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0441 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0438\u043c\u0438 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438.<\/p>\n<details class=\"spoiler\">\n<summary>\u041e \u0441\u0435\u0440\u0432\u0438\u0441\u0435 \u041e\u043d\u043b\u0430\u0439\u043d \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442<\/summary>\n<div class=\"spoiler__content\">\n<p>\u041e\u043d\u043b\u0430\u0439\u043d \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u00a0\u2014 \u0446\u0438\u0444\u0440\u043e\u0432\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u21161 \u0432 \u0440\u0435\u0439\u0442\u0438\u043d\u0433\u0435 \u0420\u043e\u0441\u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u0430. \u0421 2013 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u043c\u044b \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u043c \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 LegalTech-\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u044b \u0438 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e.\u00a0<a href=\"https:\/\/my.onlinepatent.ru\/client\/registration?context=Claim&amp;type=TradeMark&amp;utm_source=habr&amp;utm_medium=smm&amp;utm_campaign=habr_smm_postpodval250611\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0417\u0430\u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0439\u0442\u0435\u0441\u044c \u0432 \u0441\u0435\u0440\u0432\u0438\u0441\u0435 \u041e\u043d\u043b\u0430\u0439\u043d-\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u00a0<\/a>\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f \u043a \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u0443\u0441\u043b\u0443\u0433\u0430\u043c:\u00a0<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u041e\u043d\u043b\u0430\u0439\u043d-\u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c, \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0442\u043e\u0432\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0437\u043d\u0430\u043a\u043e\u0432, \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e\u00a0\u0434\u0438\u0437\u0430\u0439\u043d\u0430;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/onlinepatent.ru\/uslugi\/reestr\/?utm_source=habr&amp;utm_medium=smm&amp;utm_campaign=habr_smm_postpodval250611\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u041f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0430 \u0437\u0430\u044f\u0432\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0432\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0440\u0435\u0435\u0441\u0442\u0440 \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u041f\u041e<\/a>;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/onlinepatent.ru\/software\/?utm_source=habr&amp;utm_medium=smm&amp;utm_campaign=habr_smm_postpodval250611\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u041f\u043e\u0438\u0441\u043a \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0430\u043c<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/onlinepatent.ru\/uslugi\/registraciya-programmy-dlya-evm\/?utm_source=habr&amp;utm_medium=smm&amp;utm_campaign=habr_smm_postpodval250611\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0420\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u044b \u0432 \u0420\u043e\u0441\u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u0435<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u041e\u043f\u0446\u0438\u0438 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0444\u043e\u0440\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u0441\u043b\u0443\u0433;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0411\u0435\u0441\u043f\u043b\u0430\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0438\u0441\u043a \u043f\u043e \u0431\u0430\u0437\u0430\u043c \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c, \u0442\u043e\u0432\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0437\u043d\u0430\u043a\u043e\u0432;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u041c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433\u0438 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0437\u0430\u044f\u0432\u043e\u043a \u043f\u043e \u043a\u0440\u0438\u0442\u0435\u0440\u0438\u044f\u043c;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u041e\u043d\u043b\u0430\u0439\u043d-\u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0443 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/div>\n<\/details>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p><!----><!----><\/div>\n<p><!----><!----><br \/> \u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0440\u0438\u0433\u0438\u043d\u0430\u043b \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438 <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/articles\/917524\/\"> https:\/\/habr.com\/ru\/articles\/917524\/<\/a><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<div><!--[--><!--]--><\/div>\n<div id=\"post-content-body\">\n<div>\n<div class=\"article-formatted-body article-formatted-body article-formatted-body_version-2\">\n<div xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xhtml\">\n<figure class=\"full-width\"><\/figure>\n<p>Atomic Layer Deposition (ALD) \u2013 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445, \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u043f\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041e \u043d\u0435\u0439 \u043c\u044b \u0438 \u043f\u043e\u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u0438\u043c \u0432 \u043d\u0430\u0448\u0435\u043c \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f\u0448\u043d\u0435\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0435.\u00a0<\/p>\n<h2>\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434<\/h2>\n<p>\u0421\u0443\u0442\u044c ALD \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u043d\u0435\u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u0432\u0435\u0441\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u043b\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043f\u043e\u0434\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0438\u0437\u0432\u043d\u0435 \u0440\u0435\u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u0430\u043c\u0438 (\u0424\u0413) \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438.<\/p>\n<p>\u0420\u0430\u043d\u0435\u0435 \u043c\u044b \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u043b\u0438 CVD- \u0438 PVD-\u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439, \u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0438\u0441\u043f\u0430\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435; \u0438\u0445 \u043e\u0431\u0449\u0435\u0439 \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u043a \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\/\u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u0435\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0441\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440 \u0433\u0430\u0437\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0435\u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n<p>\u041f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c ALD \u2013\u00a0 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e-\u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434. \u041f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430.\u00a0<\/p>\n<h2>\u0410\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438<\/h2>\n<p>\u041e\u0441\u043e\u0431\u0430\u044f \u0430\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043e\u043a \u043f\u043e \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u043c\u0443 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044e (ALD) \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438 \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0434\u043e\u0433\u043e\u043d\u044f\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0431\u0430\u0437\u044b \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 (\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c, \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 \u0438 \u0434\u0440.). \u041f\u0440\u0438 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0440\u0435\u043b\u044c\u0435\u0444\u0430 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440 \u043e\u0434\u043d\u0430 \u0438\u0445 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0440\u043e\u043b\u0435\u0439 \u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0433\u0430\u0437\u043e\u0444\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c, \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u043d\u0430 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u044f\u0445, \u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u043c\u0443 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044e (ALD). \u041f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c, \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0440\u0435\u0441\u0443\u0440\u0441\u043d\u043e\u0439 \u0431\u0430\u0437\u044b \u2013 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 (\u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432), \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0446\u0435\u043b\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b.<\/p>\n<p>\u0412 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u044b \u0442\u0430\u043d\u0442\u0430\u043b\u0430, \u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u043d\u0430, \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0441\u043c\u0435\u0448\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b, \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e, \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u044b \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0433\u043e \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e\u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u044b \u0432\u0432\u0438\u0434\u0443 \u0438\u043c\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430. \u0422\u0430\u043a, \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u044b \u0442\u0430\u043d\u0442\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u044f \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438, \u0430 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u043d\u0430 \u2013 \u043a\u0430\u043a \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0434\u043e\u043f\u0430\u043d\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0439\u0448\u0435\u0433\u043e \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043d\u043e\u0440\u043c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0434\u043b\u044f \u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0435\u0433\u043d\u0435\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438. \u0422\u0430\u043a \u043a\u0430\u043a \u0432\u0441\u0435 \u044d\u0442\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043b\u0438\u0431\u043e \u0434\u043b\u044f \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043d\u043e\u0440\u043c (\u043d\u0438\u0436\u0435 14 \u043d\u043c), \u043b\u0438\u0431\u043e \u0436\u0435 \u0438\u0445 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u0432\u043b\u0438\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0438 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438, \u0442\u043e \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u044f\u0442\u0441\u044f \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0435 \u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a.<\/p>\n<p>\u0412\u0430\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0447\u0435\u0440\u043a\u043d\u0443\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0438, \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 ALD \u043d\u0430\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 (\u043b\u0435\u0442\u0443\u0447\u0435\u0441\u0442\u044c, \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c). \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0430, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u043f\u0430\u0440\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e-\u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439, \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u044b, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0442\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0441\u043a\u0440\u0438\u043d\u0438\u043d\u0433\u0430 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u043a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438, \u043d\u043e \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0441\u0447\u0435\u0442\u043e\u0432 \u0437\u0430\u0447\u0430\u0441\u0442\u0443\u044e \u0434\u0430\u044e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043e\u0440\u0435\u0447\u0438\u0432\u0443\u044e \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u044e, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043e\u043a.\u00a0<\/p>\n<p>\u0412 \u043c\u0430\u0440\u043a\u0435\u0442\u0438\u043d\u0433\u043e\u0432\u043e\u043c <a href=\"https:\/\/www.precedenceresearch.com\/atomic-layer-deposition-market\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438<\/a> Atomic Layer Deposition Market Size, Share, and Trends 2025 to 2034 \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u043e\u0441\u0442 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 3,18 \u0434\u043e 9,88 \u043c\u043b\u0440\u0434 \u0434\u043e\u043b\u043b. \u0441 2025 \u043f\u043e 2034 \u0433. \u0441 \u043e\u0433\u0440\u043e\u043c\u043d\u044b\u043c \u0442\u0435\u043c\u043f\u043e\u043c CAGR 13,42% \u0437\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434. \u0420\u043e\u0441\u0442 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0432 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043b\u0438 \u043c\u0438\u043d\u0438\u0430\u0442\u044e\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.\u00a0\u0412 2024 \u0433. \u0441\u0435\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043b\u0438\u0434\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b \u043d\u0430 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u043c \u0440\u044b\u043d\u043a\u0435 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0432\u043d\u0443\u0448\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043e\u043b\u0435\u0439 \u0432\u044b\u0440\u0443\u0447\u043a\u0438 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 41% \u0438, \u043a\u0430\u043a \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0451 \u0434\u043e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0435\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0442\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0433\u043d\u043e\u0437\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0430 \u0434\u043e 2035 \u0433\u043e\u0434\u0430.\u00a0\u042d\u0442\u043e \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043e \u0441 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u043c \u0438 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0443\u0449\u0438\u043c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435, \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445 \u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430\u0445. \u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0438 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0441\u0432\u043e\u0435\u0439 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043d\u0430\u0434\u0451\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043c\u0438\u043d\u0438\u0430\u0442\u044e\u0440\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u043c \u0438 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n<p>\u0413\u043b\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0438\u0433\u0440\u043e\u043a\u0430\u043c\u0438 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0438\u044e\u043d\u044c 2025 \u0433. \u044f\u0432\u043b\u044f\u043b\u0438\u0441\u044c Lam Research Corporation, Applied Materials, Inc., Tokyo Electron Ltd., ASM International, Veeco Instruments, Inc., Denton Vacuum, LLC., Picosun Group, ALD NanoSolutions, Inc., Beneq Oy, Kurt J. Lesker Company, Canon Anvela Corporation.<\/p>\n<p>\u0412 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435 \u043d\u0430\u0441 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441\u0443\u0435\u0442 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442.<\/p>\n<h2>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442<\/h2>\n<p>\u041d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u0442\u0430\u043b\u0435 Google.Patents \u043f\u043e\u0438\u0441\u043a \u043f\u043e \u0437\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441\u0443 <strong>Atomic Layer Deposition<\/strong> \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 100 000 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u041f\u043e \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043b\u0438\u0434\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043c\u044b:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=Direct+laser+writing+(DLW)&amp;oq=Direct+laser+writing+(DLW)+\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">H01L<\/a> \u2014 70%<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;oq=Atomic+Layer+Deposition+\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">C23C<\/a> \u2014 57%<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;oq=Atomic+Layer+Deposition+\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">H10B<\/a> \u2014 18%<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0433\u0430\u0437\u043e\u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b \u0438 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0441\u0432\u0435\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0430\u043c\u043f\u044b <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;oq=Atomic+Layer+Deposition+\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">H01J<\/a> \u2014 10%<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0412\u0438\u0434\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0435\u0440\u0432\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b <a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=Direct+laser+writing+(DLW)&amp;oq=Direct+laser+writing+(DLW)+\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">H01L<\/a> \u0441 \u0434\u043e\u043b\u0435\u0439 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u0430\u0445 70%.<\/p>\n<p>\u041b\u0438\u0434\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u043c \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0432\u044b\u0441\u0442\u0443\u043f\u0438\u043b\u0438 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438:<\/p>\n<ol>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;assignee=Micron+Technology%2c+Inc.&amp;peid=634c0c038c0f0%3A29%3A693bc685\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Micron Technology, Inc.<\/a> \u2014 8%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;oq=Atomic+Layer+Deposition+\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Sandisk Technologies Llc<\/a> \u2014 5%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;oq=Atomic+Layer+Deposition+\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Applied Materials, Inc.<\/a> \u2014 5%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;oq=Atomic+Layer+Deposition+\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Asm Ip Holding B.V.<\/a> \u2014 4%.<\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<p>\u0421\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0438\u0441\u043a \u043f\u043e \u0437\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441\u0443 <strong>(Atomic Layer Deposition) (H01L) <\/strong>Google.Patents \u0432\u044b\u0434\u0430\u043b \u043d\u0430 \u0438\u044e\u043d\u044c 2025 \u0433\u043e\u0434\u0430 88828 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u0414\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043e \u0433\u043e\u0434\u0430\u043c \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u0438\u0441. 1.<\/p>\n<p><strong>\u0420\u0438\u0441\u0443\u043d\u043e\u043a 1: \u0414\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u043c\u0443 (Atomic Layer Deposition) (H01L) \u0432 1992-2025 \u0433\u0433.<\/strong><\/p>\n<figure class=\"\"><\/figure>\n<p><em>\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u043f\u0440\u0435\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 Google.Patents 29.05.2025<\/em><\/p>\n<p>\u0412\u0438\u0434\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 20 \u043b\u0435\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u044b \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u043d\u043e\u0441\u044f\u0442 \u043c\u044f\u0433\u043a\u043e-\u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440 (\u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0430 2025 \u0433. \u0435\u0449\u0435 \u043d\u0435 \u0443\u0447\u0442\u0435\u043d\u044b \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e). \u041b\u0438\u0434\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f:<\/p>\n<ol>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;q=H01L&amp;assignee=Taiwan+Semiconductor+Manufacturing+Company%2c+Ltd.&amp;peid=634c0d21ff1d0%3A6b%3A40b0a226\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.<\/a> \u2014 15%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;assignee=Asm+Ip+Holding+B.V.&amp;peid=634c0c05b5868%3A2b%3Ada33507\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Micron Technology, Inc.<\/a> \u2014 4%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;assignee=Lam+Research+Corporation&amp;peid=634c0c2145ad8%3A2f%3Ad466597f\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Samsung Electronics Co., Ltd.<\/a> \u2014 3%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;assignee=%EC%97%90%EC%9D%B4%EC%97%90%EC%8A%A4%EC%97%A0+%EC%95%84%EC%9D%B4%ED%94%BC+%ED%99%80%EB%94%A9+%EB%B9%84.%EB%B8%8C%EC%9D%B4.&amp;peid=634c0c05c5e20%3A2d%3A71d84ccd\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">International Business Machines Corporation<\/a> \u2014 2%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;q=H01L\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Nanya Technology Corporation<\/a> \u2014 2%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Atomic+Layer+Deposition)&amp;assignee=%EC%96%B4%ED%94%8C%EB%9D%BC%EC%9D%B4%EB%93%9C+%EB%A8%B8%ED%8B%B0%EC%96%B4%EB%A6%AC%EC%96%BC%EC%8A%A4%2c+%EC%9D%B8%EC%BD%94%ED%8F%AC%EB%A0%88%EC%9D%B4%ED%8B%B0%EB%93%9C&amp;peid=634c0c2137848%3A2e%3A1a00d0e4\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Applied Materials, Inc.<\/a> \u2014 2%.<\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<p>\u041a\u0430\u043a \u0432\u0438\u0434\u043d\u043e, \u043b\u0438\u0434\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u0442\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u0422\u0430\u0439\u0432\u0430\u043d\u044f. \u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432:<\/p>\n<p>US10516100B2 Silicon oxynitride based encapsulation layer for magnetic tunnel junctions<\/p>\n<p>US11456211B2 Method of forming interconnect structure<\/p>\n<p><\/p>\n<h2>\u0410 \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438?\u00a0<\/h2>\n<p>\u0412 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0424\u0418\u041f\u0421 \u0432 \u0440\u0435\u0444\u0435\u0440\u0430\u0442\u0430\u0445 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f \u0420\u0424 \u043f\u043e \u0437\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441\u0443 <strong>\u0410\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435<\/strong> 67 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0435 2.<\/p>\n<p><strong>\u0420\u0438\u0441\u0443\u043d\u043e\u043a 2: \u0414\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u043c\u0443 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 2011-2025 \u0433\u0433.<\/strong><\/p>\n<figure class=\"\"><\/figure>\n<p><em>\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: \u0424\u0418\u041f\u0421 10.05.2025<\/em><\/p>\n<p>\u0412\u0438\u0434\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0432 2011-2025 \u0433\u0433. \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u043e\u0435 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0448\u043b\u043e \u0440\u0432\u0430\u043d\u044b\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c.<\/p>\n<p>\u041c\u044b \u043f\u0440\u043e\u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b (\u0438\u0445 30), \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043f\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e 5 \u0435\u0434., \u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u043c \u0438\u0445 \u0432\u0441\u0435:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2601771&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2601771<\/a> (2016) \u0421<em>\u0432\u0435\u0442\u043e\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0434\u0438\u0441\u043f\u043b\u0435\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438\u043e\u0434\u0430\u0445 \u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0435\u0435 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/em>. \u041e\u041e\u041e &#171;\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438&#187; (\u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430). \u041e\u043d\u0430 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0433\u0435\u0440\u043c\u0435\u0442\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 AlxOy, \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e\u00a0\u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2633894&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2633894<\/a> (2017) \u0421<em>\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e-\u0441\u0442\u0438\u043c\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0433\u0435\u0442\u0435\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434-\u0433\u0430\u043b\u043b\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432. <\/em>\u0410\u041e &#171;\u041d\u041f\u041f &#171;\u041f\u0443\u043b\u044c\u0441\u0430\u0440&#187;, \u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430. \u041f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0433\u0435\u0442\u0435\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0432\u0430\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u0432 \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0437\u043e\u043d\u0435, \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2747132&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2747132<\/a> (2021) \u0421<em>\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0434\u0438\u043e\u0434\u0430. <\/em>\u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c. \u0410.\u0424. \u0418\u043e\u0444\u0444\u0435 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a. \u041d\u0430\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u044b\u043c \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 5-15 \u043d\u043c \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430, \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0432\u044b\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u0442\u044c SiO2, \u0438\u043b\u0438 \u0410l2O3. \u0418\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0434\u0438\u043e\u0434\u044b \u0441 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0441\u0440\u043e\u043a\u043e\u043c \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u0433\u0440\u0430\u0434\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430 \u0441\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0435\u043c.\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2792707&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2792707<\/a> (2023) <em>\u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u043f\u0440\u0438\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/em>. \u0410\u041e &#171;\u041d\u041f\u041e &#171;\u041e\u0440\u0438\u043e\u043d&#187; (\u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430). \u0424\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u0443\u044e \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0443 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 10 \u043d\u043c \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2808961&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2808961<\/a> (2023) <em>\u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0439-\u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0431\u0435\u0437\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/em> \u041e\u041e\u041e &#171;\u0418\u043d\u0436\u0438\u043d\u0438\u0440\u0438\u043d\u0433\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440 &#171;\u0426\u0438\u0444\u0440\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b&#187; (\u0412\u043e\u043b\u0436\u0441\u043a\u0438\u0439). \u0418\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0434\u0432\u0443\u0445\u044d\u0442\u0430\u043f\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435, \u0433\u0434\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043c \u044d\u0442\u0430\u043f\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u00a0\u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044e\u00a0\u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0442\u0440\u0438\u043c\u0435\u0442\u0438\u043b\u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0432\u043e\u0434\u044b \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c\u00a0\u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f\u00a0\u0441 \u0446\u0435\u043b\u044c\u044e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0433\u0438\u0434\u0440\u043e\u043a\u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0430\u0434\u0433\u0435\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0439-\u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043a \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435.\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0412 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0424\u0418\u041f\u0421 \u0447\u0435\u0442\u044b\u0440\u0435 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0420\u0424 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438 \u043f\u043e \u043d\u0430\u0448\u0435\u0439 \u0442\u0435\u043c\u0435, \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u0434\u0432\u0430:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPM&amp;DocNumber=171207&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">171207<\/a> (2017) \u042d<em>\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0431\u0435\u0440\u0438\u043b\u043b\u0438\u044f \u0441 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435\u043c. <\/em>\u0411\u0430\u043b\u0442\u0438\u0439\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0444\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0443\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0442\u0435\u0442 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0418\u043c\u043c\u0430\u043d\u0443\u0438\u043b\u0430 \u041a\u0430\u043d\u0442\u0430. \u041f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0430 \u0441 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435\u043c \u0438\u0437 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0430 10-200 \u043d\u043c, \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPM&amp;DocNumber=202461&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">202461<\/a>\u00a0(2021) <em>\u041c\u0435\u043c\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0438\u043d\u0430\u043f\u0441.<\/em> \u0421\u0430\u043d\u043a\u0442-\u041f\u0435\u0442\u0435\u0440\u0431\u0443\u0440\u0433\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0443\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0442\u0435\u0442 &#171;\u041b\u042d\u0422\u0418&#187; \u0438\u043c. \u0412.\u0418. \u0423\u043b\u044c\u044f\u043d\u043e\u0432\u0430 (\u041b\u0435\u043d\u0438\u043d\u0430). \u0414\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0430\u0434\u0430\u043f\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 &#8212; \u043c\u0435\u043c\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u043d\u0430\u043f\u0441\u0430 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u043b\u043e\u0439 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0442\u0438\u0442\u0430\u043d\u0430 \u0432 \u0444\u0430\u0437\u0435 \u0430\u043d\u0430\u0442\u0430\u0437\u0430, \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442 20 \u0434\u043e 60 \u043d\u043c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0411\u0430\u0437 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0435\u0442.<\/p>\n<p>\u0418\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f 7 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c \u0434\u043b\u044f \u042d\u0412\u041c (\u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u0432\u0435\u0436\u0438\u0445, 2020-2024 \u0433\u0433.). \u041f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=EVM&amp;DocNumber=2020661251&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2020661251<\/a> \u041f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441 \u0434\u043b\u044f \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041e\u041e\u041e \u00ab\u0422\u0430\u0440\u043a\u0443\u0441\u00bb (\u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430). \u0412\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0438\u043f \u0438 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u0430\u0442\u043e\u0432, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f; \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c\u0438 &#8212; \u0441\u0442\u0435\u0445\u0438\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0435\u0433\u043e \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438.\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=EVM&amp;DocNumber=2022664767&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2022664767<\/a> \u041f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441 \u041f\u0410\u041a \u00ab\u041a\u0422-\u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u043b\u0435\u0440\u00bb. \u041e\u041e\u041e \u041d\u041f\u041e &#171;\u041a\u0432\u0438\u043d\u0442\u0422\u0435\u0445&#187; (\u0417\u0435\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u0440\u0430\u0434). \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0424\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438: \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0437\u043b\u0430\u043c\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438; \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u0435,<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[],"tags":[],"class_list":["post-462887","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/462887","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=462887"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/462887\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=462887"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=462887"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=462887"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}