{"id":467943,"date":"2025-07-20T22:11:14","date_gmt":"2025-07-20T22:11:14","guid":{"rendered":"http:\/\/savepearlharbor.com\/?p=467943"},"modified":"-0001-11-30T00:00:00","modified_gmt":"-0001-11-29T21:00:00","slug":"","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/savepearlharbor.com\/?p=467943","title":{"rendered":"<span>PCSEL: \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b \u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b<\/span>"},"content":{"rendered":"<div><!--[--><!--]--><\/div>\n<div id=\"post-content-body\">\n<div>\n<div class=\"article-formatted-body article-formatted-body article-formatted-body_version-2\">\n<div xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xhtml\">\n<figure class=\"\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/br\/c0\/0g\/brc00gjmyfem5rxne7hswoei3h4.jpeg\" sizes=\"(max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780\/webt\/br\/c0\/0g\/brc00gjmyfem5rxne7hswoei3h4.jpeg 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/br\/c0\/0g\/brc00gjmyfem5rxne7hswoei3h4.jpeg 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/><\/figure>\n<p>\u041d\u0430\u0443\u0447\u043d\u0430\u044f \u0444\u0430\u043d\u0442\u0430\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043d\u0435\u0432\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439, \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0443\u0436\u0435 \u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0431\u0440\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u0432 \u043d\u0430\u0448 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0438\u0440, \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u0436\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430 \u043e\u0441\u0442\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430\u0445 \u043a\u043d\u0438\u0433. \u041a\u0430\u043a\u0438\u0435-\u0442\u043e \u0438\u0437 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u0438\u0435, \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b \u0438, \u043a\u0430\u043a \u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435, \u043d\u0435 \u0442\u0430\u043a \u043f\u043e\u043f\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b \u0441\u0440\u0435\u0434\u0438 \u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439, \u043d\u043e \u0435\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0442\u0435, \u0431\u0435\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043d\u0435\u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u0432\u044b\u0434\u0443\u043c\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0444\u0443\u0442\u0443\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043c\u0438\u0440: \u0440\u043e\u0431\u043e\u0442\u044b, \u0442\u0435\u043b\u0435\u043f\u043e\u0440\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f, \u0433\u0438\u043f\u0435\u0440\u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438, \u043a\u043b\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435, \u0433\u043e\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u044b, \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b \u0438 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0435-\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0435 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0435. \u041a\u0430\u0441\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432, \u0442\u043e \u043e\u043d\u0438 \u0432\u043e \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043c \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0438\u043b\u0438 \u043d\u0430\u0448 \u043c\u0438\u0440, \u0441\u0442\u0430\u0432 \u043d\u0435\u043e\u0442\u044a\u0435\u043c\u043b\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c\u044e \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0432 \u0431\u044b\u0442\u0443, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0432 \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445. \u0427\u0435\u043b\u043e\u0432\u0435\u043a \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0442\u044c \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u043c\u0430\u043b\u043e \u043e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430\u0445, \u043d\u043e \u043e\u0434\u043d\u043e \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0441\u0435\u0445 \u2014 \u043e\u043d\u0438 \u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u044b. \u041e\u0436\u043e\u0433\u0438 \u0438 \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u044f \u0437\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0434\u043d\u0438 \u0438\u0437 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043c \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0435 \u0441 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438, \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u044c \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432\u0430\u0440\u044c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430. \u041d\u043e \u0447\u0442\u043e \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u0442\u044c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u044b\u043c\u0438, \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0438\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0438\u0445 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c? \u0418\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u044d\u0442\u043e \u0438 \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u043b\u0438 \u0443\u0447\u0435\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0437 \u0418\u043b\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439\u0441\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0442\u0435\u0442\u0430 (\u0421\u0428\u0410). \u041e\u043d\u0438 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043b\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0439 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u0433\u043b\u0430\u0437. \u041a\u0430\u043a \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0438\u043c \u044d\u0442\u043e \u0443\u0434\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c, \u0438 \u043d\u0430 \u0447\u0442\u043e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d \u043d\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440? \u041e\u0442\u0432\u0435\u0442\u044b \u043d\u0430 \u044d\u0442\u0438 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u044b \u043c\u044b \u043d\u0430\u0439\u0434\u0435\u043c \u0432 \u0434\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u0435 \u0443\u0447\u0435\u043d\u044b\u0445.<\/p>\n<h3>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n<p>\u0424\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b \u0441 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c (PCSEL \u043e\u0442 <em>photonic-crystal surface-emitting lasers<\/em>) \u043f\u043e\u044f\u0432\u0438\u043b\u0438\u0441\u044c \u043a\u0430\u043a \u043d\u043e\u0432\u044b\u0439 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u044f \u0443\u0437\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0441\u0442\u0430, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0441 \u0442\u043e\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u043c \u0438\u043b\u0438 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0440\u0435\u0437\u043e\u043d\u0430\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0438 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (VCSEL \u043e\u0442 <em>vertical-cavity surface-emitting laser<\/em>). \u0412\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0440\u0435\u0437\u043e\u043d\u0430\u0442\u043e\u0440\u0430 \u0424\u0430\u0431\u0440\u0438-\u041f\u0435\u0440\u043e, \u0432 PCSEL \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u0432\u0443\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 (PhC \u043e\u0442 <em>photonic crystal<\/em>), \u0432\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0443\u044e \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u0433\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0438 \u0441\u0432\u044f\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0432\u0435\u0442, \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044f \u0434\u0432\u0443\u043c\u0435\u0440\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u043e\u044f\u0447\u0443\u044e \u0432\u043e\u043b\u043d\u0443, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0437\u0430\u0442\u0435\u043c \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c. \u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u043d\u043e\u0439 \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0438 PhC \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438, \u0432 \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044f \u043e\u0434\u043d\u0443 \u0433\u0430\u0443\u0441\u0441\u043e\u0432\u0443 \u043c\u043e\u0434\u0443 \u043d\u0430 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b.<\/p>\n<p>PhC \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u0442\u044c \u0435\u0434\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u0433\u0430\u0443\u0441\u0441\u043e\u0432\u0443 \u043c\u043e\u0434\u0443 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0440\u0435\u0437\u043e\u043d\u0430\u0442\u043e\u0440\u0430 PCSEL. \u0422\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e PCSEL \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u0430 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0434\u044b, \u0447\u0442\u043e, \u0432 \u0441\u0432\u043e\u044e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u044c, \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u044f\u0440\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430. \u0420\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 PCSEL \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 GaAs \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u0443\u044e \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u043e\u0432 \u0432\u0430\u0442\u0442 \u043f\u0440\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 1\u00b0. \u0414\u043b\u044f \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f: VCSEL \u0441 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0433\u0430\u0443\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0434\u043e\u0439 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u0432 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u0442 \u043f\u0440\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 6 \u0434\u043e 11\u00b0. \u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0442\u0430\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f PCSEL \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u044f\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438\u0432\u043b\u0435\u043a\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u0431\u0435\u0437 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u043d\u0437 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439, \u043a\u0430\u043a LiDAR, \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0432\u044f\u0437\u044c, \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f. \u0414\u043b\u044f \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0430\u0445 \u0434\u043b\u0438\u043d \u0432\u043e\u043b\u043d \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 PCSEL \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u044f\u0447\u0435\u0435\u043a \u0438 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438.<\/p>\n<figure class=\"\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/r4\/em\/69\/r4em69jjs-_h6p-2dqyur0t__y0.png\" sizes=\"(max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780\/webt\/r4\/em\/69\/r4em69jjs-_h6p-2dqyur0t__y0.png 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/r4\/em\/69\/r4em69jjs-_h6p-2dqyur0t__y0.png 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/><\/figure>\n<p><em>\u0418\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u21161<\/em><\/p>\n<p>\u041d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 PCSEL \u043f\u0435\u0440\u0435\u043e\u0441\u043c\u044b\u0441\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044b \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f \u043e\u0434\u0438\u043d\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f. \u0420\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0443\u0436\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u043e \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 50 \u0412\u0442 \u0432 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 \u0441 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0443\u0433\u043b\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 0.05\u00b0 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e PCSEL, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043e \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 400 \u0412\u0442 \u0432 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u0430 \u0438\u0437 \u0434\u0435\u0432\u044f\u0442\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 PCSEL \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 940 \u043d\u043c. \u042d\u0442\u0438 PCSEL \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 GaAs \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b, \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0432 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c, \u0438, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b (MOCVD \u043e\u0442 <em>metal-organic chemical vapor deposition<\/em>). \u0422\u0440\u0435\u0445\u043c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0430 \u043a\u0430\u043a \u043d\u0430 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u0432\u044b\u0441\u0448\u0438\u0435 \u043c\u043e\u0434\u044b \u0438 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u0442\u044c \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044f\u0445. \u0414\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0434\u0438\u043d\u0430\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445, \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 (<strong>1a<\/strong>) \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0443\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b, \u043a\u0430\u043a \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 V\/III, \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430, \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430, \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u044f \u0438 \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0432\u0430\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u043e\u0439.<\/p>\n<p>PCSEL \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 InP (\u0444\u043e\u0441\u0444\u0438\u0434\u0430 \u0438\u043d\u0434\u0438\u044f), \u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0432\u0441\u0435 \u0435\u0449\u0435 \u0437\u0430\u043c\u0435\u0442\u043d\u043e \u043e\u0442\u0441\u0442\u0430\u044e\u0442 \u043f\u043e \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 GaAs \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b. \u041f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 InP \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0436\u0435\u043d\u044b \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0430\u043c \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0438 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u0441\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0435\u043c. \u041d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f \u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0438\u043b\u0438 \u043e \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u0445 \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0435\u0439 \u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0432 \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0438 InP-PCSEL, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u044d\u0442\u0438\u043c \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u044b\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u043e\u043c. \u0421\u0440\u0435\u0434\u0438 \u0437\u0430\u0444\u0438\u043a\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u2014 \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u044f \u043a\u0440\u0443\u0433\u043b\u044b\u0445 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0439 \u0432 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b, \u043d\u0435\u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0435 \u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u0445, \u0430\u0441\u0438\u043c\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0441\u043a\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0443 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0430 \u0438 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u044f\u0449\u0438\u0435 \u043e\u0442 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0439. \u0422\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043d\u0435\u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0437\u0430\u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u044f\u044e\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044e \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0439. \u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u044d\u0442\u0430 \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043d\u0435\u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0438\u0442\u043e\u0433\u0435 \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0430\u0435\u0442 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430.<\/p>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u044b \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u043e\u0436\u0438\u043b\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044e PCSEL \u0441 \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u043c (<strong>1b<\/strong>), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 (PhC) \u043d\u0430 \u0432\u0441\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u0442\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445. \u0425\u043e\u0442\u044f \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u0430\u0441\u0442 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438, \u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u043e\u0441\u043b\u0430\u0431\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0434\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0434\u0432\u0443\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u044b \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438, \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0436\u0435\u043d\u044b \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u044f\u043c \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b, \u043e\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u0432\u044b\u0448\u0435.<\/p>\n<p>\u0422\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 PhC \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u0436\u0443\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 PhC \u0441 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u044f\u043c\u0438 (\u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u0430\u0441\u0442) \u0438 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 PhC (\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0435 \u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e \u0438 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435\u0439 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e), \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0438\u0437\u0431\u0435\u0433\u0430\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0438\u043d\u0434\u0443\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043d\u0430\u0431\u043b\u044e\u0434\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0432 \u043e\u0431\u043e\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0438\u0445 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u0430\u0445. \u041c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0434\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f (LEO \u043e\u0442 <em>lateral epitaxial overgrowth<\/em>) \u0441 \u00ab\u0443\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c\u00bb \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0440\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0431\u044b\u043b \u043f\u0440\u043e\u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d \u0432 GaAs \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e MBE (\u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e-\u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438) \u0435\u0449\u0435 \u0432 2019 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0432 \u0442\u0440\u0443\u0434\u0435 \u00ab<a href=\"https:\/\/pubs.acs.org\/doi\/10.1021\/acs.cgd.8b01671\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">High-Quality GaAs Planar Coalescence over Embedded Dielectric Microstructures Using an All-MBE Approach<\/a>\u00bb. \u0410\u0432\u0442\u043e\u0440\u044b \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043c\u0438 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435\u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u0430\u0434\u0430\u043f\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 LEO \u0434\u043b\u044f InP \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 MBE.<\/p>\n<p>\u0412 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u0442\u0440\u0443\u0434\u0435 \u043e\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u0430\u044f \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u0430 \u0432 PCSEL \u0441 \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u043c, \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0449\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 1.5 \u043c\u043a\u043c. \u042d\u0442\u043e \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0439 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0439 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440 \u0441 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438\u043d\u043a\u0430\u043f\u0441\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438, \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b.<\/p>\n<h3>\u0420\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n<figure class=\"\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/md\/fq\/n3\/mdfqn3ad6gm-477ttdiqeyhq3v0.png\" sizes=\"(max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780\/webt\/md\/fq\/n3\/mdfqn3ad6gm-477ttdiqeyhq3v0.png 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/md\/fq\/n3\/mdfqn3ad6gm-477ttdiqeyhq3v0.png 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/><\/figure>\n<p><em>\u0418\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u21162<\/em><\/p>\n<p>\u0412\u044b\u0448\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f PCSEL \u0441 \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u043c \u0438 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0430\u044f \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0422\u0415-\u043c\u043e\u0434\u0430 (\u043f\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u043d\u043e-\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043c\u043e\u0434\u0430). \u0412 \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u0435, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0442\u044c \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u0430\u0441\u0442 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u0432 \u0441\u043b\u043e\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 (PhC). \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0431\u044b\u043b \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a SiO<sub>2<\/sub> (\u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f). \u0412 \u043f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0435\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0435 \u0443\u0447\u0435\u043d\u044b\u0445 \u0431\u044b\u043b\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0434\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f PCSEL \u0438 \u0437\u0430\u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e \u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043f\u043e\u043d\u0442\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u043c\u043e\u0434\u044b (<em>modal overlap<\/em>) \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0434\u043e\u0439 \u0438 \u0441\u043b\u043e\u0435\u043c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430. \u042d\u0442\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043a\u0430\u043a \u043e\u0442 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 PhC \u0438 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u043e\u0442 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f (FF, <em>fill factor<\/em> \u2014 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u043d\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438, \u0437\u0430\u043d\u044f\u0442\u043e\u0439 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u043c, \u043e\u0442 \u043e\u0431\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u043d\u043e\u0439 \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0438 PhC).<\/p>\n<p>\u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 FF \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 PhC, \u0447\u0442\u043e \u0432\u0435\u0434\u0435\u0442 \u043a \u0432\u044b\u0442\u0435\u0441\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0434\u044b \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f. \u0412 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u0441 \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u043c FF \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043b\u0435\u0433\u043a\u043e \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c, \u0432 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043e\u0442 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439, \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u044f\u0442 \u043e\u0442 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0438 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438. \u0421\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0442\u043c\u0435\u0442\u0438\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 FF \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u044c \u043c\u043e\u0434\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435 \u0441 PhC. \u0412 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f PhC \u0441 FF = 13%, \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430 50 \u043d\u043c \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438, \u0440\u0430\u0441\u0447\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435 \u0441 \u043c\u043e\u0434\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 8%.<\/p>\n<figure class=\"\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/la\/44\/iz\/la44izavguiztuavvaex-bvdzjq.png\" sizes=\"(max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780\/webt\/la\/44\/iz\/la44izavguiztuavvaex-bvdzjq.png 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/la\/44\/iz\/la44izavguiztuavvaex-bvdzjq.png 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/><\/figure>\n<p><em>\u0418\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u21163<\/em><\/p>\n<p>\u0423\u0447\u0435\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0438\u043b\u0438 \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 PCSEL-\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b \u0441 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f (FF) 10% \u0438 13% \u0434\u043b\u044f \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0441 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u043e\u043c, \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443, \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0432\u044b\u0448\u0435. \u0411\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f InP-\u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u044f \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0430 \u043d\u0430 n-\u0442\u0438\u043f\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435. \u0412\u043e\u043b\u043d\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434 \u0438\u0437 InGaAlAs \u0441 \u043a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u044f\u043c\u0430\u043c\u0438, \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 15xx \u043d\u043c, \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u21162. \u0421\u043b\u043e\u0439 SiO<sub>2<\/sub> \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 214 \u043d\u043c \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e-\u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b (PECVD \u043e\u0442 <em>plasma-enhanced chemical vapor deposition<\/em>), \u0430 \u0443\u0437\u043e\u0440\u044b \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 (PhC) \u0441 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a \u0441\u0443\u0445\u0438\u043c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c. \u041f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0440\u044c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u0440\u043e\u0447\u0435 \u0438 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043d\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f a = 480 \u043d\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 15xx \u043d\u043c.<\/p>\n<p>\u0414\u0430\u043b\u0435\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0448\u0430\u0433 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u043f\u0435\u0440\u0438\u0444\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0432\u043e\u043a\u0440\u0443\u0433 \u0443\u0437\u043e\u0440\u043e\u0432 PhC. \u042d\u0442\u043e\u0442 \u0448\u0430\u0433 \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 \u0438 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043e\u0431\u043d\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 InP \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u041a\u0430\u043a \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b PhC \u0438\u0437 SiO<sub>2<\/sub>, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0444\u043e\u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0443\u0437\u043e\u0440\u044b \u0442\u0440\u0430\u0432\u044f\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0439 (ICP-RIE \u043e\u0442 <em>inductively coupled plasma reactive-ion etching<\/em>) (<strong>4a<\/strong>).<\/p>\n<figure class=\"\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/6h\/vb\/l9\/6hvbl9gi44hil81obiwg31uvrla.png\" sizes=\"(max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780\/webt\/6h\/vb\/l9\/6hvbl9gi44hil81obiwg31uvrla.png 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/6h\/vb\/l9\/6hvbl9gi44hil81obiwg31uvrla.png 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/><\/figure>\n<p><em>\u0418\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u21164<\/em><\/p>\n<p>\u041f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0443\u0437\u043e\u0440\u043e\u0432 PhC \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u044b \u043e\u0447\u0438\u0449\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0439 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u0433\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0432 H<sub>2<\/sub>SO<sub>4<\/sub> \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u043f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e-\u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 (MBE \u043e\u0442 <em>molecular beam-epitaxy<\/em>). \u0411\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u0435 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043d\u0430\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 InP \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043b\u043e\u0441\u044c \u0432 \u0434\u0432\u0430 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430: \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0439 \u2014 \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u2014 \u0434\u043b\u044f \u0438\u043d\u043a\u0430\u043f\u0441\u0443\u043b\u044f\u0446\u0438\u0438 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u041f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043e\u0431\u0449\u0435\u0433\u043e \u043d\u0430\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f 900 \u043d\u043c InP \u0432\u0441\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b PhC \u0431\u044b\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438\u043d\u043a\u0430\u043f\u0441\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b; \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u043b\u0438 \u043e\u0442 200 \u0434\u043e 260 \u043d\u043c. \u041f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 InP \u0431\u044b\u043b \u043d\u0435\u0434\u043e\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u0430. \u041d\u0430 <strong>4b<\/strong> \u0438 <strong>4c<\/strong> \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u044b \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u044f\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u0417\u0430\u0440\u044f\u0434, \u043d\u0430\u043a\u0430\u043f\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0445 \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 <strong>4b<\/strong>. \u0411\u044b\u043b\u043e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u043d\u0443\u0442\u043e \u043e\u0434\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043d\u0430\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435, \u0441 \u043d\u0435\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0435\u0439, \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u043e\u0439 \u043d\u0430 \u043b\u0435\u0432\u043e\u043c \u043a\u0440\u0430\u044e \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0441 \u0443\u0437\u043e\u0440\u043e\u043c \u043d\u0430 <strong>4c<\/strong>. \u041f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u043d\u0430\u0431\u043b\u044e\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0430\u0432\u043e\u043c \u043a\u0440\u0430\u044e, \u0433\u0434\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0442 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0443 \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u0438 \u2014 \u0432 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u044d\u0442\u043e \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b PhC, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0433\u043b\u0438 \u0431\u044b \u0431\u044b\u0442\u044c \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u044b \u043d\u0430 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0435 \u0444\u043e\u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p>\u041d\u0430\u043a\u043e\u043d\u0435\u0446, \u0432\u043e\u043a\u0440\u0443\u0433 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u0443\u0437\u043e\u0440\u0430 PhC \u0431\u044b\u043b\u0438 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u044b \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0437\u0430-\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0445\u043b\u043e\u0440\u0430\u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0435\u0433\u043e ICP-RIE \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439. \u041f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0432\u0448\u0438\u0435\u0441\u044f \u043a\u0432\u0430\u0434\u0440\u0430\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0437\u0430-\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0438\u043c\u0435\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b 200 \u00d7 200 \u043c\u043a\u043c \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u0442\u0443 \u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d\u0438 1.6 \u043c\u043a\u043c. \u0411\u043e\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043d\u0435 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u043f\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u0430.<\/p>\n<p>\u0423\u0447\u0435\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u044f\u043b\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0430\u0441\u043e\u0441 \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 PCSEL \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044f \u043d\u0430\u0441\u043e\u0441 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 980 \u043d\u043c, \u0441\u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0437\u0430-\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u043e\u0431\u044a\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430 \u0431\u043b\u0438\u0436\u043d\u0435\u0433\u043e \u0418\u041a-\u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0430. \u0414\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430 \u043d\u0430\u043a\u0430\u0447\u043a\u0438 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u043b \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e 200 \u043c\u043a\u043c, \u043e\u0441\u0432\u0435\u0449\u0430\u044f \u0432\u0441\u044e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0435\u0437\u0430-\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b PCSEL. \u041b\u0430\u0437\u0435\u0440 \u043d\u0430\u043a\u0430\u0447\u043a\u0438 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u0430 300 \u043d\u0441 \u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u043c \u0446\u0438\u043a\u043b\u043e\u043c 0.3% \u0432\u043e\u0437\u0431\u0443\u0436\u0434\u0430\u043b \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e, \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u044f\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435 \u0438\u043b\u0438 \u043c\u0435\u0434\u043d\u043e\u043c \u0431\u043b\u043e\u043a\u0435 \u0431\u0435\u0437 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0421\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u044b \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0431\u0438\u0440\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0438\u043b\u044c\u0442\u0440 \u0432 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440 \u0441 \u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u0435\u0439 InGaAs, \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0436\u0438\u0434\u043a\u0438\u043c \u0430\u0437\u043e\u0442\u043e\u043c. \u0414\u043b\u044f \u0441\u044a\u0435\u043c\u043a\u0438 \u0431\u043b\u0438\u0436\u043d\u0435\u0433\u043e \u0438 \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b InGaAs \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 SWIR. \u0427\u0442\u043e\u0431\u044b \u0432\u0438\u0437\u0443\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0435, \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043e\u0431\u044a\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043e\u043c \u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e PCSEL \u0431\u044b\u043b \u0432\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d \u0434\u0438\u0445\u0440\u043e\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0444\u0438\u043b\u044c\u0442\u0440, \u043d\u0430\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432\u0432\u0435\u0440\u0445, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u0440\u043e\u0435\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0432\u0435\u0442 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 1.5 \u043c\u043a\u043c \u043d\u0430 \u044d\u043a\u0440\u0430\u043d, \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0438 65 \u043c\u043c \u043e\u0442 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u0430. \u0412 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 PCSEL-\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u043f\u0435\u0440\u0435\u0441\u0442\u0430\u043b\u0438 \u043e\u0441\u0432\u0435\u0449\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0438\u0441\u043a\u0430\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438 \u0432\u044b\u0442\u044f\u043d\u0443\u0442\u043e\u0433\u043e \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u043d\u0430\u043a\u0430\u0447\u043a\u0438. \u0422\u0435\u043c \u043d\u0435 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0435 \u043f\u043e\u043c\u0435\u0448\u0430\u043b\u043e \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<figure class=\"\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/rs\/wn\/os\/rswnosoh6qpzxazmhob0fkirby4.png\" sizes=\"(max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780\/webt\/rs\/wn\/os\/rswnosoh6qpzxazmhob0fkirby4.png 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/rs\/wn\/os\/rswnosoh6qpzxazmhob0fkirby4.png 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/><\/figure>\n<p><em>\u0418\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u21165<\/em><\/p>\n<p>\u0412\u044b\u0448\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u044b \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 PCSEL, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u044e\u044e \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u0443\u044e \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u044b \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0433\u0435 \u0432 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0441 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0435\u0441\u0446\u0435\u043d\u0446\u0438\u0435\u0439 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438.<\/p>\n<p>\u041a\u0440\u0438\u0432\u0430\u044f \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043d\u0430\u043a\u0430\u0447\u043a\u0438 \u043d\u0430 <strong>5a<\/strong> \u0438\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0430 \u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0433\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043d\u0430\u0441\u044b\u0449\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u043f\u0440\u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f\u0445 \u043d\u0430\u043a\u0430\u0447\u043a\u0438 \u2014 \u043a\u0430\u043a \u044d\u0442\u043e \u0442\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0441 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c. \u041f\u043e\u0440\u043e\u0433 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u043b\u0441\u044f \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043c\u043e\u0440\u0444\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0431\u043b\u0438\u0436\u043d\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u044f \u0438 \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u0437\u043a\u0438\u0445, \u0443\u0437\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0432 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430\u0445 (<strong>5b<\/strong>). \u041c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0443\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u043b\u0441\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u043c \u0446\u0438\u043a\u043b\u043e\u043c \u043d\u0430\u043a\u0430\u0447\u043a\u0438 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0433\u0440\u0435\u0432\u043e\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0435\u0433\u043e \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0438, \u0432\u043f\u043b\u043e\u0442\u044c \u0434\u043e \u043f\u0440\u0435\u043a\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438. \u0420\u0430\u0431\u043e\u0442\u0443 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0443\u0434\u0430\u0432\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0433\u043e \u0446\u0438\u043a\u043b\u0430.<\/p>\n<p>\u041d\u0430 <strong>5b<\/strong> \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0433\u0435 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0443\u0437\u043a\u0438\u0435 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0438\u043a\u0438 \u0441\u043e \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0439 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 0.25 \u043d\u043c. \u0414\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043d\u043e \u0432\u043e\u0437\u0440\u0430\u0441\u0442\u0430\u043b\u0430 \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0438 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0435\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u0438\u043a\u0430 (<strong>5c<\/strong>). \u041a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f (FF) \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430\u043b\u0441\u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u044b\u043c \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 13%, \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u0430\u044f \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0440\u044c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u043e\u0442 456 \u0434\u043e 485 \u043d\u043c. \u041f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0441\u0447\u0435\u0442\u043d\u044b\u043c \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c, \u0441\u043e \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0438\u043c \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c a\/\u03bb = 0.311. \u0423\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 485 \u043d\u043c \u043d\u0435 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0442\u0430\u043a \u043a\u0430\u043a \u0438\u0445 \u0440\u0435\u0437\u043e\u043d\u0430\u043d\u0441\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0438\u043b\u0438 \u0437\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044b \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430. \u041f\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0432\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430\u043a\u0430\u0447\u043a\u0438 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043b\u0430 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0430\u043c \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u043d\u044b\u0445 PCSEL \u0441 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u044f\u043c\u0438, \u0438 \u043d\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u043b\u0430 \u0447\u0435\u0442\u043a\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438. \u0422\u0435\u043e\u0440\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 \u043d\u0430\u0438\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u0439 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0438 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043f\u0438\u043a\u0430 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u0438\u043c\u0435\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0433, \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043c\u0443 \u0441\u043e\u0432\u043f\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0443\u043c\u043e\u043c \u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430.<\/p>\n<figure class=\"\"><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/um\/dz\/d3\/umdzd3qezrkpf-wwqd1bglda3cq.png\" sizes=\"(max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/r\/w780\/webt\/um\/dz\/d3\/umdzd3qezrkpf-wwqd1bglda3cq.png 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/r\/w1560\/webt\/um\/dz\/d3\/umdzd3qezrkpf-wwqd1bglda3cq.png 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/><\/figure>\n<p><em>\u0418\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u21166<\/em><\/p>\n<p>\u041d\u0430\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0434\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430\u0431\u043b\u044e\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u043c \u043f\u043e\u043b\u0435, \u0433\u0434\u0435 \u0432\u0438\u0434\u043d\u044b \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430 \u0441 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u2264 2\u00b0 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430\u043a\u0430\u0447\u043a\u0438 14.2 \u043a\u0412\u0442\/\u0441\u043c<sup>2<\/sup>. \u0420\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u044f \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u044f\u0440\u0438\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0430\u044e\u0442 \u043d\u0430\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043a\u0430\u043a \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u043e \u043d\u0430 <strong>6b<\/strong> \u0438 <strong>6c<\/strong> \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e. \u0417\u0430 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043f\u044f\u0442\u043d\u043e\u043c \u043d\u0430 6a \u043d\u0430\u0431\u043b\u044e\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0440\u0435\u0441\u0442\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 30\u00b0, \u0443\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0434\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043b\u0435\u0431\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043d\u0435\u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435 \u043c\u043e\u0434. \u0412\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e &#171;\u043a\u0440\u0435\u0441\u0442\u0430&#187; \u043f\u043e\u043b\u044f\u0440\u0438\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b, \u043e \u0447\u0435\u043c \u0441\u0432\u0438\u0434\u0435\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0438\u0445 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0444\u043e\u043d\u0430\u0445 <strong>6b<\/strong> \u0438 <strong>6c<\/strong>. \u041d\u0430 <strong>6d<\/strong> \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u043e \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e \u0441 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043a\u0440\u0435\u0441\u0442\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438 456 \u043d\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0443\u043c\u0443 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430. \u0422\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0435\u0441\u0442\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0434\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 \u0446\u0435\u043b\u044c\u044e \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0434\u0432\u0443\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0434\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439, \u0442\u0435\u043c \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u044f 1D-\u043e\u0441\u0446\u0438\u043b\u043b\u044f\u0446\u0438\u0438. \u042d\u0442\u043e \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0447\u044c \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0441\u043b\u043e\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 (PhC) \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u0434\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f, \u043b\u0438\u0431\u043e \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0430\u043c\u043e\u0433\u043e \u0443\u0437\u043e\u0440\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430, \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0437\u043d\u0430\u043a\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u043d\u044e\u0430\u043d\u0441\u0430\u043c\u0438 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u043a\u043e\u043c\u0435\u043d\u0434\u0443\u044e \u0437\u0430\u0433\u043b\u044f\u043d\u0443\u0442\u044c \u0432 <a href=\"https:\/\/ieeexplore.ieee.org\/stamp\/stamp.jsp?arnumber=10965337\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0434\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434 \u0443\u0447\u0435\u043d\u044b\u0445<\/a>.<\/p>\n<h3>\u042d\u043f\u0438\u043b\u043e\u0433<\/h3>\n<p>\u0412 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u043d\u0430\u043c\u0438 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u0442\u0440\u0443\u0434\u0435 \u0443\u0447\u0435\u043d\u044b\u0435 \u0432\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u043d\u0443\u044e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u0443\u044e \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u044e \u043e\u0442 \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e PCSEL \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0441 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 1.5 \u043c\u043a\u043c. \u042d\u0442\u0430 \u043d\u043e\u0432\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f PCSEL, \u0432 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 (SiO<sub>2<\/sub>) \u0442\u0440\u0435\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0432\u044b\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u0440\u043e\u043b\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0435.<\/p>\n<p>\u0414\u043e\u043b\u0433\u0438\u0435 \u0433\u043e\u0434\u044b \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0430\u044f \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u0430 \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u0438\u0437\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432 VCSEL, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0441\u0435\u043c\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u043c\u0430\u0440\u0442\u0444\u043e\u043d\u0430\u0445, \u043f\u0440\u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0430\u0445, \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u0430\u0445 \u0448\u0442\u0440\u0438\u0445-\u043a\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0438 \u0442.\u00a0\u0434. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0441 2020 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u043e\u043d\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0435 \u0432\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 PCSEL \u2014 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b \u0441 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430.<\/p>\n<p>PCSEL \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u043e\u0432\u0438\u043d\u043a\u043e\u0439 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432, \u0433\u0434\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u0441 \u0436\u0435\u043b\u0430\u0435\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438: \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u044f\u0440\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0443\u0437\u043a\u0438\u043c, \u043a\u0440\u0443\u0433\u043b\u044b\u043c \u043f\u044f\u0442\u043d\u043e\u043c.<\/p>\n<p>\u041a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 PCSEL \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u044f\u043c\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0432\u0441\u0442\u0440\u0430\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0432\u043e\u043a\u0440\u0443\u0433 \u0438\u0445 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446. \u041f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0430\u0442\u043e\u043c\u044b \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0442\u0435\u043d\u0434\u0435\u043d\u0446\u0438\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u0438 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u0442\u044c \u044d\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0430\u0440\u0443\u0448\u0430\u0435\u0442 \u0446\u0435\u043b\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430. \u0410\u0432\u0442\u043e\u0440\u044b \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u0448\u0438\u043b\u0438 \u044d\u0442\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0443 \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u044b \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043d\u0430 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u044b\u0439 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b, \u0430 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiO<sub>2<\/sub>). \u041e\u043d \u0432\u044b\u0441\u0442\u0443\u043f\u0438\u043b \u0432 \u0440\u043e\u043b\u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430.<\/p>\n<p>\u0423\u0447\u0435\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0432\u0435\u0440\u0435\u043d\u044b, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u0439\u0448\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u0438\u043b\u0435\u0442\u0438\u044f \u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0434\u0430 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0444\u0435\u0440\u0430\u0445, \u043e\u0442 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0435\u0437\u043a\u0438 \u0434\u043e \u0431\u0435\u0441\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438. \u041f\u043e\u043a\u0430 \u043e\u043d\u0438 \u043d\u0430\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u044b \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0438\u0442\u044c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0443 \u043d\u0430\u0434 \u0441\u0432\u043e\u0435\u0439 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0435\u0435 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<h3>\u041d\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u043a\u043b\u0430\u043c\u044b<\/h3>\n<p>\u0421\u043f\u0430\u0441\u0438\u0431\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0441\u0442\u0430\u0451\u0442\u0435\u0441\u044c \u0441 \u043d\u0430\u043c\u0438. \u0412\u0430\u043c \u043d\u0440\u0430\u0432\u044f\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430\u0448\u0438 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438? \u0425\u043e\u0442\u0438\u0442\u0435 \u0432\u0438\u0434\u0435\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432? \u041f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0442\u0435 \u043d\u0430\u0441, \u043e\u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0432 \u0437\u0430\u043a\u0430\u0437 \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u0440\u0435\u043a\u043e\u043c\u0435\u043d\u0434\u043e\u0432\u0430\u0432 \u0437\u043d\u0430\u043a\u043e\u043c\u044b\u043c, <a href=\"https:\/\/ua-hosting.company\/servers\/vps\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u043e\u0431\u043b\u0430\u0447\u043d\u044b\u0435 VPS \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043e\u0442 $4.99<\/a>, <strong>\u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433 entry-level \u0441\u0435\u0440\u0432\u0435\u0440\u043e\u0432, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0431\u044b\u043b \u043f\u0440\u0438\u0434\u0443\u043c\u0430\u043d \u043d\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0412\u0430\u0441:<\/strong> <a href=\"https:\/\/habr.com\/company\/ua-hosting\/blog\/347386\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u0412\u0441\u044f \u043f\u0440\u0430\u0432\u0434\u0430 \u043e VPS (KVM) E5-2697 v3 (6 Cores) 10GB DDR4 480GB SSD 1Gbps \u043e\u0442 $19 \u0438\u043b\u0438 \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u044c \u0441\u0435\u0440\u0432\u0435\u0440?<\/a> (\u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u044b \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u044b \u0441 RAID1 \u0438 RAID10, \u0434\u043e 24 \u044f\u0434\u0435\u0440 \u0438 \u0434\u043e 40GB DDR4).<\/p>\n<p><strong>Dell R730xd \u0432 2 \u0440\u0430\u0437\u0430 \u0434\u0435\u0448\u0435\u0432\u043b\u0435 \u0432 \u0434\u0430\u0442\u0430-\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0435 Maincubes Tier IV \u0432 \u0410\u043c\u0441\u0442\u0435\u0440\u0434\u0430\u043c\u0435?<\/strong> \u0422\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0443 \u043d\u0430\u0441 <a href=\"https:\/\/ua-hosting.company\/servers\/dedicated\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\"><strong>2 \u0445 Intel TetraDeca-Core Xeon 2x E5-2697v3 2.6GHz 14C 64GB DDR4 4x960GB SSD 1Gbps 100 \u0422\u0412 \u043e\u0442 $199<\/strong> \u0432 \u041d\u0438\u0434\u0435\u0440\u043b\u0430\u043d\u0434\u0430\u0445! <strong>Dell R420 &#8212; 2x E5-2430 2.2Ghz 6C 128GB DDR3 2x960GB SSD 1Gbps 100TB &#8212; \u043e\u0442 $99!<\/strong><\/a> \u0427\u0438\u0442\u0430\u0439\u0442\u0435 \u043e \u0442\u043e\u043c <a href=\"https:\/\/habr.com\/company\/ua-hosting\/blog\/329618\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u041a\u0430\u043a \u043f\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0438\u0442\u044c \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u043a\u043e\u0440\u043f. \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430 c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0435\u0440\u0432\u0435\u0440\u043e\u0432 Dell R730xd \u04155-2650 v4 \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e 9000 \u0435\u0432\u0440\u043e \u0437\u0430 \u043a\u043e\u043f\u0435\u0439\u043a\u0438?<\/a><\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<p><!----><!----><\/div>\n<p><!----><!----><br \/> \u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0440\u0438\u0433\u0438\u043d\u0430\u043b \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438 <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/articles\/927804\/\"> https:\/\/habr.com\/ru\/articles\/927804\/<\/a><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<div><!--[--><!--]--><\/div>\n<div id=\"post-content-body\">\n<div>\n<div class=\"article-formatted-body article-formatted-body article-formatted-body_version-2\">\n<div xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xhtml\">\n<figure class=\"\"><\/figure>\n<p>\u041d\u0430\u0443\u0447\u043d\u0430\u044f \u0444\u0430\u043d\u0442\u0430\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043d\u0435\u0432\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439, \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0443\u0436\u0435 \u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0431\u0440\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u0432 \u043d\u0430\u0448 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0438\u0440, \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u0436\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430 \u043e\u0441\u0442\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430\u0445 \u043a\u043d\u0438\u0433. \u041a\u0430\u043a\u0438\u0435-\u0442\u043e \u0438\u0437 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u0438\u0435, \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b \u0438, \u043a\u0430\u043a \u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435, \u043d\u0435 \u0442\u0430\u043a \u043f\u043e\u043f\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b \u0441\u0440\u0435\u0434\u0438 \u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439, \u043d\u043e \u0435\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0442\u0435, \u0431\u0435\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043d\u0435\u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u0432\u044b\u0434\u0443\u043c\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0444\u0443\u0442\u0443\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043c\u0438\u0440: \u0440\u043e\u0431\u043e\u0442\u044b, \u0442\u0435\u043b\u0435\u043f\u043e\u0440\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f, \u0433\u0438\u043f\u0435\u0440\u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438, \u043a\u043b\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435, \u0433\u043e\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u044b, \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b \u0438 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0435-\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0435 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0435. \u041a\u0430\u0441\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432, \u0442\u043e \u043e\u043d\u0438 \u0432\u043e \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043c \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0438\u043b\u0438 \u043d\u0430\u0448 \u043c\u0438\u0440, \u0441\u0442\u0430\u0432 \u043d\u0435\u043e\u0442\u044a\u0435\u043c\u043b\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c\u044e \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0432 \u0431\u044b\u0442\u0443, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0432 \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445. \u0427\u0435\u043b\u043e\u0432\u0435\u043a \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0442\u044c \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u043c\u0430\u043b\u043e \u043e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430\u0445, \u043d\u043e \u043e\u0434\u043d\u043e \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0441\u0435\u0445 \u2014 \u043e\u043d\u0438 \u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u044b. \u041e\u0436\u043e\u0433\u0438 \u0438 \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u044f \u0437\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0434\u043d\u0438 \u0438\u0437 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043c \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0435 \u0441 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438, \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u044c \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432\u0430\u0440\u044c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430. \u041d\u043e \u0447\u0442\u043e \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u0442\u044c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u044b\u043c\u0438, \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0438\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0438\u0445 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c? \u0418\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u044d\u0442\u043e \u0438 \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u043b\u0438 \u0443\u0447\u0435\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0437 \u0418\u043b\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439\u0441\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0442\u0435\u0442\u0430 (\u0421\u0428\u0410). \u041e\u043d\u0438 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043b\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0439 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u0433\u043b\u0430\u0437. \u041a\u0430\u043a \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0438\u043c \u044d\u0442\u043e \u0443\u0434\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c, \u0438 \u043d\u0430 \u0447\u0442\u043e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d \u043d\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440? \u041e\u0442\u0432\u0435\u0442\u044b \u043d\u0430 \u044d\u0442\u0438 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u044b \u043c\u044b \u043d\u0430\u0439\u0434\u0435\u043c \u0432 \u0434\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u0435 \u0443\u0447\u0435\u043d\u044b\u0445.<\/p>\n<h3>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n<p>\u0424\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b \u0441 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c (PCSEL \u043e\u0442 <em>photonic-crystal surface-emitting lasers<\/em>) \u043f\u043e\u044f\u0432\u0438\u043b\u0438\u0441\u044c \u043a\u0430\u043a \u043d\u043e\u0432\u044b\u0439 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u044f \u0443\u0437\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0441\u0442\u0430, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0441 \u0442\u043e\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u043c \u0438\u043b\u0438 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0440\u0435\u0437\u043e\u043d\u0430\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0438 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (VCSEL \u043e\u0442 <em>vertical-cavity surface-emitting laser<\/em>). \u0412\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0440\u0435\u0437\u043e\u043d\u0430\u0442\u043e\u0440\u0430 \u0424\u0430\u0431\u0440\u0438-\u041f\u0435\u0440\u043e, \u0432 PCSEL \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u0432\u0443\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 (PhC \u043e\u0442 <em>photonic crystal<\/em>), \u0432\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0443\u044e \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0434\u0438\u0444\u0440\u0430\u0433\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0438 \u0441\u0432\u044f\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0432\u0435\u0442, \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044f \u0434\u0432\u0443\u043c\u0435\u0440\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u043e\u044f\u0447\u0443\u044e \u0432\u043e\u043b\u043d\u0443, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0437\u0430\u0442\u0435\u043c \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c. \u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u043d\u043e\u0439 \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0438 PhC \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438, \u0432 \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044f \u043e\u0434\u043d\u0443 \u0433\u0430\u0443\u0441\u0441\u043e\u0432\u0443 \u043c\u043e\u0434\u0443 \u043d\u0430 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b.<\/p>\n<p>PhC \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u0442\u044c \u0435\u0434\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u0433\u0430\u0443\u0441\u0441\u043e\u0432\u0443 \u043c\u043e\u0434\u0443 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0440\u0435\u0437\u043e\u043d\u0430\u0442\u043e\u0440\u0430 PCSEL. \u0422\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e PCSEL \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u0430 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0434\u044b, \u0447\u0442\u043e, \u0432 \u0441\u0432\u043e\u044e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u044c, \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u044f\u0440\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430. \u0420\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 PCSEL \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 GaAs \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u0443\u044e \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u043e\u0432 \u0432\u0430\u0442\u0442 \u043f\u0440\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 1\u00b0. \u0414\u043b\u044f \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f: VCSEL \u0441 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0433\u0430\u0443\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0434\u043e\u0439 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u0432 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u0442 \u043f\u0440\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 6 \u0434\u043e 11\u00b0. \u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0442\u0430\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f PCSEL \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u044f\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438\u0432\u043b\u0435\u043a\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u0431\u0435\u0437 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u043d\u0437 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439, \u043a\u0430\u043a LiDAR, \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0432\u044f\u0437\u044c, \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f. \u0414\u043b\u044f \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0430\u0445 \u0434\u043b\u0438\u043d \u0432\u043e\u043b\u043d \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 PCSEL \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u044f\u0447\u0435\u0435\u043a \u0438 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438.<\/p>\n<figure class=\"\"><\/figure>\n<p><em>\u0418\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u21161<\/em><\/p>\n<p>\u041d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 PCSEL \u043f\u0435\u0440\u0435\u043e\u0441\u043c\u044b\u0441\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044b \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f \u043e\u0434\u0438\u043d\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f. \u0420\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0443\u0436\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u043e \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 50 \u0412\u0442 \u0432 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 \u0441 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0443\u0433\u043b\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 0.05\u00b0 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e PCSEL, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043e \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 400 \u0412\u0442 \u0432 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u0430 \u0438\u0437 \u0434\u0435\u0432\u044f\u0442\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 PCSEL \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 940 \u043d\u043c. \u042d\u0442\u0438 PCSEL \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 GaAs \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b, \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0432 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c, \u0438, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b (MOCVD \u043e\u0442 <em>metal-organic chemical vapor deposition<\/em>). \u0422\u0440\u0435\u0445\u043c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0430 \u043a\u0430\u043a \u043d\u0430 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u0432\u044b\u0441\u0448\u0438\u0435 \u043c\u043e\u0434\u044b \u0438 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u0442\u044c \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044f\u0445. \u0414\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0434\u0438\u043d\u0430\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445, \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 (<strong>1a<\/strong>) \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0443\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b, \u043a\u0430\u043a \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 V\/III, \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430, \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430, \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u044f \u0438 \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0432\u0430\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u043e\u0439.<\/p>\n<p>PCSEL \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 InP (\u0444\u043e\u0441\u0444\u0438\u0434\u0430 \u0438\u043d\u0434\u0438\u044f), \u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0432\u0441\u0435 \u0435\u0449\u0435 \u0437\u0430\u043c\u0435\u0442\u043d\u043e \u043e\u0442\u0441\u0442\u0430\u044e\u0442 \u043f\u043e \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 GaAs \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b. \u041f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 InP \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0436\u0435\u043d\u044b \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0430\u043c \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0438 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u0441\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0435\u043c. \u041d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f \u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0438\u043b\u0438 \u043e \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u0445 \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0435\u0439 \u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0432 \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0438 InP-PCSEL, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u044d\u0442\u0438\u043c \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u044b\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u043e\u043c. \u0421\u0440\u0435\u0434\u0438 \u0437\u0430\u0444\u0438\u043a\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u2014 \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u044f \u043a\u0440\u0443\u0433\u043b\u044b\u0445 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0439 \u0432 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b, \u043d\u0435\u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0435 \u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u0445, \u0430\u0441\u0438\u043c\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0441\u043a\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0443 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u0430 \u0438 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u044f\u0449\u0438\u0435 \u043e\u0442 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0439. \u0422\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043d\u0435\u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0437\u0430\u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u044f\u044e\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044e \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0439. \u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u044d\u0442\u0430 \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043d\u0435\u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0438\u0442\u043e\u0433\u0435 \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0430\u0435\u0442 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430.<\/p>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u044b \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u043e\u0436\u0438\u043b\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044e PCSEL \u0441 \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u043c (<strong>1b<\/strong>), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 (PhC) \u043d\u0430 \u0432\u0441\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u0442\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445. \u0425\u043e\u0442\u044f \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u0430\u0441\u0442 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438, \u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u043e\u0441\u043b\u0430\u0431\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0434\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0434\u0432\u0443\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u044b \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438, \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0436\u0435\u043d\u044b \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u044f\u043c \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b, \u043e\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u0432\u044b\u0448\u0435.<\/p>\n<p>\u0422\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 PhC \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u0436\u0443\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 PhC \u0441 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u044f\u043c\u0438 (\u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u0430\u0441\u0442) \u0438 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 PhC (\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0435 \u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e \u0438 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435\u0439 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e), \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0438\u0437\u0431\u0435\u0433\u0430\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0438\u043d\u0434\u0443\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043d\u0430\u0431\u043b\u044e\u0434\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0432 \u043e\u0431\u043e\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0438\u0445 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u0430\u0445. \u041c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0434\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f (LEO \u043e\u0442 <em>lateral epitaxial overgrowth<\/em>) \u0441 \u00ab\u0443\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c\u00bb \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0440\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0431\u044b\u043b \u043f\u0440\u043e\u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d \u0432 GaAs \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e MBE (\u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e-\u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438) \u0435\u0449\u0435 \u0432 2019 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0432 \u0442\u0440\u0443\u0434\u0435 \u00ab<a href=\"https:\/\/pubs.acs.org\/doi\/10.1021\/acs.cgd.8b01671\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">High-Quality GaAs Planar Coalescence over Embedded Dielectric Microstructures Using an All-MBE Approach<\/a>\u00bb. \u0410\u0432\u0442\u043e\u0440\u044b \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043c\u0438 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435\u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u0430\u0434\u0430\u043f\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 LEO \u0434\u043b\u044f InP \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 MBE.<\/p>\n<p>\u0412 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u0442\u0440\u0443\u0434\u0435 \u043e\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u0430\u044f \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u0430 \u0432 PCSEL \u0441 \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u043c, \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0449\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 1.5 \u043c\u043a\u043c. \u042d\u0442\u043e \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0439 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0439 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440 \u0441 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438\u043d\u043a\u0430\u043f\u0441\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438, \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b.<\/p>\n<h3>\u0420\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n<figure class=\"\"><\/figure>\n<p><em>\u0418\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u21162<\/em><\/p>\n<p>\u0412\u044b\u0448\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f PCSEL \u0441 \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u043c \u0438 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0430\u044f \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0422\u0415-\u043c\u043e\u0434\u0430 (\u043f\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u043d\u043e-\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043c\u043e\u0434\u0430). \u0412 \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u0435, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0442\u044c \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u0430\u0441\u0442 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u0432 \u0441\u043b\u043e\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 (PhC). \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0431\u044b\u043b \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a SiO<sub>2<\/sub> (\u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f). \u0412 \u043f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0435\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0435 \u0443\u0447\u0435\u043d\u044b\u0445 \u0431\u044b\u043b\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0434\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f PCSEL \u0438 \u0437\u0430\u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e \u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043f\u043e\u043d\u0442\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u043c\u043e\u0434\u044b (<em>modal overlap<\/em>) \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0434\u043e\u0439 \u0438 \u0441\u043b\u043e\u0435\u043c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430. \u042d\u0442\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043a\u0430\u043a \u043e\u0442 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 PhC \u0438 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u043e\u0442 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f (FF, <em>fill factor<\/em> \u2014 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u043d\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438, \u0437\u0430\u043d\u044f\u0442\u043e\u0439 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u043c, \u043e\u0442 \u043e\u0431\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u043d\u043e\u0439 \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0438 PhC).<\/p>\n<p>\u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 FF \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 PhC, \u0447\u0442\u043e \u0432\u0435\u0434\u0435\u0442 \u043a \u0432\u044b\u0442\u0435\u0441\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0434\u044b \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f. \u0412 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u0441 \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u043c FF \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043b\u0435\u0433\u043a\u043e \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c, \u0432 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043e\u0442 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439, \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u044f\u0442 \u043e\u0442 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0438 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438. \u0421\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0442\u043c\u0435\u0442\u0438\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 FF \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u044c \u043c\u043e\u0434\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435 \u0441 PhC. \u0412 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f PhC \u0441 FF = 13%, \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430 50 \u043d\u043c \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438, \u0440\u0430\u0441\u0447\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435 \u0441 \u043c\u043e\u0434\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 8%.<\/p>\n<figure class=\"\"><\/figure>\n<p><em>\u0418\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u21163<\/em><\/p>\n<p>\u0423\u0447\u0435\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0438\u043b\u0438 \u0437\u0430\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 PCSEL-\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b \u0441 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f (FF) 10% \u0438 13% \u0434\u043b\u044f \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0441 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0430\u0441\u043e\u0441\u043e\u043c, \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443, \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0432\u044b\u0448\u0435. \u0411\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f InP-\u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u044f \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0430 \u043d\u0430 n-\u0442\u0438\u043f\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435. \u0412\u043e\u043b\u043d\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434 \u0438\u0437 InGaAlAs \u0441 \u043a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u044f\u043c\u0430\u043c\u0438, \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 15xx \u043d\u043c, \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u21162. \u0421\u043b\u043e\u0439 SiO<sub>2<\/sub> \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 214 \u043d\u043c \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e-\u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b (PECVD \u043e\u0442 <em>plasma-enhanced chemical vapor deposition<\/em>), \u0430 \u0443\u0437\u043e\u0440\u044b \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 (PhC) \u0441 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a \u0441\u0443\u0445\u0438\u043c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c. \u041f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0440\u044c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u0440\u043e\u0447\u0435 \u0438 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043d\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f a = 480 \u043d\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 15xx \u043d\u043c.<\/p>\n<p>\u0414\u0430\u043b\u0435\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0448\u0430\u0433 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f <\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[],"tags":[],"class_list":["post-467943","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/467943","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=467943"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/467943\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=467943"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=467943"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=467943"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}