{"id":464572,"date":"2025-06-25T21:01:11","date_gmt":"2025-06-25T21:01:11","guid":{"rendered":"http:\/\/savepearlharbor.com\/?p=464572"},"modified":"-0001-11-30T00:00:00","modified_gmt":"-0001-11-29T21:00:00","slug":"","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/savepearlharbor.com\/?p=464572","title":{"rendered":"<span>\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432: \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437<\/span>"},"content":{"rendered":"<div><!--[--><!--]--><\/div>\n<div id=\"post-content-body\">\n<div>\n<div class=\"article-formatted-body article-formatted-body article-formatted-body_version-2\">\n<div xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xhtml\">\n<figure class=\"full-width\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/getpro\/habr\/upload_files\/326\/287\/a02\/326287a0239ee27ca9b320987aa77956.png\" width=\"780\" height=\"440\" sizes=\"auto, (max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780\/getpro\/habr\/upload_files\/326\/287\/a02\/326287a0239ee27ca9b320987aa77956.png 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/getpro\/habr\/upload_files\/326\/287\/a02\/326287a0239ee27ca9b320987aa77956.png 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/><\/figure>\n<p>Chemical Vapor Deposition CVD \u2013 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0433\u0430\u0437\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432. \u041e \u043d\u0435\u0439 \u043c\u044b \u0438 \u043f\u043e\u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u0438\u043c \u0432 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f\u0448\u043d\u0435\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0435.\u00a0<\/p>\n<h2>\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434<\/h2>\n<p>\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b, \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0434\u043b\u044f \u043a\u0440\u0430\u0442\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0435 CVD, \u044d\u0442\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0432\u0451\u0440\u0434\u044b\u0445 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u0439, \u0432 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 \u0433\u0430\u0437\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u044b.\u00a0\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u0445\u0435\u043c;\u00a0\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0434\u0435\u043a\u043e\u0440\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d \u0438 \u0430\u043f\u043f\u0430\u0440\u0430\u0442\u043e\u0432, \u043d\u0430 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b;\u00a0\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0439 \u0438 \u0438\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u0439 \u0438\u0437 \u0442\u0443\u0433\u043e\u043f\u043b\u0430\u0432\u043a\u0438\u0445 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440 \u0441\u043e\u043f\u0435\u043b \u0438\u0437 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0442\u0430 \u0438\u043b\u0438 W \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u043a\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439; \u00a0\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u043e\u043d; \u00a0\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u044f\u0434\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u043e\u043f\u043b\u0438\u0432\u0430; \u00a0\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0431\u044a\u0451\u043c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u00ab\u0443\u0441\u043e\u0432\u00bb \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432;\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0441\u043f\u0435\u0440\u0441\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0448\u043a\u043e\u0432 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0438, \u043d\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439, \u0430\u0434\u0441\u043e\u0440\u0431\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432).<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0420\u0430\u0437\u0443\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0434\u043b\u044f \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430\u0431\u043e\u0440 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438 \u0432\u0441\u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u044f\u0442\u0441\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u044b \u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b (\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438, \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u043e\u043d, \u044f\u0434\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u043e\u043f\u043b\u0438\u0432\u0430). \u041f\u0440\u043e \u043e\u0441\u043e\u0431\u043e \u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u044b \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u044b \u0443\u0436\u0435 \u043f\u0438\u0441\u0430\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u0425\u0430\u0431\u0440\u0435, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/companies\/onlinepatent\/articles\/886088\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0437\u0434\u0435\u0441\u044c<\/a> \u0438 <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/companies\/onlinepatent\/articles\/867712\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0442\u0443\u0442<\/a>.<\/p>\n<p>\u041d\u0430 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0436\u0438\u043b\u0438\u0441\u044c 4 \u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u0432\u0438\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430:<\/p>\n<ol>\n<li>\n<p>\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u043f\u0440\u0438 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u043d\u043e\u043c \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 (AP CVD);<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u041f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b (DP CVD);<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u043f\u043e\u0434 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c (LP CVD);<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b-\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b (MO CVD).<\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<p>\u0427\u0442\u043e \u043a\u0430\u0441\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0442\u043e \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u0441\u0435\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043f\u043e \u0443\u0437\u043a\u0438\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c (IDM), \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438.\u00a0<\/p>\n<p>\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c (IDM) \u0434\u043e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0435, \u043e\u043d\u0438 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432, \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043e\u043f\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0434\u0438\u0441\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 (\u0437\u0430 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438).\u00a0\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c (IDM) \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b (\u0418\u0421).\u00a0\u041f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c, \u0432 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043e\u0442\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0445\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0434\u043b\u044f \u043b\u043e\u0433\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438, IDM \u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u044f\u0442\u0441\u044f \u043a \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432 \u043e\u0442 10 \u043d\u043c \u0434\u043e 5 \u043d\u043c \u0438 \u0434\u0430\u0436\u0435 3 \u043d\u043c.\u00a0<\/p>\n<p>\u0412\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u043f\u043e \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u0435 \u0441\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440 \u2014 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438.\u00a0\u0421 \u0432\u0437\u0440\u044b\u0432\u043e\u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u043d\u044b\u043c \u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u043c \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438\/\u0431\u0430\u0437 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445, \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441 \u043d\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f.\u00a0\u0420\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u044f\u044e\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0439 \u0431\u0438\u0437\u043d\u0435\u0441 \u0432 \u0441\u0444\u0435\u0440\u0435 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430 \u0441\u043e \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0431\u044b\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u043e\u0432 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445.\u00a0\u0412 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u0430 \u0443\u043a\u0430\u0436\u0435\u043c \u043d\u0430 \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043e\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 LPDDR5 \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u043e\u043c 16 \u0413\u0411 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0435\u0439 Samsung, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e 10-\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u043c\u0443 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443 (1z), \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b.<\/p>\n<p>\u0412 \u043c\u0430\u0440\u043a\u0435\u0442\u0438\u043d\u0433\u043e\u0432\u043e\u043c <a href=\"https:\/\/straitsresearch.com\/report\/semiconductor-chemical-vapor-deposition-equipment-market\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438<\/a> <strong>Semiconductor Chemical Vapor Deposition (CVD), Forecasts, 2024-2032<\/strong> \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u043e\u0441\u0442 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 14,34 \u0434\u043e 30,13 \u043c\u043b\u0440\u0434 \u0434\u043e\u043b\u043b\u0430\u0440\u043e\u0432 \u0441 2023 \u043f\u043e 2032 \u0433. \u0441 \u0442\u0435\u043c\u043f\u043e\u043c CAGR 8,6% \u0437\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u00a02024-32. \u0413\u043b\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0438\u0433\u0440\u043e\u043a\u0430\u043c\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f Aixtron Se. Applied Materials, Inc., Asm International, CVD Equipment Corporation, Oxford Instruments Plc, Ulvac Inc, Veeco Instruments Inc.<\/p>\n<p>\u0412 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435 \u043d\u0430\u0441 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441\u0443\u0435\u0442 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442.<\/p>\n<h2>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442<\/h2>\n<p>\u041d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u0442\u0430\u043b\u0435 Google.Patents \u043f\u043e\u0438\u0441\u043a \u043f\u043e \u0437\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441\u0443 <strong>Chemical Vapor Deposition <\/strong>\u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 100 000 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u041f\u043e \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043b\u0438\u0434\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 <br \/><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Ion+Beam+Etching)&amp;oq=Ion+Beam+Etching+\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\"><strong><em>\u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b H01L<\/em><\/strong><\/a> \u0441 55,4%<\/p>\n<p>\u0421\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0438\u0441\u043a \u043f\u043e \u0437\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441\u0443 <strong>Chemical Vapor Deposition H01L<\/strong> Google.Patents \u0432\u044b\u0434\u0430\u043b \u0432 \u043c\u0430\u0435 2025 \u0433\u043e\u0434\u0430 56216 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u0414\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043e \u0433\u043e\u0434\u0430\u043c \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u0438\u0441.\u00a0<\/p>\n<p><strong>\u0420\u0438\u0441\u0443\u043d\u043e\u043a 1: \u0414\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u043c\u0443 \u00abChemical Vapor Deposition H01L\u00bb<\/strong><\/p>\n<figure class=\"\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/getpro\/habr\/upload_files\/2b8\/cf2\/d66\/2b8cf2d66faaf62abe53aac69bde1a2c.png\" width=\"433\" height=\"253\" sizes=\"auto, (max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780\/getpro\/habr\/upload_files\/2b8\/cf2\/d66\/2b8cf2d66faaf62abe53aac69bde1a2c.png 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/getpro\/habr\/upload_files\/2b8\/cf2\/d66\/2b8cf2d66faaf62abe53aac69bde1a2c.png 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/><\/figure>\n<p><em>\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u043f\u0440\u0435\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 Google.Patents 28.04.2025<\/em><\/p>\n<p>\u0412\u0438\u0434\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 20 \u043b\u0435\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u044b \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u043e\u0441\u044f\u0442 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0441\u0442\u0443\u0449\u0438\u0439 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440. \u041b\u0438\u0434\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u0441\u043e\u0432\u043e\u043a\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f:<\/p>\n<ol>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Chemical+Vapor+Deposition)&amp;q=H01L&amp;assignee=Taiwan+Semiconductor+Manufacturing+Company%2c+Ltd.&amp;peid=633cf1388cbf8%3A56%3A69286cab\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.<\/a> \u2014 13,9%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Chemical+Vapor+Deposition)&amp;q=H01L&amp;assignee=International+Business+Machines+Corporation&amp;peid=633cf13153df0%3A53%3A7b7264c3\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">International Business Machines Corporation<\/a> \u2014 4,4%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Chemical+Vapor+Deposition)&amp;q=H01L\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Micron Technology, Inc.<\/a> \u2014 2,9%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Chemical+Vapor+Deposition)&amp;q=H01L\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Applied Materials, Inc.<\/a> \u2014 2,4%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Chemical+Vapor+Deposition)&amp;q=H01L&amp;assignee=Nanya+Technology+Corporation&amp;peid=633cf12263a70%3A51%3A187c4230\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Nanya Technology Corporation<\/a> \u2014 2,1%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Chemical+Vapor+Deposition)&amp;q=H01L\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Sandisk Technologies Llc<\/a> \u2014 2,1%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Chemical+Vapor+Deposition)&amp;q=H01L\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Samsung Electronics Co., Ltd.<\/a> \u2014 1%.<\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<p>\u041a\u0430\u043a \u0432\u0438\u0434\u043d\u043e, \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u043b\u0438\u0434\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u0442\u0430\u044f \u0442\u0430\u0439\u0432\u0430\u043d\u044c\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f. \u0417\u0430 \u043d\u0435\u0439 \u0438\u0434\u0443\u0442 \u043d\u0435 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0431\u0440\u0435\u043d\u0434\u044b, \u0447\u044c\u0438 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0430 \u0443 \u0432\u0441\u0435\u0445 \u043d\u0430 \u0441\u043b\u0443\u0445\u0443 \u0438 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u0438\u0435\u0432 \u043d\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442. \u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>US11666950B2 Method of forming process film;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>US20220052260A1 Rram device with improved performance.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<h2>\u0410 \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438?\u00a0<\/h2>\n<p>\u0412 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0424\u0418\u041f\u0421 \u0432 \u0440\u0435\u0444\u0435\u0440\u0430\u0442\u0430\u0445 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f \u0420\u0424 \u043f\u043e \u0437\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441\u0443 <strong>\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b <\/strong>163 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043d\u043e \u043f\u043e \u043d\u0430\u0448\u0435\u043c\u0443 \u043a\u043e\u0434\u0443 H01L \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e 29 \u0435\u0434., \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 11 \u0435\u0434. \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435. \u041f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b:<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2481675&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2481675<\/a> (2013) \u041a<em>\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u043b\u0435 \u0441 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u044b\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434\u043e\u043c \u0432 \u0432\u0438\u0434\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441 \u043f\u044c\u0435\u0437\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435\u043c<\/em>. \u041e\u0410\u041e \u00ab\u041d\u0418\u0418 \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434 \u00ab\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u00bb (\u0417\u0435\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u0440\u0430\u0434). \u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u00a0\u0441\u043b\u043e\u044f \u0424\u0421\u0421 (\u0444\u043e\u0441\u0444\u0430\u0442\u043d\u043e-\u0441\u0438\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0430) \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c\u00a0\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e\u00a0\u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f\u00a0\u0438\u0437\u00a0\u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439\u00a0\u0444\u0430\u0437\u044b.<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2489532&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2489532<\/a>\u00a0(2013) \u0421<em>\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043a\u043e\u043c\u0431\u0438\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u0430<\/em>. \u041d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u041f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u0435 \u00ab\u0418\u0441\u0442\u043e\u043a\u00bb \u0438 \u0418\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u0438 \u0420\u0410\u041d (\u041d. \u041d\u043e\u0432\u0433\u043e\u0440\u043e\u0434). \u0412 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0441\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u0430 \u043f\u043e \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432-\u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0432\u043e\u043a \u0441 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438, \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0435\u0439 \u0441\u0440\u043e\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0435 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437.\u00a0<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2526298&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2526298<\/a>\u00a0(2014) \u041a<em>\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0439 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0443\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u044b\u043c\u0447\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u044b \u0435\u0433\u043e \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/em>. \u041f\u041f\u0413 \u0418\u041d\u0414\u0410\u0421\u0422\u0420\u0418\u0417 \u041e\u0413\u0410\u0419\u041e, \u0418\u041d\u041a (\u0421\u0428\u0410). \u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442: \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0443\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u044f\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2756815&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2756815<\/a> (2021) \u0421<em>\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/em>. \u0421\u0418\u041d-\u042d\u0426\u0423 \u041a\u0415\u041c\u0418\u041a\u0410\u041b \u041a\u041e., \u041b\u0422\u0414. (JP), \u041a\u0423\u0421\u0418\u041a \u0418\u041d\u041a. (JP). \u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442\u00a0\u0438\u0437\u00a0\u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 1b, \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439\u00a0\u0438\u0437\u00a0\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0442 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043a\u0430\u0440\u0431\u043e\u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u0441\u0438\u043b\u0438\u0446\u0438\u0434 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430, \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e\u00a0\u0438\u0437\u00a0\u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u044b, \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0439\u00a0\u0438\u0437\u00a0\u043d\u0438\u043a\u0435\u043b\u044f, \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430, \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 \u0438 \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u0430, \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432, \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439\u00a0\u0438\u0437\u00a0\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u00a0\u0438\u0437\u00a0\u0444\u043e\u0441\u0444\u043e\u0440\u043e\u0441\u0438\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0430 (PSG) \u0438\u043b\u0438 \u0431\u043e\u0440\u043e\u0444\u043e\u0441\u0444\u043e\u0440\u043e\u0441\u0438\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0430 (BPSG).<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2764040&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2764040<\/a>\u00a0 (2022)<em> \u0412\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e 3C-SiC \u043d\u0430 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0438. <\/em>\u0414\u0417\u0415 \u042e\u041d\u0418\u0412\u0415\u0420\u0421\u0418\u0422\u0418 \u041e\u0424 \u0423\u041e\u0420\u0418\u041a (\u0412\u0435\u043b\u0438\u043a\u043e\u0431\u0440\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f). \u041f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0442 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d \u0438\u043b\u0438 \u0445\u043b\u043e\u0440 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d, \u0430 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0442 \u043c\u0435\u0442\u0438\u043b-\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d.<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2816671&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2816671<\/a> (2024) <em>\u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u043e\u0434\u0430 \u0428\u043e\u0442\u0442\u043a\u0438.<\/em> \u041e\u041e\u041e \u00ab\u0418\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0423\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438\u00bb (\u0422\u0440\u043e\u0438\u0446\u043a). \u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0438\u0437\u00a0\u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u0430, \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u043e\u0440\u043e\u043c,\u00a0\u0430 \u0437\u0430\u0442\u0435\u043c \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435\u00a0\u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u00a0\u0438\u0437\u00a0\u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439\u00a0\u0444\u0430\u0437\u044b \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u044c\u044e \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0431\u043e\u0440\u043e\u043c.<\/p>\n<p>\u0412\u0438\u0434\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b \u0420\u0424 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442\u0441\u044f \u043a <strong>2013-2024<\/strong> \u0433\u043e\u0434\u0430\u043c \u0441 \u043f\u0438\u043a\u043e\u043c \u0432 2024-\u043e\u043c. \u042d\u0442\u043e \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0449\u0435\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043d\u0434\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0430\u0434\u043b\u0435\u0436\u0430\u0442 \u0437\u0430\u0440\u0443\u0431\u0435\u0436\u043d\u044b\u043c \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c \u0437\u0430\u0449\u0438\u0449\u0430\u043b\u0438 \u0441\u0432\u043e\u044e \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438. \u041e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u043c \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441, \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043b\u0438 \u043e\u043d\u0438 \u043e\u043f\u043b\u0430\u0447\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u0448\u043b\u0438\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u0441\u0438\u043b\u0435.\u00a0\u00a0<\/p>\n<p>\u0412 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0424\u0418\u041f\u0421 \u0432 \u0440\u0435\u0444\u0435\u0440\u0430\u0442\u0430\u0445 \u043f\u043e \u0437\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441\u0443 <strong>\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b <\/strong>\u043f\u043e \u043a\u043e\u0434\u0443 H01L \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438 \u043d\u0435\u0442. \u0411\u0430\u0437 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043d\u0435\u0442.<\/p>\n<h2>\u041d\u0418\u041e\u041a\u0422\u0420<\/h2>\n<p>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u044f\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0445\u043e\u0434\u0435 \u043f\u043b\u0430\u043d\u043e\u0432\u044b\u0445\u00a0 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0445, \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u043e\u0440\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438 \u0442\u0435\u043e\u0440\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442. \u041e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u0430\u044f \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u044f \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0442\u0447\u0451\u0442\u044b \u043f\u043e \u0433\u0440\u0430\u043d\u0442\u0430\u043c, \u0434\u0438\u0441\u0441\u0435\u0440\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438, \u0434\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f\u0445, \u043e\u0431\u044a\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e \u0442\u0435\u043d\u0434\u0435\u0440\u0430\u0445.<\/p>\n<p>\u041d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u0442\u0430\u043b\u0435 \u00ab\u041d\u0430\u0443\u043a\u0430 \u0438 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438\u00bb \u043f\u043e <strong>\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b <\/strong>\u0443\u0447\u0442\u0435\u043d\u043e 553 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430, \u043d\u043e \u043f\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430\u043c \u2013 17, \u043f\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435 7. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0432 2023-2024 \u0433\u0433. \u0432 \u0418\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442\u0435 \u041e\u0431\u0449\u0435\u0439 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u0438 \u0420\u0410\u041d \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0430 \u041d\u0418\u0420 \u00ab\u0421\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u043a \u0432 \u0421\u0412\u0427-\u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435: \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u043c\u0435\u0441\u0438 \u043d\u0430 \u0432\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0437\u0430\u0440\u043e\u0434\u044b\u0448\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u00bb. \u0414\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0442\u044c \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438. \u0412 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u0445 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0421\u0412\u0427 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d \u0440\u044f\u0434 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u043a \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442 200 \u043d\u043c \u0434\u043e 20 \u043c\u043a\u043c. \u041f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u044b \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0438 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0439 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430, \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u043c\u0435\u0441\u0438, \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0438 \u0444\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u043a.<\/p>\n<p>\u041d\u0418\u0420 \u00ab\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 2D-MoS\u2082- \u0438 WS\u2082-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u043d\u0430 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044f\u0445\u00bb \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0430 \u0432 2023 \u0433. \u0432 \u041c\u0424\u0422\u0418. \u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d MOCVD-\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0433\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430 \u0434\u0432\u0443\u0445\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 MoS\u2082 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0440\u0435\u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 Mo(CO)\u2086, H\u2082S, H\u2082.\u00a0<\/p>\n<p>\u0424\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u044b \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u043a \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u043f\u043e\u044d\u0442\u0430\u043f\u043d\u043e \u0432 2023-2026 \u0433\u0433. \u041a\u0430\u0437\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0439 (\u041f\u0440\u0438\u0432\u043e\u043b\u0436\u0441\u043a\u0438\u0439) \u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0423\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0442\u0435\u0442. \u0424\u0435\u043d\u043e\u043c\u0435\u043d \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u0430\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u043a \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0445\u043e\u043b\u043e\u0434\u043d\u0443\u044e \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0443 \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u0431\u044b\u043b \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442 \u0435\u0449\u0451 \u0432 2007 \u0433\u043e\u0434\u0443. \u0423\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u043a, \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 (\u0434\u043e 5 \u0440\u0430\u0437) \u0441\u0440\u043e\u043a \u0433\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0438\u0437\u043e\u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u0430\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0451\u043d\u043a\u0438 \u043a\u0430\u043a \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0443\u044e \u0444\u043e\u0440\u043c\u0443 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0432 \u043e\u043f\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445.\u00a0<\/p>\n<p>\u042d\u0442\u0438 \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0436\u0438\u0435 \u041d\u0418\u041e\u041a\u0422\u0420 \u0431\u0443\u043a\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0431\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438, \u0442\u0430\u043a \u0447\u0442\u043e \u043c\u044b \u043c\u043e\u0436\u0435\u043c \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0442\u044c \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044e \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0420\u0424.<\/p>\n<h2>\u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n<p>\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u0441 1970-\u0445 \u0433\u043e\u0434\u043e\u0432 \u043d\u0430\u0448\u043b\u0430 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435. \u0412 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 \u0433\u043e\u0434\u044b \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435 \u00ab\u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0442\u044b\u0435\u00bb \u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u0432\u0438\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440 \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439.\u00a0<\/p>\n<p>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u044f \u0432 \u0420\u0424 \u0441 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u043c\u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0443\u0434\u043e\u0432\u043b\u0435\u0442\u0432\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f. \u041e\u0442\u0440\u0430\u0434\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435, \u0432\u0435\u0434\u0443\u0449\u0438\u0435 \u0432 \u043d\u0430\u0448\u0435\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440 \u041d\u0418\u0418 \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434 \u00ab\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u00bb (\u0417\u0435\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u0440\u0430\u0434), \u041d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u041f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u0435 \u00ab\u0418\u0441\u0442\u043e\u043a \u0438\u043c. \u0428\u043e\u043a\u0438\u043d\u0430\u00bb (\u0424\u0440\u044f\u0437\u0438\u043d\u043e), \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u0440\u043f\u043e\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0440\u0430\u043a\u0435\u0442\u043d\u043e-\u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b (\u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430), \u0410\u041e \u00ab\u042d\u043b\u043c\u0430-\u041c\u0430\u043b\u0430\u0445\u0438\u0442\u00bb (\u0417\u0435\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u0440\u0430\u0434).<\/p>\n<p>\u0417\u0430\u043c\u0435\u0442\u043d\u0430 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0438\u0437 \u0421\u0428\u0410, \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u0438, \u0412\u0435\u043b\u0438\u043a\u043e\u0431\u0440\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u0438.<\/p>\n<details class=\"spoiler\">\n<summary>\u041e \u0441\u0435\u0440\u0432\u0438\u0441\u0435 \u041e\u043d\u043b\u0430\u0439\u043d \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442<\/summary>\n<div class=\"spoiler__content\">\n<p>\u041e\u043d\u043b\u0430\u0439\u043d \u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u00a0\u2014 \u0446\u0438\u0444\u0440\u043e\u0432\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u21161 \u0432 \u0440\u0435\u0439\u0442\u0438\u043d\u0433\u0435 \u0420\u043e\u0441\u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u0430. \u0421 2013 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u043c\u044b \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u043c \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 LegalTech-\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u044b \u0438 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e.\u00a0<a href=\"https:\/\/my.onlinepatent.ru\/client\/registration?context=Claim&amp;type=TradeMark&amp;utm_source=habr&amp;utm_medium=smm&amp;utm_campaign=habr_smm_postpodval250625\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0417\u0430\u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0439\u0442\u0435\u0441\u044c \u0432 \u0441\u0435\u0440\u0432\u0438\u0441\u0435 \u041e\u043d\u043b\u0430\u0439\u043d-\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u00a0<\/a>\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f \u043a \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u0443\u0441\u043b\u0443\u0433\u0430\u043c:\u00a0<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u041e\u043d\u043b\u0430\u0439\u043d-\u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c, \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0442\u043e\u0432\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0437\u043d\u0430\u043a\u043e\u0432, \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e\u00a0\u0434\u0438\u0437\u0430\u0439\u043d\u0430;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/onlinepatent.ru\/uslugi\/reestr\/?utm_source=habr&amp;utm_medium=smm&amp;utm_campaign=habr_smm_postpodval250625\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u041f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0430 \u0437\u0430\u044f\u0432\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0432\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0440\u0435\u0435\u0441\u0442\u0440 \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u041f\u041e<\/a>;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/onlinepatent.ru\/software\/?utm_source=habr&amp;utm_medium=smm&amp;utm_campaign=habr_smm_postpodval250625\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u041f\u043e\u0438\u0441\u043a \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0430\u043c<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/onlinepatent.ru\/uslugi\/registraciya-programmy-dlya-evm\/?utm_source=habr&amp;utm_medium=smm&amp;utm_campaign=habr_smm_postpodval250625\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0420\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u044b \u0432 \u0420\u043e\u0441\u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u0435<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u041e\u043f\u0446\u0438\u0438 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0444\u043e\u0440\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u0441\u043b\u0443\u0433;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0411\u0435\u0441\u043f\u043b\u0430\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0438\u0441\u043a \u043f\u043e \u0431\u0430\u0437\u0430\u043c \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c, \u0442\u043e\u0432\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0437\u043d\u0430\u043a\u043e\u0432;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u041c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433\u0438 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0437\u0430\u044f\u0432\u043e\u043a \u043f\u043e \u043a\u0440\u0438\u0442\u0435\u0440\u0438\u044f\u043c;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u041e\u043d\u043b\u0430\u0439\u043d-\u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0443 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/div>\n<\/details>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p><!----><!----><\/div>\n<p><!----><!----><br \/> \u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0440\u0438\u0433\u0438\u043d\u0430\u043b \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438 <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/articles\/921768\/\"> https:\/\/habr.com\/ru\/articles\/921768\/<\/a><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<div><!--[--><!--]--><\/div>\n<div id=\"post-content-body\">\n<div>\n<div class=\"article-formatted-body article-formatted-body article-formatted-body_version-2\">\n<div xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xhtml\">\n<figure class=\"full-width\"><\/figure>\n<p>Chemical Vapor Deposition CVD \u2013 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0433\u0430\u0437\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432. \u041e \u043d\u0435\u0439 \u043c\u044b \u0438 \u043f\u043e\u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u0438\u043c \u0432 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f\u0448\u043d\u0435\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0435.\u00a0<\/p>\n<h2>\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434<\/h2>\n<p>\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b, \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0434\u043b\u044f \u043a\u0440\u0430\u0442\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0435 CVD, \u044d\u0442\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0432\u0451\u0440\u0434\u044b\u0445 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u0439, \u0432 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 \u0433\u0430\u0437\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u044b.\u00a0\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u0445\u0435\u043c;\u00a0\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0434\u0435\u043a\u043e\u0440\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d \u0438 \u0430\u043f\u043f\u0430\u0440\u0430\u0442\u043e\u0432, \u043d\u0430 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b;\u00a0\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0439 \u0438 \u0438\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u0439 \u0438\u0437 \u0442\u0443\u0433\u043e\u043f\u043b\u0430\u0432\u043a\u0438\u0445 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440 \u0441\u043e\u043f\u0435\u043b \u0438\u0437 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0442\u0430 \u0438\u043b\u0438 W \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u043a\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439; \u00a0\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u043e\u043d; \u00a0\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u044f\u0434\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u043e\u043f\u043b\u0438\u0432\u0430; \u00a0\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0431\u044a\u0451\u043c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u00ab\u0443\u0441\u043e\u0432\u00bb \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432;\u00a0<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0441\u043f\u0435\u0440\u0441\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0448\u043a\u043e\u0432 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0438, \u043d\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439, \u0430\u0434\u0441\u043e\u0440\u0431\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432).<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0420\u0430\u0437\u0443\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0434\u043b\u044f \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430\u0431\u043e\u0440 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438 \u0432\u0441\u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u044f\u0442\u0441\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u044b \u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b (\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438, \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u043e\u043d, \u044f\u0434\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u043e\u043f\u043b\u0438\u0432\u0430). \u041f\u0440\u043e \u043e\u0441\u043e\u0431\u043e \u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u044b \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u044b \u0443\u0436\u0435 \u043f\u0438\u0441\u0430\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u0425\u0430\u0431\u0440\u0435, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/companies\/onlinepatent\/articles\/886088\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0437\u0434\u0435\u0441\u044c<\/a> \u0438 <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/companies\/onlinepatent\/articles\/867712\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0442\u0443\u0442<\/a>.<\/p>\n<p>\u041d\u0430 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0436\u0438\u043b\u0438\u0441\u044c 4 \u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u0432\u0438\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430:<\/p>\n<ol>\n<li>\n<p>\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u043f\u0440\u0438 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u043d\u043e\u043c \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 (AP CVD);<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u041f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b (DP CVD);<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u043f\u043e\u0434 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c (LP CVD);<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b-\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b (MO CVD).<\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<p>\u0427\u0442\u043e \u043a\u0430\u0441\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0442\u043e \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u0441\u0435\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043f\u043e \u0443\u0437\u043a\u0438\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c (IDM), \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438.\u00a0<\/p>\n<p>\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c (IDM) \u0434\u043e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0435, \u043e\u043d\u0438 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432, \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043e\u043f\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0434\u0438\u0441\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 (\u0437\u0430 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438).\u00a0\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c (IDM) \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b (\u0418\u0421).\u00a0\u041f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c, \u0432 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043e\u0442\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0445\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0434\u043b\u044f \u043b\u043e\u0433\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438, IDM \u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u044f\u0442\u0441\u044f \u043a \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432 \u043e\u0442 10 \u043d\u043c \u0434\u043e 5 \u043d\u043c \u0438 \u0434\u0430\u0436\u0435 3 \u043d\u043c.\u00a0<\/p>\n<p>\u0412\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u043f\u043e \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u0435 \u0441\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440 \u2014 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438.\u00a0\u0421 \u0432\u0437\u0440\u044b\u0432\u043e\u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u043d\u044b\u043c \u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u043c \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438\/\u0431\u0430\u0437 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445, \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441 \u043d\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f.\u00a0\u0420\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u044f\u044e\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0439 \u0431\u0438\u0437\u043d\u0435\u0441 \u0432 \u0441\u0444\u0435\u0440\u0435 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430 \u0441\u043e \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0431\u044b\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u043e\u0432 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445.\u00a0\u0412 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u0430 \u0443\u043a\u0430\u0436\u0435\u043c \u043d\u0430 \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043e\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 LPDDR5 \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u043e\u043c 16 \u0413\u0411 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0435\u0439 Samsung, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e 10-\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u043c\u0443 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443 (1z), \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b.<\/p>\n<p>\u0412 \u043c\u0430\u0440\u043a\u0435\u0442\u0438\u043d\u0433\u043e\u0432\u043e\u043c <a href=\"https:\/\/straitsresearch.com\/report\/semiconductor-chemical-vapor-deposition-equipment-market\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438<\/a> <strong>Semiconductor Chemical Vapor Deposition (CVD), Forecasts, 2024-2032<\/strong> \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u043e\u0441\u0442 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 14,34 \u0434\u043e 30,13 \u043c\u043b\u0440\u0434 \u0434\u043e\u043b\u043b\u0430\u0440\u043e\u0432 \u0441 2023 \u043f\u043e 2032 \u0433. \u0441 \u0442\u0435\u043c\u043f\u043e\u043c CAGR 8,6% \u0437\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u00a02024-32. \u0413\u043b\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0438\u0433\u0440\u043e\u043a\u0430\u043c\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f Aixtron Se. Applied Materials, Inc., Asm International, CVD Equipment Corporation, Oxford Instruments Plc, Ulvac Inc, Veeco Instruments Inc.<\/p>\n<p>\u0412 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435 \u043d\u0430\u0441 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441\u0443\u0435\u0442 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442.<\/p>\n<h2>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442<\/h2>\n<p>\u041d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u0442\u0430\u043b\u0435 Google.Patents \u043f\u043e\u0438\u0441\u043a \u043f\u043e \u0437\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441\u0443 <strong>Chemical Vapor Deposition <\/strong>\u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 100 000 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u041f\u043e \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043b\u0438\u0434\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 <br \/><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Ion+Beam+Etching)&amp;oq=Ion+Beam+Etching+\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\"><strong><em>\u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b H01L<\/em><\/strong><\/a> \u0441 55,4%<\/p>\n<p>\u0421\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0438\u0441\u043a \u043f\u043e \u0437\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441\u0443 <strong>Chemical Vapor Deposition H01L<\/strong> Google.Patents \u0432\u044b\u0434\u0430\u043b \u0432 \u043c\u0430\u0435 2025 \u0433\u043e\u0434\u0430 56216 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u0414\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043e \u0433\u043e\u0434\u0430\u043c \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u0438\u0441.\u00a0<\/p>\n<p><strong>\u0420\u0438\u0441\u0443\u043d\u043e\u043a 1: \u0414\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u043c\u0443 \u00abChemical Vapor Deposition H01L\u00bb<\/strong><\/p>\n<figure class=\"\"><\/figure>\n<p><em>\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a: \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u043f\u0440\u0435\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 Google.Patents 28.04.2025<\/em><\/p>\n<p>\u0412\u0438\u0434\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 20 \u043b\u0435\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u044b \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u043e\u0441\u044f\u0442 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0441\u0442\u0443\u0449\u0438\u0439 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440. \u041b\u0438\u0434\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u0441\u043e\u0432\u043e\u043a\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f:<\/p>\n<ol>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Chemical+Vapor+Deposition)&amp;q=H01L&amp;assignee=Taiwan+Semiconductor+Manufacturing+Company%2c+Ltd.&amp;peid=633cf1388cbf8%3A56%3A69286cab\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.<\/a> \u2014 13,9%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Chemical+Vapor+Deposition)&amp;q=H01L&amp;assignee=International+Business+Machines+Corporation&amp;peid=633cf13153df0%3A53%3A7b7264c3\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">International Business Machines Corporation<\/a> \u2014 4,4%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Chemical+Vapor+Deposition)&amp;q=H01L\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Micron Technology, Inc.<\/a> \u2014 2,9%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Chemical+Vapor+Deposition)&amp;q=H01L\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Applied Materials, Inc.<\/a> \u2014 2,4%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Chemical+Vapor+Deposition)&amp;q=H01L&amp;assignee=Nanya+Technology+Corporation&amp;peid=633cf12263a70%3A51%3A187c4230\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Nanya Technology Corporation<\/a> \u2014 2,1%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Chemical+Vapor+Deposition)&amp;q=H01L\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Sandisk Technologies Llc<\/a> \u2014 2,1%;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><a href=\"https:\/\/patents.google.com\/?q=(Chemical+Vapor+Deposition)&amp;q=H01L\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Samsung Electronics Co., Ltd.<\/a> \u2014 1%.<\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<p>\u041a\u0430\u043a \u0432\u0438\u0434\u043d\u043e, \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u043b\u0438\u0434\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u0442\u0430\u044f \u0442\u0430\u0439\u0432\u0430\u043d\u044c\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f. \u0417\u0430 \u043d\u0435\u0439 \u0438\u0434\u0443\u0442 \u043d\u0435 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0431\u0440\u0435\u043d\u0434\u044b, \u0447\u044c\u0438 \u0438\u043c\u0435\u043d\u0430 \u0443 \u0432\u0441\u0435\u0445 \u043d\u0430 \u0441\u043b\u0443\u0445\u0443 \u0438 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u0438\u0435\u0432 \u043d\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442. \u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>US11666950B2 Method of forming process film;<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>US20220052260A1 Rram device with improved performance.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<h2>\u0410 \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438?\u00a0<\/h2>\n<p>\u0412 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0424\u0418\u041f\u0421 \u0432 \u0440\u0435\u0444\u0435\u0440\u0430\u0442\u0430\u0445 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f \u0420\u0424 \u043f\u043e \u0437\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441\u0443 <strong>\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b <\/strong>163 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043d\u043e \u043f\u043e \u043d\u0430\u0448\u0435\u043c\u0443 \u043a\u043e\u0434\u0443 H01L \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e 29 \u0435\u0434., \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 11 \u0435\u0434. \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435. \u041f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b:<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2481675&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2481675<\/a> (2013) \u041a<em>\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u043b\u0435 \u0441 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u044b\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434\u043e\u043c \u0432 \u0432\u0438\u0434\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441 \u043f\u044c\u0435\u0437\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435\u043c<\/em>. \u041e\u0410\u041e \u00ab\u041d\u0418\u0418 \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434 \u00ab\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u00bb (\u0417\u0435\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u0440\u0430\u0434). \u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u00a0\u0441\u043b\u043e\u044f \u0424\u0421\u0421 (\u0444\u043e\u0441\u0444\u0430\u0442\u043d\u043e-\u0441\u0438\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0430) \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c\u00a0\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e\u00a0\u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f\u00a0\u0438\u0437\u00a0\u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439\u00a0\u0444\u0430\u0437\u044b.<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2489532&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2489532<\/a>\u00a0(2013) \u0421<em>\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043a\u043e\u043c\u0431\u0438\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u0430<\/em>. \u041d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u041f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u0435 \u00ab\u0418\u0441\u0442\u043e\u043a\u00bb \u0438 \u0418\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u0438 \u0420\u0410\u041d (\u041d. \u041d\u043e\u0432\u0433\u043e\u0440\u043e\u0434). \u0412 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0441\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u0430 \u043f\u043e \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432-\u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0432\u043e\u043a \u0441 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438, \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0435\u0439 \u0441\u0440\u043e\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0435 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437.\u00a0<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2526298&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2526298<\/a>\u00a0(2014) \u041a<em>\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0439 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0443\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u044b\u043c\u0447\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u044b \u0435\u0433\u043e \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/em>. \u041f\u041f\u0413 \u0418\u041d\u0414\u0410\u0421\u0422\u0420\u0418\u0417 \u041e\u0413\u0410\u0419\u041e, \u0418\u041d\u041a (\u0421\u0428\u0410). \u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442: \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0443\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u044f\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2756815&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2756815<\/a> (2021) \u0421<em>\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/em>. \u0421\u0418\u041d-\u042d\u0426\u0423 \u041a\u0415\u041c\u0418\u041a\u0410\u041b \u041a\u041e., \u041b\u0422\u0414. (JP), \u041a\u0423\u0421\u0418\u041a \u0418\u041d\u041a. (JP). \u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442\u00a0\u0438\u0437\u00a0\u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 1b, \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439\u00a0\u0438\u0437\u00a0\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0442 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043a\u0430\u0440\u0431\u043e\u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u0441\u0438\u043b\u0438\u0446\u0438\u0434 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430, \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e\u00a0\u0438\u0437\u00a0\u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u044b, \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0439\u00a0\u0438\u0437\u00a0\u043d\u0438\u043a\u0435\u043b\u044f, \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430, \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 \u0438 \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u0430, \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432, \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439\u00a0\u0438\u0437\u00a0\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u00a0\u0438\u0437\u00a0\u0444\u043e\u0441\u0444\u043e\u0440\u043e\u0441\u0438\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0430 (PSG) \u0438\u043b\u0438 \u0431\u043e\u0440\u043e\u0444\u043e\u0441\u0444\u043e\u0440\u043e\u0441\u0438\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0430 (BPSG).<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2764040&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2764040<\/a>\u00a0 (2022)<em> \u0412\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e 3C-SiC \u043d\u0430 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0438. <\/em>\u0414\u0417\u0415 \u042e\u041d\u0418\u0412\u0415\u0420\u0421\u0418\u0422\u0418 \u041e\u0424 \u0423\u041e\u0420\u0418\u041a (\u0412\u0435\u043b\u0438\u043a\u043e\u0431\u0440\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f). \u041f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0442 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d \u0438\u043b\u0438 \u0445\u043b\u043e\u0440 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d, \u0430 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0442 \u043c\u0435\u0442\u0438\u043b-\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d.<\/p>\n<p>\u2116<a href=\"http:\/\/new.fips.ru\/registers-doc-view\/fips_servlet?DB=RUPAT&amp;DocNumber=2816671&amp;TypeFile=html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">2816671<\/a> (2024) <em>\u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u043e\u0434\u0430 \u0428\u043e\u0442\u0442\u043a\u0438.<\/em> \u041e\u041e\u041e \u00ab\u0418\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0423\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438\u00bb (\u0422\u0440\u043e\u0438\u0446\u043a). \u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0438\u0437\u00a0\u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u0430, \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u043e\u0440\u043e\u043c,\u00a0\u0430 \u0437\u0430\u0442\u0435\u043c \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435\u00a0\u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u00a0\u0438\u0437\u00a0\u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439\u00a0\u0444\u0430\u0437\u044b \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u044c\u044e \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0431\u043e\u0440\u043e\u043c.<\/p>\n<p>\u0412\u0438\u0434\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b \u0420\u0424 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442\u0441\u044f \u043a <strong>2013-2024<\/strong> \u0433\u043e\u0434\u0430\u043c \u0441 \u043f\u0438\u043a\u043e\u043c \u0432 2024-\u043e\u043c. \u042d\u0442\u043e \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0449\u0435\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043d\u0434\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0430\u0434\u043b\u0435\u0436\u0430\u0442 \u0437\u0430\u0440\u0443\u0431\u0435\u0436\u043d\u044b\u043c \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c \u0437\u0430\u0449\u0438\u0449\u0430\u043b\u0438 \u0441\u0432\u043e\u044e \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u0420\u043e\u0441\u0441\u0438\u0438. \u041e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u043c \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441, \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043b\u0438 \u043e\u043d\u0438 \u043e\u043f\u043b\u0430\u0447\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u0448\u043b\u0438\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u0441\u0438\u043b\u0435.\u00a0\u00a0<\/p>\n<p>\u0412 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0424\u0418\u041f\u0421 \u0432 \u0440\u0435\u0444\u0435\u0440\u0430\u0442\u0430\u0445 \u043f\u043e \u0437\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441\u0443 <strong>\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b <\/strong>\u043f\u043e \u043a\u043e\u0434\u0443 H01L \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438 \u043d\u0435\u0442. \u0411\u0430\u0437 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043d\u0435\u0442.<\/p>\n<h2>\u041d\u0418\u041e\u041a\u0422\u0420<\/h2>\n<p>\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u044f\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0445\u043e\u0434\u0435 \u043f\u043b\u0430\u043d\u043e\u0432\u044b\u0445\u00a0 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0445, \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u043e\u0440\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438 \u0442\u0435\u043e\u0440\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442. \u041e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u0430\u044f \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u044f \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0442\u0447\u0451\u0442\u044b \u043f\u043e \u0433\u0440\u0430\u043d\u0442\u0430\u043c, \u0434\u0438\u0441\u0441\u0435\u0440\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438, \u0434\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f\u0445, \u043e\u0431\u044a\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e \u0442\u0435\u043d\u0434\u0435\u0440\u0430\u0445.<\/p>\n<p>\u041d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u0442\u0430\u043b\u0435 \u00ab\u041d\u0430\u0443\u043a\u0430 \u0438 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438\u00bb \u043f\u043e <strong>\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b <\/strong>\u0443\u0447\u0442\u0435\u043d\u043e 553 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430, \u043d\u043e \u043f\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430\u043c \u2013 17, \u043f\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435 7. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0432 2023-2024 \u0433\u0433. \u0432 \u0418\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442\u0435 \u041e\u0431\u0449\u0435\u0439 \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u0438 \u0420\u0410\u041d \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0430 \u041d\u0418\u0420 \u00ab\u0421\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u043a \u0432 \u0421\u0412\u0427-\u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435: \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u043c\u0435\u0441\u0438 \u043d\u0430 \u0432\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0437\u0430\u0440\u043e\u0434\u044b\u0448\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u00bb. \u0414\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0442\u044c \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438. \u0412 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u0445 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0421\u0412\u0427 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d \u0440\u044f\u0434 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u043a \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442 200 \u043d\u043c \u0434\u043e 20 \u043c\u043a\u043c. \u041f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u044b \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0438 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0439 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430, \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u043c\u0435\u0441\u0438, \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0438 \u0444\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u043a.<\/p>\n<p>\u041d\u0418\u0420 \u00ab\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 2D-MoS\u2082- \u0438 WS\u2082-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u043d\u0430 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044f\u0445\u00bb \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0430 \u0432 2023 \u0433. \u0432 \u041c\u0424\u0422\u0418. \u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d MOCVD-\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0433\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430 \u0434\u0432\u0443\u0445\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 MoS\u2082 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0440\u0435\u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 Mo(CO)\u2086, H\u2082S, H\u2082.\u00a0<\/p>\n<p>\u0424\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u044b \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u043a \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u043f\u043e\u044d\u0442\u0430\u043f\u043d\u043e \u0432 2023-2026 \u0433\u0433. \u041a\u0430\u0437\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0439 (\u041f\u0440\u0438\u0432\u043e\u043b\u0436\u0441\u043a\u0438\u0439) \u0424\u0435\u0434\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0423\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0442\u0435\u0442. \u0424\u0435\u043d\u043e\u043c\u0435\u043d \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u0430\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u043a \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0445\u043e\u043b\u043e\u0434\u043d\u0443\u044e \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0443 \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u0431\u044b\u043b \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442 \u0435\u0449\u0451 \u0432 2007 \u0433\u043e\u0434\u0443. \u0423\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0451\u043d\u043e\u043a, \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 (\u0434\u043e 5 \u0440\u0430\u0437) \u0441\u0440\u043e\u043a \u0433\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0438\u0437\u043e\u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u0430\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0451\u043d\u043a\u0438 \u043a\u0430\u043a \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0443\u044e \u0444\u043e\u0440\u043c\u0443 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0432 \u043e\u043f\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445.\u00a0<\/p>\n<p>\u042d\u0442\u0438 \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0436\u0438\u0435 \u041d\u0418\u041e\u041a\u0422\u0420 \u0431\u0443\u043a\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0431\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438, \u0442\u0430\u043a \u0447\u0442\u043e \u043c\u044b \u043c\u043e\u0436\u0435\u043c \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0442\u044c \u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044e \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0420\u0424.<\/p>\n<h2>\u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n<p>\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u0441 1970-\u0445 \u0433\u043e\u0434\u043e\u0432 \u043d\u0430\u0448\u043b\u0430 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435. \u0412<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[],"tags":[],"class_list":["post-464572","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/464572","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=464572"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/464572\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=464572"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=464572"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=464572"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}