{"id":481703,"date":"2026-05-30T15:02:39","date_gmt":"2026-05-30T15:02:39","guid":{"rendered":"https:\/\/savepearlharbor.com\/?p=481703"},"modified":"-0001-11-30T00:00:00","modified_gmt":"-0001-11-29T21:00:00","slug":"","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/savepearlharbor.com\/?p=481703","title":{"rendered":"\u042d\u0432\u043e\u043b\u044e\u0446\u0438\u044f \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434 \u043a \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0435 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f"},"content":{"rendered":"<div xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1999\/xhtml\">\n<h3>\u0424\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 FinFET \u043d\u0430 \u0441\u0443\u0431-3-\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0440\u0443\u0431\u0435\u0436\u0430\u0445<\/h3>\n<p>\u041d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0442\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0447\u0435\u043c \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u0438\u043b\u0435\u0442\u0438\u044f \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0441 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u043c (Fin Field-Effect Transistor, <a href=\"https:\/\/ru.wikipedia.org\/wiki\/FinFET\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">FinFET<\/a>) \u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u043b\u0430 \u0433\u043b\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438.<sup> <\/sup> \u0412\u043d\u0435\u0434\u0440\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043d\u0430 \u0443\u0437\u043b\u0435 22 \u043d\u043c \u0432 2011 \u0433\u043e\u0434\u0443, \u043e\u043d\u0430 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u043b\u0430 \u043f\u0440\u0435\u043e\u0434\u043e\u043b\u0435\u0442\u044c \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0435\u0445\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u043d\u0435\u0433\u043e \u043e\u0445\u0432\u0430\u0442\u0430 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u043c. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u043d\u0438\u0436\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b 3 \u043d\u043c \u0432\u044b\u044f\u0432\u0438\u043b\u043e \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438 FinFET.<\/p>\n<p>\u041f\u0440\u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u044f\u0442\u0441\u044f \u0441\u043b\u0438\u0448\u043a\u043e\u043c \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c\u0438. \u042d\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u0435 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u043d\u0430\u0434 \u043d\u0438\u0436\u043d\u0435\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c\u044e \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430, \u043f\u0440\u0438\u043b\u0435\u0433\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043a \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435. \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0435 \u0441\u0442\u043e\u043a\u0430 \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430\u0442\u044c \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e \u0432 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b, \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u044f \u043d\u0435\u0436\u0435\u043b\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u0430, \u0438\u043d\u0434\u0443\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c (Drain-Induced Barrier Lowering, DIBL). \u0421\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u043d\u043e\u0432\u0435\u043d\u0438\u0435 &#171;\u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u043a\u043e\u043b\u0430&#187; (punch-through) &#8212; \u043f\u0430\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0443\u0442\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0435\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043a\u0430 \u0432 \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0434 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u043c, \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0447\u0435\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440 \u043d\u0435\u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u044c.<\/p>\n<p>\u0414\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0434\u0435\u0433\u0440\u0430\u0434\u0430\u0446\u0438\u044e \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u043e-\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0442\u0443\u043d\u043d\u0435\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0438 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 1.5 \u043d\u043c \u0438 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u0442\u043e\u043a\u043e\u0432 \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0438 \u0441\u0442\u043e\u043a\u0430, \u0438\u043d\u0434\u0443\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u043c (Gate-Induced Drain Leakage, GIDL). \u041f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u043e\u0434\u043f\u043e\u0440\u043e\u0436\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043a\u043b\u043e\u043d\u0430 (Subthreshold Swing, SS), \u043e\u043f\u0438\u0441\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 &#171;\u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u043e&#187; \u0438 &#171;\u0432\u044b\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u043e&#187;, \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 60-70 <a href=\"https:\/\/en.wikipedia.org\/wiki\/Decade_(log_scale)\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">\u043c\u0412\/\u0434\u0435\u043a\u0430\u0434\u0443<\/a> \u0434\u043e \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 80-100 \u043c\u0412\/\u0434\u0435\u043a\u0430\u0434\u0443. \u0412 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0435\u0442 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e, \u0430 \u043d\u0435\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442, \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u044f \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u043e\u0434\u043e\u043b\u0438\u043c\u044b\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440.<\/p>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043d\u0430\u0434 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430 \u043d\u0430 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u0432\u0435\u0434\u0443\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0448\u043b\u0438 \u043a \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 (Gate-All-Around, GAA). \u041a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043f\u0446\u0438\u044f GAAFET \u0431\u0430\u0437\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0449\u0435\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0435\u0434\u0438\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u043e\u043f\u043a\u0443 \u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 (nanosheets) \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0435\u043d\u0442 (nanoribbons), \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043e\u043a\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u043c \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u043c\u0443 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440\u0443 \u043d\u0430 360\u00b0. \u042d\u0442\u043e \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442 \u043f\u0430\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0443\u0442\u0438 \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0438 \u0432 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0443 \u0438 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b.<\/p>\n<p>\u0418\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u043e\u043f\u043a\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (<img decoding=\"async\" class=\"formula inline\" source=\"\\text{Si}\" alt=\"\\text{Si}\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/b\/bc\/bcd\/bcdde386cb69d8bffe024813b8c5f23c.svg\" width=\"12\" height=\"16\" data-width=\"1.887\" data-height=\"2.262\" data-vertical-align=\"-0.566\" sizes=\"auto, (max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/b\/bc\/bcd\/bcdde386cb69d8bffe024813b8c5f23c.svg 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/b\/bc\/bcd\/bcdde386cb69d8bffe024813b8c5f23c.svg 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/>) \u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439-\u0433\u0435\u0440\u043c\u0430\u043d\u0438\u044f (<img decoding=\"async\" class=\"formula inline\" source=\"\\text{SiGe}\" alt=\"\\text{SiGe}\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/d\/dc\/dc7\/dc760ad642cb3968ce5c8c393423de09.svg\" width=\"32\" height=\"16\" data-width=\"4.667\" data-height=\"2.262\" data-vertical-align=\"-0.566\" sizes=\"auto, (max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/d\/dc\/dc7\/dc760ad642cb3968ce5c8c393423de09.svg 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/d\/dc\/dc7\/dc760ad642cb3968ce5c8c393423de09.svg 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/>) \u0441 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 <img decoding=\"async\" class=\"formula inline\" source=\"\\text{SiGe}\" alt=\"\\text{SiGe}\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/d\/dc\/dc7\/dc760ad642cb3968ce5c8c393423de09.svg\" width=\"32\" height=\"16\" data-width=\"4.667\" data-height=\"2.262\" data-vertical-align=\"-0.566\" sizes=\"auto, (max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/d\/dc\/dc7\/dc760ad642cb3968ce5c8c393423de09.svg 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/d\/dc\/dc7\/dc760ad642cb3968ce5c8c393423de09.svg 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/> \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432. \u041d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0437\u043b\u0430\u0445 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f <img decoding=\"async\" class=\"formula inline\" source=\"\\text{SiGe}\" alt=\"\\text{SiGe}\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/d\/dc\/dc7\/dc760ad642cb3968ce5c8c393423de09.svg\" width=\"32\" height=\"16\" data-width=\"4.667\" data-height=\"2.262\" data-vertical-align=\"-0.566\" sizes=\"auto, (max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/d\/dc\/dc7\/dc760ad642cb3968ce5c8c393423de09.svg 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/d\/dc\/dc7\/dc760ad642cb3968ce5c8c393423de09.svg 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/>-\u043a-<img decoding=\"async\" class=\"formula inline\" source=\"\\text{Si}\" alt=\"\\text{Si}\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/b\/bc\/bcd\/bcdde386cb69d8bffe024813b8c5f23c.svg\" width=\"12\" height=\"16\" data-width=\"1.887\" data-height=\"2.262\" data-vertical-align=\"-0.566\" sizes=\"auto, (max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/b\/bc\/bcd\/bcdde386cb69d8bffe024813b8c5f23c.svg 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/b\/bc\/bcd\/bcdde386cb69d8bffe024813b8c5f23c.svg 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/> \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0442\u044c \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 <img decoding=\"async\" class=\"formula inline\" source=\"150:1\" alt=\"150:1\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/c\/c8\/c81\/c81543b65aa354d6cb733151f5cb60d7.svg\" width=\"48\" height=\"12\" data-width=\"6.411\" data-height=\"1.557\" data-vertical-align=\"-0.05\" sizes=\"auto, (max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/c\/c8\/c81\/c81543b65aa354d6cb733151f5cb60d7.svg 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/c\/c8\/c81\/c81543b65aa354d6cb733151f5cb60d7.svg 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/>, \u0447\u0442\u043e \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0442\u043e\u043d\u0447\u0430\u0439\u0448\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432. \u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0434\u043b\u044f \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0430\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0435\u043c\u043a\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u043c \u0438 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044f\u043c\u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u043a\u0430-\u0441\u0442\u043e\u043a\u0430 \u0432\u043d\u0435\u0434\u0440\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0441\u0438\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438 (low-k inner spacers).<\/p>\n<h3>\u041f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f GAA-\u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440: MBCFET, RibbonFET \u0438 \u0433\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b<\/h3>\n<p>\u0412\u0435\u0434\u0443\u0449\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u044b \u043a \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 GAA-\u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440, \u0431\u0430\u043b\u0430\u043d\u0441\u0438\u0440\u0443\u044f \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0440\u0438\u0441\u043a\u043e\u043c \u0438 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<h4>\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f MBCFET (Samsung Electronics)<\/h4>\n<p>Samsung Electronics \u0441\u0442\u0430\u043b\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u043c \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c, \u0432\u043d\u0435\u0434\u0440\u0438\u0432\u0448\u0438\u043c GAA \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0443\u0437\u043b\u0435 3 \u043d\u043c \u0432 \u0438\u044e\u043d\u0435 2022 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u043f\u043e\u0434 \u043c\u0430\u0440\u043a\u043e\u0439 MBCFET (Multi-Bridge-Channel FET). \u0410\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 MBCFET \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u044b, \u0447\u0442\u043e \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044c \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u0441 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u043c. \u041f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 7-\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u044b\u043c \u0443\u0437\u043b\u043e\u043c FinFET \u043f\u0435\u0440\u0432\u0430\u044f \u0438\u0442\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f MBCFET \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u043b\u0430 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u043d\u0430 45%, \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 <img decoding=\"async\" class=\"formula inline\" source=\"50\\%\" alt=\"50\\%\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/4\/41\/41e\/41ead7596ef91793d9bdd31c66657393.svg\" width=\"32\" height=\"16\" data-width=\"4.147\" data-height=\"2.262\" data-vertical-align=\"-0.566\" sizes=\"auto, (max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/4\/41\/41e\/41ead7596ef91793d9bdd31c66657393.svg 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/4\/41\/41e\/41ead7596ef91793d9bdd31c66657393.svg 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/> \u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430 35%. \u041d\u0430\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043e\u043f\u044b\u0442 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u043b Samsung \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u0438 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044e \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0443\u0437\u043b\u0435 2 \u043d\u043c (SF2), \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432\u044b\u0438\u0433\u0440\u044b\u0448 \u0432 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<h4>\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f RibbonFET (Intel)<\/h4>\n<p>\u0412\u043d\u0435\u0434\u0440\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043d\u0430 \u0443\u0437\u043b\u0435 Intel 18A \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 RibbonFET \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u0441\u0442\u043e\u043f\u043a\u0443 \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0435\u043d\u0442, \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u0430 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0432 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u043c \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u0435 (EUV) \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13.5 \u043d\u043c. Intel \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0443\u0435\u0442 \u0441\u0438\u043c\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0443\u044e \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044e \u043a\u0430\u043a \u0434\u043b\u044f NMOS, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0434\u043b\u044f PMOS \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u0430 \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b (CFET), \u0433\u0434\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b \u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0449\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0434\u0440\u0443\u0433 \u043d\u0430\u0434 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u043c. \u0414\u043b\u044f \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u044f\u0447\u0435\u0435\u043a SRAM Intel \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u0443\u044e \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044f\u0446\u0438\u044e \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u044b \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0435\u043d\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u043e \u0432\u0441\u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0446\u0435\u043f\u044f\u0445 \u043a\u043e\u0440\u0440\u0435\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f (read-assist).<\/p>\n<h4>\u0413\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u0430\u044f \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 N2 (TSMC)<\/h4>\n<p>\u0412 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043e\u0442 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f TSMC \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043b\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0435\u0440\u0432\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u0443\u044e \u0433\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0435\u0433\u0438\u044e \u0434\u043b\u044f \u0441\u0432\u043e\u0435\u0433\u043e \u0441\u0442\u0430\u0440\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e 2-\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0443\u0437\u043b\u0430 N2 \u0441 \u0446\u0435\u043b\u044c\u044e \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0438\u0441\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430 \u0433\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432. \u0412 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0431\u043b\u043e\u043a\u0430\u0445 \u0438 \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0430\u0445 \u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 (SRAM) \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b GAA \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e.<\/p>\n<p>\u0412 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u0439 \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0435 6T-SRAM \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u044b GAA \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432 NMOS-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445 (\u0441\u0442\u0440\u043e\u0431\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0438 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445, \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445 4 \u0438\u0437 6 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0438), \u0432 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a PMOS-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u044e\u0442 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044e FinFET. \u041c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u0430 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0441\u0443\u043c\u043c\u043e\u0439 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u044b \u043f\u043b\u0430\u0432\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0438 \u043c\u0435\u0436\u043f\u043b\u0430\u0432\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u0448\u0430\u0433\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u042d\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0443\u0441\u0442\u043e\u044f\u0432\u0448\u0443\u044e\u0441\u044f \u043a\u043e\u043e\u0440\u0434\u0438\u043d\u0430\u0442\u043d\u0443\u044e \u0441\u0435\u0442\u043a\u0443 FinFET \u0431\u0435\u0437 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0438 \u0431\u0438\u0431\u043b\u0438\u043e\u0442\u0435\u043a \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<div>\n<div class=\"table\">\n<table>\n<tbody>\n<tr>\n<td>\n<p align=\"left\"><strong>\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440<\/strong><\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\"><strong>Intel RibbonFET (18A) <\/strong><\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\"><strong>TSMC N2 (GAA) <\/strong><\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\"><strong>Samsung MBCFET (SF2) <\/strong><\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\n<p align=\"left\"><strong>\u0413\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430<\/strong><\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u041d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0435\u043d\u0442\u044b \u0441 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u044b \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 EUV (13.5 \u043d\u043c).<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u041d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u044b \u0441 \u0444\u0438\u043a\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u043e\u0439, \u043f\u0440\u0438\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a \u0448\u0430\u0433\u0443 FinFET.<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u0428\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u044b (\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438) \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u044b.<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\n<p align=\"left\"><strong>\u0420\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f PMOS<\/strong><\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">GAA-\u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0435\u043d\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0432\u0441\u0435\u0445 \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043b\u043e\u0433\u0438\u043a\u0438.<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u0422\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f FinFET \u0434\u043b\u044f PMOS \u0432 \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0430\u0445 SRAM.<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u041f\u043e\u043b\u043d\u0430\u044f GAA-\u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f NMOS \u0438 PMOS.<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\n<p align=\"left\"><strong>\u0410\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 SRAM<\/strong><\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u041f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 3D-\u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0438.<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u041f\u043b\u043e\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0441 \u0437\u0430\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432 NMOS-\u0440\u0435\u0433\u0438\u043e\u043d\u0430\u0445.<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u041f\u043b\u043e\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0441 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438.<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\n<p align=\"left\"><strong>\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0438\u043b\u044b \u0442\u043e\u043a\u0430<\/strong><\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u041f\u043b\u0430\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u044b \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0435\u043d\u0442.<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u0414\u0438\u0441\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0432 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0441\u0442\u0435\u043a\u0435.<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u0418\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u044b \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432.<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\n<p align=\"left\"><strong>\u0418\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f CFET \u0432 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u0430\u0445<\/strong><\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b \u043d\u0430 3D-\u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u044b \u0438 3T eDRAM \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0438 \u0441\u043e \u0441\u0442\u0435\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c (2024).<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u041e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0432 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u0430\u0445 \u0443\u0437\u043b\u0430 N2 (\u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0438\u0435 Angstrom-\u0441\u0435\u043c\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430).<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f\u044b 3D-\u0441\u0442\u0435\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 (3DSFET).<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<h3>\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f (BSPDN) \u043a\u0430\u043a \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b &#171;\u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0443\u043f\u0438\u043a\u0430&#187;<\/h3>\n<p>\u0418\u0441\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0430 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u044f\u043b\u0438\u0441\u044c \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441 \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b. \u0421 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u043c \u0438\u0445 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u044d\u0442\u0430 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u043b\u0430 \u043a \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u0443\u0437\u043a\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u0441\u0442\u0430 \u0432 \u0441\u043b\u043e\u044f\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 BEOL (Back-End-of-Line). \u0421\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 \u0432\u044b\u043d\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u044b \u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u044c \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e \u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432.<\/p>\n<p>\u041f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0442\u043e\u043a \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u043f\u0440\u043e\u0439\u0442\u0438 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0443 \u0432\u043d\u0438\u0437 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 15 \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441\u043e \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c, \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f (IR-drop), \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 7-10% \u043e\u0442 \u043d\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u043b\u0430. \u042d\u0442\u043e \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0430\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n<p>\u0421\u0435\u0442\u044c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f (Backside Power Delivery Network, BSPDN) \u0440\u0430\u0434\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0435\u0448\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0442\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0443 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0446\u0435\u043f\u0435\u0439 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438. \u0412\u0441\u0435 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0448\u0438\u043d\u044b \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u0443\u044e (\u0442\u044b\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e) \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430, \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044f \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u0443\u044e \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0443 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<pre><code>\u0422\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 (FSPDN)             \u041e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0430 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f (BSPDN)\u250c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2510                \u250c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2510\u2502     \u0412\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 BEOL     \u2502                \u2502 \u0421\u043b\u043e\u0438 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 BEOL      \u2502\u2502 (\u0421\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044b + \u0428\u0438\u043d\u044b \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f)  \u2502                \u2502    (\u0422\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044b)       \u2502\u251c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2524                \u251c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2524\u2502 \u0410\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432\u2502                \u2502 \u0410\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432\u2502\u251c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2524                \u251c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2524\u2502    \u041a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430    \u2502                \u2502 \u0423\u0442\u043e\u043d\u0447\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430 + nTSV\u2502\u2514\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2518                \u251c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2524                                             \u2502 \u0421\u043b\u043e\u0438 \u0442\u044b\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 PDN  \u2502                                             \u2502    (\u0422\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u0435)       \u2502                                             \u2514\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2518<\/code><div class=\"code-explainer\"><a href=\"https:\/\/sourcecraft.dev\/\" class=\"tm-button code-explainer__link\" style=\"visibility: hidden;\"><img style=\"width:87px;height:14px;object-fit:cover;object-position:left;\"\/><\/a><\/div><\/pre>\n<p>\u041f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0435\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0443 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0440\u044f\u0434 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u0421\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e &lt;1%:<\/strong> \u0421\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0435 \u043d\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u044b \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u043c\u0438 \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0434\u0435\u043b\u0430\u0442\u044c \u0438\u0445 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0448\u0438\u0440\u0435, \u0442\u043e\u043b\u0449\u0435 \u0438 \u0441 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u043c \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0423\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044f\u0447\u0435\u0435\u043a \u043d\u0430 15-30%:<\/strong> \u0423\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0446\u0435\u043f\u0435\u0439 \u0438 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0441 \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0442\u044c \u0448\u0430\u0433 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 \u044f\u0447\u0435\u0435\u043a \u0438 \u0434\u043e\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e 90% \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u041f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u043d\u0430 4-6%:<\/strong> \u0417\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0430\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u0432\u043e\u0434\u043e\u043a \u043e\u0442 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0435\u043c\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044b \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u0435\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u043e\u043c \u0436\u0435 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<h4>\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u044b \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 BSPDN<\/h4>\n<p>\u0412 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441\u043e\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u044b\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0435\u0442\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435\u043c \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0432\u044b\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0434\u0432\u0430 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430:<\/p>\n<ol>\n<li>\n<p><strong>\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432 (nTSV):<\/strong> \u042d\u0442\u043e\u0442 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u043b\u0435\u0436\u0438\u0442 \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 PowerVia \u043e\u0442 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 Intel. \u041d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043c \u044d\u0442\u0430\u043f\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b. \u0417\u0430\u0442\u0435\u043c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0432\u043e\u0440\u0430\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0435\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a \u043d\u0435\u0441\u0443\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435 \u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u043d\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441 \u0442\u044b\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b. \u041f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0441 \u0442\u044b\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043f\u0440\u043e\u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0437\u043a\u0438\u0435 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c 100-500 \u043d\u043c \u0438 \u0433\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043e 1-2 \u043c\u043a\u043c (nTSV), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043c (\u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u043e\u043c \u0438\u043b\u0438 \u0440\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c) \u0438 \u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0441\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u0435 \u0448\u0438\u043d\u044b \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f (Buried Power Rails, BPR), \u043f\u0440\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043b\u043b\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u043c \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0430\u043c. \u041c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0443\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0441\u043e\u043a, \u043d\u043e \u043d\u0430\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044e BPR.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u041f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442 \u0441 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b (Direct Backside Contact):<\/strong> \u042d\u0442\u043e\u0442 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043d TSMC \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 Super Power Rail (SPR) \u043d\u0430 \u0443\u0437\u043b\u0435 A16. \u0412 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0435 \u0441\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u0435 \u0448\u0438\u043d\u044b \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442. \u0421\u0438\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u0441\u0435\u0442\u044c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043f\u043e\u0434\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u043a \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044f\u043c \u0438\u0441\u0442\u043e\u043a\u0430 \u0438 \u0441\u0442\u043e\u043a\u0430 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0442\u043e\u043d\u0447\u0430\u0439\u0448\u0438\u0435 \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u044b \u0431\u0435\u0437 \u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u0436\u0443\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0432\u0435\u043d\u044c\u0435\u0432. \u042d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0430\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432, \u043d\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0438 \u0442\u044b\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b.<\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<div>\n<div class=\"table\">\n<table>\n<tbody>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"246\" width=\"246\">\n<p align=\"left\"><strong>\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440<\/strong><\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\"><strong>\u0421\u043a\u0432\u043e\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u044b \u043a BPR (Intel PowerVia) <\/strong><\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\"><strong>\u041f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0439 \u0442\u044b\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442 (TSMC Super Power Rail) <\/strong><\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"246\" width=\"246\">\n<p align=\"left\"><strong>\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430<\/strong><\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">nTSV \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0441\u043e \u0441\u043a\u0440\u044b\u0442\u043e\u0439 \u0448\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f (BPR), \u043f\u0440\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432.<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u041d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0448\u0438\u043d\u044b \u0441 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044f\u043c\u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u043a\u0430 \u0438 \u0441\u0442\u043e\u043a\u0430 GAA-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432.<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"246\" width=\"246\">\n<p align=\"left\"><strong>\u0414\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u0430<\/strong><\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">100-500 \u043d\u043c \u0434\u043b\u044f nTSV.<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u044f\u043c\u044b\u0435 \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043e\u043a\u043d\u0430 \u0431\u0435\u0437 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u0436\u0443\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 nTSV.<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"246\" width=\"246\">\n<p align=\"left\"><strong>\u041f\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f (IR-drop)<\/strong><\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u0421\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 30% \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0445\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0438.<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u041c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u0436\u0443\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td data-colwidth=\"246\" width=\"246\">\n<p align=\"left\"><strong>\u0423\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u044f\u0447\u0435\u0435\u043a<\/strong><\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u0414\u043e 10% \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0440\u0430\u0441\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u043d\u0430 \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0435.<\/p>\n<\/td>\n<td>\n<p align=\"left\">\u0414\u043e 10-12% \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0439 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0438 \u0431\u0435\u0437 \u0441\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u0445 \u0448\u0438\u043d.<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n<h3>\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u044b \u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0432\u044b\u0437\u043e\u0432 BSPDN<\/h3>\n<p>\u0420\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0441\u0435\u0442\u0435\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0432\u043d\u0435\u0434\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432, \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0430\u0449\u0438\u0445 \u0441 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u043c\u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c\u0438 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430\u043c\u0438 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f BSPDN \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f:<\/p>\n<ol>\n<li>\n<p>\u0421\u0431\u043e\u0440\u043a\u0430 \u043f\u0430\u043a\u0435\u0442\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f (fusion bonding) \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0441 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u0432\u0441\u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043d\u0435\u0441\u0443\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b (carrier wafer) \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439-\u043a\u0430\u0440\u0431\u043e\u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 (<img decoding=\"async\" class=\"formula inline\" source=\"\\text{SiCN}\" alt=\"\\text{SiCN}\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/e\/ef\/efd\/efdfd7dcd2cd45f84ba7af1176e5fe01.svg\" width=\"40\" height=\"16\" data-width=\"5.217\" data-height=\"2.262\" data-vertical-align=\"-0.566\" sizes=\"auto, (max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/e\/ef\/efd\/efdfd7dcd2cd45f84ba7af1176e5fe01.svg 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/e\/ef\/efd\/efdfd7dcd2cd45f84ba7af1176e5fe01.svg 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/>) \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0441 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u043e\u0442\u0436\u0438\u0433\u043e\u043c \u043f\u0440\u0438 250\u00b0C.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u042d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0442\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0441 \u0442\u044b\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438 \u0433\u0440\u0443\u0431\u043e\u0433\u043e \u0448\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u043e-\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 (CMP) \u0438 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0436\u0438\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e\/\u0441\u0443\u0445\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u0441\u043a\u0440\u044b\u0442\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u043e\u043f-\u0441\u043b\u043e\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439-\u0433\u0435\u0440\u043c\u0430\u043d\u0438\u044f (<img decoding=\"async\" class=\"formula inline\" source=\"\\text{SiGe}\" alt=\"\\text{SiGe}\" src=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/d\/dc\/dc7\/dc760ad642cb3968ce5c8c393423de09.svg\" width=\"32\" height=\"16\" data-width=\"4.667\" data-height=\"2.262\" data-vertical-align=\"-0.566\" sizes=\"auto, (max-width: 780px) 100vw, 50vw\" srcset=\"https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/d\/dc\/dc7\/dc760ad642cb3968ce5c8c393423de09.svg 780w,&#10;       https:\/\/habrastorage.org\/getpro\/habr\/formulas\/d\/dc\/dc7\/dc760ad642cb3968ce5c8c393423de09.svg 781w\" loading=\"lazy\" decode=\"async\"\/>). \u0422\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430\u0434 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e 5-10 \u043c\u043a\u043c.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u041b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d (through-Si alignment) \u0441 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432 nTSV \u0438 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043c.<\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<p>\u0423\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u044d\u0442\u0430\u043f\u044b \u043f\u043e\u0440\u043e\u0436\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0441\u0435\u0440\u044c\u0435\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 \u0432 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u0442\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043b\u0441\u0442\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0442\u044b\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0435 \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043a\u043e\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u0441\u043a\u0430 (warpage), \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u044b\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0430\u044f\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b.<\/p>\n<p>\u0420\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u0432 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0445 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f (\u041a\u0422\u0420) \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 (\u043c\u0435\u0434\u044c, \u0440\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c) \u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 GAA, \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u0432 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0431\u043b\u0438\u0437\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432. \u042d\u0442\u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0438 \u0434\u044b\u0440\u043e\u043a \u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0438, \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u044f \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u044f \u0432\u043e\u0441\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u043f\u043e \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b.<\/p>\n<pre><code>  \u0421\u0445\u0435\u043c\u0430 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0435 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f (BSPDN)\u250c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2510\u2502 \u041b\u0438\u0446\u0435\u0432\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0430: \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 BEOL          \u2502\u2502 (\u041d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432 Low-k)                \u2502\u251c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2524\u2502 \u0410\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0430\u044f \u0437\u043e\u043d\u0430: \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0435 GAA-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b                \u2502 &lt;\u2500\u2500 \u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0442\u0435\u043f\u043b\u0430\u251c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2524\u2502 \u0418\u0441\u0442\u043e\u043d\u0447\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430 (5-10 \u043c\u043a\u043c)                  \u2502 &lt;\u2500\u2500 \u041f\u043e\u0442\u0435\u0440\u044f \u043b\u0430\u0442\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0442\u0435\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u0430\u251c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2524\u2502 \u0422\u044b\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0430: \u0441\u043b\u043e\u0438 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 BSPDN            \u2502\u251c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2524\u2502 \u041a\u043b\u0435\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0448\u043e\u0432 (bonding dielectric) \u0441\u043e \u0432\u0441\u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0442\u043e\u0439  \u2502 &lt;\u2500\u2500 \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0435 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u2514\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2518<\/code><div class=\"code-explainer\"><a href=\"https:\/\/sourcecraft.dev\/\" class=\"tm-button code-explainer__link\" style=\"visibility: hidden;\"><img style=\"width:14px;height:14px;object-fit:cover;object-position:left;\"\/><\/a><\/div><\/pre>\n<p>\u0412\u0442\u043e\u0440\u044b\u043c \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043e\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u0435\u0437\u043a\u043e\u0435 \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430. \u0412 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0435 \u0441 \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u044b\u043c \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c (FSPDN) \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0430 \u043c\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b (~ 700 \u043c\u043a\u043c), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e (\u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 50% \u043e\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0434\u0438). \u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0432\u0441\u043f\u043b\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432 \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 (\u043b\u0430\u0442\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0440\u0430\u0441\u0442\u0435\u043a\u0430\u043d\u0438\u0435), \u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 90% \u0442\u0435\u043f\u043b\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0443 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u043a \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0435 \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p>\u0412 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435 BSPDN \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0439 \u043c\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432 \u0443\u0434\u0430\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f. \u0410\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 GAA-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b \u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0437\u0430\u0436\u0430\u0442\u044b \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0441\u043b\u043e\u044f\u043c\u0438 \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u0442\u044b\u043b\u043e\u0432\u044b\u043c \u043f\u0430\u043a\u0435\u0442\u043e\u043c \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f. \u0412\u0441\u0435 \u044d\u0442\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0438 \u043f\u043e\u0433\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u044b \u0432 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0441 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e (ultra low-k) \u0438 \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n<p>\u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0443\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0448\u043e\u0432 (bonding dielectric), \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435\u0441\u0443\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b, \u0438\u0433\u0440\u0430\u0435\u0442 \u0440\u043e\u043b\u044c \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440\u0430. \u0412 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b. \u041f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0435 \u043d\u0430 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043d\u0443\u044e \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u0443 \u0432 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0418\u0418-\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u0430\u0445 \u0438 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f\u0445 (GPU) \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0432 \u0433\u043e\u0440\u044f\u0447\u0438\u0445 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0430\u0445 (hotspots) \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0432\u043e\u0437\u0440\u0430\u0441\u0442\u0430\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u0443 \u0434\u043e +50\u00b0C \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u0445 \u0436\u0435 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0445 \u0442\u043e\u043a\u0430\u0445.<\/p>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u043e\u0434\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0432\u044b\u043d\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u044b \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0435\u043d\u0441\u0430\u0446\u0438\u0438:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u041f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u0441\u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432 (dummy vias) \u0432 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u044f\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0443\u0442\u0435\u0439 \u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u0430 \u0442\u0435\u043f\u043b\u0430 \u043a \u043e\u0445\u043b\u0430\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044e.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043b\u0435\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u0441\u0431\u043e\u0440\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435 \u0441 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c \u043d\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u041e\u0431\u044f\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434 \u043d\u0430 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0436\u0438\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044e \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u043a\u0430\u0447\u043a\u0438 \u0445\u043b\u0430\u0434\u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<h3>\u0421\u0442\u0430\u0442\u0443\u0441 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u0434\u043e\u0440\u043e\u0436\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0430\u0440\u0442\u044b \u0432\u0435\u0434\u0443\u0449\u0438\u0445 \u0438\u0433\u0440\u043e\u043a\u043e\u0432 \u0434\u043e 2029 \u0433\u043e\u0434\u0430<\/h3>\n<p>\u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0430\u044f \u0438\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0448\u043b\u0430 \u043e\u0442 \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043a \u0444\u0430\u0437\u0435 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u0432\u0435\u0440\u0442\u044b\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f GAA \u0438 BSPDN \u0432 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u0430\u0445, \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430 \u0418\u0418-\u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438, \u0441\u0443\u043f\u0435\u0440\u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u044b \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u044b.<\/p>\n<h4>\u0414\u043e\u0440\u043e\u0436\u043d\u0430\u044f \u043a\u0430\u0440\u0442\u0430 Intel: \u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u043c 18A<\/h4>\n<p>\u0412 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u0445 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0435\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430 Intel \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043e\u0442\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u043e\u0442 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0432\u043d\u0435\u0434\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u0436\u0443\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0437\u043b\u0430 20A. \u0412\u0441\u0435 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0441\u0443\u0440\u0441\u044b \u0431\u044b\u043b\u0438 \u043e\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b \u043d\u0430 \u0434\u043e\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u0437\u043b\u0430 18A. \u041e\u0442\u043c\u0435\u043d\u0430 \u0437\u0430\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430 20A \u043d\u0430 \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u043c \u0440\u044b\u043d\u043a\u0435 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u043b\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0441\u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0442\u044c \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 500 \u043c\u043b\u043d \u043a\u0430\u043f\u0438\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442 \u0438 \u0438\u0437\u0431\u0435\u0436\u0430\u0442\u044c \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0435\u0440\u0442\u044b\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0443\u0431\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0441\u0431\u043e\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p>\u0412 \u044f\u043d\u0432\u0430\u0440\u0435 2026 \u0433\u043e\u0434\u0430 Intel \u043e\u0444\u0438\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0431\u044a\u044f\u0432\u0438\u043b\u0430 \u043e \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 18A \u0432 \u0441\u0442\u0430\u0434\u0438\u044e \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 (High-Volume Manufacturing, HVM) \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434\u0435 Fab 52 \u0432 \u0410\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0435. \u041f\u0435\u0440\u0432\u044b\u043c \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u043e\u043c \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 RibbonFET \u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f PowerVia \u0441\u0442\u0430\u043b\u043e \u0441\u0435\u043c\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 Core Ultra Series 3 (\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043d\u0430\u044f \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 Panther Lake), \u043f\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0438\u0432\u0448\u0435\u0435 \u0432 \u0433\u043b\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0438\u0442\u0435\u0439\u043b \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435 \u044f\u043d\u0432\u0430\u0440\u044f 2026 \u0433\u043e\u0434\u0430.<\/p>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0444\u0438\u043d\u0430\u043d\u0441\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0438\u0441\u043a\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0441\u0442\u0430\u0440\u0442\u043e\u0432\u043e\u043c \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0435 \u0433\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0432 \u0440\u0430\u0439\u043e\u043d\u0435 60% \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u044b Panther Lake \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u0434\u0435\u0437\u0430\u0433\u0440\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0443\u044e \u0447\u0438\u043f\u043b\u0435\u0442\u043d\u0443\u044e \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u043e\u0432\u043a\u0443: \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b (Compute Tile) \u0441 \u044f\u0434\u0440\u0430\u043c\u0438 Cougar Cove \u0438 Darkmont \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 18A, \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0447\u0438\u043f\u043b\u0435\u0442 (Xe3) \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u043b\u0435\u0440 \u0432\u0432\u043e\u0434\u0430-\u0432\u044b\u0432\u043e\u0434\u0430 (I\/O) \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u043d\u0438\u0445 \u0438\u043b\u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0437\u0440\u0435\u043b\u044b\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f\u0445.<\/p>\n<p>\u041f\u043e\u043c\u0438\u043c\u043e \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u043e\u0432, Intel \u043f\u0440\u0438\u0432\u043b\u0435\u043a\u043b\u0430 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0445 \u044f\u043a\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u043a\u0430\u0437\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432: Microsoft \u0438 Amazon \u0437\u0430\u0432\u0435\u0440\u0448\u0438\u043b\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0435\u0440\u0432\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0438 \u0418\u0418-\u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043f\u043e\u0434 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043d\u0430 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u0445 Intel 18A. \u041d\u0430 \u0438\u044e\u043d\u044c\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 VLSI Symposium 2026 Intel \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u043b\u0430 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0443\u0437\u0435\u043b 18A-P, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0441\u0442 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u043d\u0430 9% \u043f\u0440\u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u0434\u043e 0.75 \u0412 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430 50% \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430.<\/p>\n<h4>\u0414\u043e\u0440\u043e\u0436\u043d\u0430\u044f \u043a\u0430\u0440\u0442\u0430 TSMC: \u0434\u0432\u0443\u0445\u043f\u0443\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 &#171;\u0430\u043d\u0433\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u043d\u0430\u044f \u044d\u0440\u0430&#187;<\/h4>\n<p>\u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f TSMC \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043b\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 \u043a \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0440\u0438\u0441\u043a\u0438 \u0441\u0431\u043e\u0435\u0432 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0442\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432. \u0417\u0430\u043f\u0443\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432 \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0432 \u0447\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u043c \u043a\u0432\u0430\u0440\u0442\u0430\u043b\u0435 2025 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0443\u0437\u0435\u043b 2 \u043d\u043c (N2) \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b GAA, \u043d\u043e \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0445\u0435\u043c\u0443 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441 \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b. \u0421\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u0433\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 65-75% \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u043b Apple \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0437\u0430\u0440\u0435\u0437\u0435\u0440\u0432\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0437\u0430 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0432\u0438\u043d\u044b \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 N2 \u043f\u043e\u0434 \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 A20 Pro \u0438 M6 \u043d\u0430 2026 \u0433\u043e\u0434.<\/p>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u043a\u043b\u0438\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438\u0437 \u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0435\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430, \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043a \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438, TSMC \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0438\u0442 \u043d\u0430 2028 \u0433\u043e\u0434 \u0443\u0437\u0435\u043b N2U, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 DTCO \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0438\u0442 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 8-10% \u043f\u0440\u0438 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441 \u0440\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0431\u043b\u043e\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (IP) \u0443\u0437\u043b\u0430 N2P.<\/p>\n<p>\u041f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0446\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f Super Power Rail (SPR) \u0434\u0435\u0431\u044e\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0443 \u0442\u0430\u0439\u0432\u0430\u043d\u044c\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f \u043d\u0430 \u0443\u0437\u043b\u0435 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430 1.6 \u043d\u043c &#8212; A16. \u0417\u0430\u043f\u0443\u0441\u043a \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 A16 \u043d\u0430\u043c\u0435\u0447\u0435\u043d \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0435\u0446 2026 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u0441 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043e\u043c \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u0432 2027 \u0433\u043e\u0434\u0443. \u0410\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 A16 \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0435 \u0418\u0418-\u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u044b (\u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a Nvidia Feynman \u0438 AMD Instinct MI455X) \u0441\u043e \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0430\u0441\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043b\u0430\u0442 \u0434\u043e 1000 \u0412\u0442.<\/p>\n<p>\u0412 2029 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u044d\u0441\u0442\u0430\u0444\u0435\u0442\u0443 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0442 \u0443\u0437\u0435\u043b A12 (1.2 \u043d\u043c), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043e\u0431\u044a\u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0442 \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 GAA-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0441 \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u043c \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0435\u0442\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b. \u0412\u0430\u0436\u043d\u044b\u043c \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u043e\u043c \u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0435\u0433\u0438\u0438 TSMC \u0434\u043e 2029 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u043b\u043d\u044b\u0439 \u043e\u0442\u043a\u0430\u0437 \u043e\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u0438\u0445 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 (High-NA EUV) \u043d\u0430 \u0443\u0437\u043b\u0430\u0445 A16, A13 \u0438 A12, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u0442 \u0438\u0437\u0431\u0435\u0436\u0430\u0442\u044c \u0440\u0435\u0437\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d.<\/p>\n<h4>\u0414\u043e\u0440\u043e\u0436\u043d\u0430\u044f \u043a\u0430\u0440\u0442\u0430 Samsung Foundry: \u043b\u0438\u0434\u0435\u0440\u0441\u0442\u0432\u043e \u0432 \u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0444\u0435\u0440\u0435 \u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u044b\u0435 \u0418\u0418-\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h4>\n<p>\u041e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0436\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0432\u043d\u0435\u0434\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b MBCFET \u043d\u0430 \u0443\u0437\u043b\u0435 3 \u043d\u043c \u0432 2022 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u043b\u043e Samsung \u043d\u0430\u043a\u043e\u043f\u0438\u0442\u044c \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043c\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432 \u0442\u0435\u043b\u0435\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438 \u043f\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044e \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u0432. \u041d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f 2-\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 (SF2) \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u0443\u0441\u043f\u0435\u0448\u043d\u043e \u0437\u0430\u043f\u0443\u0441\u0442\u0438\u043b\u0430 \u0432 \u0441\u0435\u0440\u0438\u044e \u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0443 Exynos 2600, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u043b\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0434\u0446\u0435\u043c \u0441\u043c\u0430\u0440\u0442\u0444\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0441\u0435\u043c\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 Galaxy S26 \u0432 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0435 2026 \u0433\u043e\u0434\u0430.<\/p>\n<p>\u0412 \u0442\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 2026 \u0433\u043e\u0434\u0430 Samsung Foundry \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0435\u0440\u043d\u0443\u0442\u044c \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043d\u0430 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u0443\u0437\u043b\u0435 SF2P (\u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 2 \u043d\u043c), \u043d\u0430\u0446\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043f\u0440\u0435\u043c\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0447\u0438\u043f\u044b. \u0423\u0437\u0435\u043b SF2P \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u0433\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 70%. \u042d\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u043b\u043e Samsung \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u044c \u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0435\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 Tesla \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043d\u043e\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f AI6, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0432\u043e\u0439\u0442\u0438 \u0432 \u0444\u0438\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u0430\u0434\u0438\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0441 AMD \u0438 Qualcomm \u043e \u0440\u0435\u0437\u0435\u0440\u0432\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043a\u0432\u043e\u0442 \u043f\u043e\u0434 \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a \u0438\u0445 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0438\u0445 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0434\u0435\u0444\u0438\u0446\u0438\u0442\u0430 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434\u0430\u0445 TSMC.<\/p>\n<p>\u0412\u043d\u0435\u0434\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f (BSPDN) \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442\u0441\u044f \u0443 Samsung \u0432 2027 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u043d\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u0443\u0437\u043b\u0435 SF2Z. \u0423\u0437\u0435\u043b SF2Z \u043d\u0430\u0446\u0435\u043b\u0435\u043d \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u0418\u0418-\u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0438 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a\u043b\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c \u0432 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b Samsung AI Solutions. \u041f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430 \u043e\u0431\u044a\u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0442 \u0432 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u0445 \u0435\u0434\u0438\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0446\u0438\u043a\u043b\u0430 (turnkey strategy) \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 SF2Z, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 HBM, \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441\u043e\u0432 Co-Packaged Optics (CPO) \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0443\u044e 3D-\u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0443 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u0445. \u0414\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0430\u043d\u044b Samsung \u043f\u0440\u0435\u0434\u0443\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a \u0443\u0437\u043b\u0430 1.4 \u043d\u043c (SF1.4) \u0432 2029 \u0433\u043e\u0434\u0443.<\/p>\n<details class=\"spoiler\">\n<summary>\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438<\/summary>\n<div class=\"spoiler__content\">\n<ol>\n<li>\n<p>Evaluating Gate-All-Around Impact on Leakage Current Reduction &#8212; PatSnap Eureka, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/eureka.patsnap.com\/report-evaluating-gate-all-around-impact-on-leakage-current-reduction\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/eureka.patsnap.com\/report-evaluating-gate-all-around-impact-on-leakage-current-reduction<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>(PDF) FinFET Technology : Design,Advantages,Challenges and Applications, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.researchgate.net\/publication\/403968238_FinFET_Technology_DesignAdvantagesChallenges_and_Applications\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.researchgate.net\/publication\/403968238_FinFET_Technology_DesignAdvantagesChallenges_and_Applications<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>The Nanosheet Revolution: Why GAAFET at 2nm is the New &#8230;, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/markets.financialcontent.com\/wral\/article\/tokenring-2026-1-13-the-nanosheet-revolution-why-gaafet-at-2nm-is-the-new-thermal-wall-solution-for-ai\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/markets.financialcontent.com\/wral\/article\/tokenring-2026-1-13-the-nanosheet-revolution-why-gaafet-at-2nm-is-the-new-thermal-wall-solution-for-ai<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Nanoscale SCE: Electrostatic Challenges and FinFET\/GAA Mitigation Solutions &#8212; Industry Articles &#8212; All About Circuits, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.allaboutcircuits.com\/industry-articles\/nanoscale-sce-electrostatic-challenges-and-finfet-gaa-mitigation-solutions\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.allaboutcircuits.com\/industry-articles\/nanoscale-sce-electrostatic-challenges-and-finfet-gaa-mitigation-solutions\/<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Two-Dimensional Materials, the Ultimate Solution for Future Electronics and Very-Large-Scale Integrated Circuits &#8212; PMC, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/pmc.ncbi.nlm.nih.gov\/articles\/PMC12075087\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/pmc.ncbi.nlm.nih.gov\/articles\/PMC12075087\/<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Samsung vs TSMC: 5nm to 2nm process roadmap showdown &#8212; PatSnap, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.patsnap.com\/resources\/blog\/articles\/samsung-vs-tsmc-5nm-to-2nm-process-roadmap-showdown\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.patsnap.com\/resources\/blog\/articles\/samsung-vs-tsmc-5nm-to-2nm-process-roadmap-showdown\/<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>TSMC&#8217;s 2nm chips: The results are out. &#8212; SemiWiki, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/semiwiki.com\/forum\/threads\/tsmcs-2nm-chips-the-results-are-out.24329\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/semiwiki.com\/forum\/threads\/tsmcs-2nm-chips-the-results-are-out.24329\/<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Intel RibbonFET vs TSMC GAA at 2nm: patent analysis | PatSnap, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.patsnap.com\/resources\/blog\/articles\/intel-ribbonfet-vs-tsmc-gaa-at-2nm-patent-analysis\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.patsnap.com\/resources\/blog\/articles\/intel-ribbonfet-vs-tsmc-gaa-at-2nm-patent-analysis\/<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Backside power delivery | imec, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.imec-int.com\/en\/articles\/how-power-chips-backside\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.imec-int.com\/en\/articles\/how-power-chips-backside<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>The 2nm Defection: AMD Officially Shifts Next-Gen Orders to Samsung &#8212; Tech Bytes, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/techbytes.app\/posts\/amd-shifts-2nm-orders-to-samsung-foundry\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/techbytes.app\/posts\/amd-shifts-2nm-orders-to-samsung-foundry\/<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Samsung&#8217;s SF2 Gamble: 2nm Exynos 2600 Challenges TSMC&#8217;s Dominance, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/markets.financialcontent.com\/wral\/article\/tokenring-2026-1-7-samsungs-sf2-gamble-2nm-exynos-2600-challenges-tsmcs-dominance\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/markets.financialcontent.com\/wral\/article\/tokenring-2026-1-7-samsungs-sf2-gamble-2nm-exynos-2600-challenges-tsmcs-dominance<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Samsung Hits 70% Yield on 2nm GAA (SF2P): A Turning Point for the AI Chip Supply Chain, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/markets.chroniclejournal.com\/chroniclejournal\/article\/tokenring-2026-1-30-samsung-hits-70-yield-on-2nm-gaa-sf2p-a-turning-point-for-the-ai-chip-supply-chain\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/markets.chroniclejournal.com\/chroniclejournal\/article\/tokenring-2026-1-30-samsung-hits-70-yield-on-2nm-gaa-sf2p-a-turning-point-for-the-ai-chip-supply-chain<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Backside power delivery &#8212; Wikipedia, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/en.wikipedia.org\/wiki\/Backside_power_delivery\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/en.wikipedia.org\/wiki\/Backside_power_delivery<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Backside Power Delivery Creates Fab Tool, Thermal Dissipation Barriers, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/semiengineering.com\/backside-power-delivery-creates-fab-tool-thermal-dissipation-barriers\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/semiengineering.com\/backside-power-delivery-creates-fab-tool-thermal-dissipation-barriers\/<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Backside Power | Applied Materials, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.appliedmaterials.com\/us\/en\/semiconductor\/markets-and-inflections\/advanced-logic\/backside-power.html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.appliedmaterials.com\/us\/en\/semiconductor\/markets-and-inflections\/advanced-logic\/backside-power.html<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>The Silent Revolution: How Backside Power Delivery is Shattering the AI Performance Wall, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/markets.financialcontent.com\/stocks\/article\/tokenring-2026-1-14-the-silent-revolution-how-backside-power-delivery-is-shattering-the-ai-performance-wall\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/markets.financialcontent.com\/stocks\/article\/tokenring-2026-1-14-the-silent-revolution-how-backside-power-delivery-is-shattering-the-ai-performance-wall<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Intel 18A Process Node Platform Brief, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.intel.com\/content\/dam\/www\/central-libraries\/us\/en\/documents\/2025-03\/foundry-18a-platform-brief.pdf\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.intel.com\/content\/dam\/www\/central-libraries\/us\/en\/documents\/2025-03\/foundry-18a-platform-brief.pdf<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Back side power delivery: Revolutionizing chip design, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/ijsra.net\/sites\/default\/files\/fulltext_pdf\/IJSRA-2025-0113.pdf\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/ijsra.net\/sites\/default\/files\/fulltext_pdf\/IJSRA-2025-0113.pdf<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>DTCO study of backside power delivery options | imec, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.imec-int.com\/en\/articles\/backside-power-delivery-options-dtco-study\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.imec-int.com\/en\/articles\/backside-power-delivery-options-dtco-study<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>TSMC&#8217;s A16 Roadmap: The Angstrom Era and the Breakthrough of Super Power Rail Technology &#8212; Financial Content, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/markets.financialcontent.com\/stocks\/article\/tokenring-2025-12-31-tsmcs-a16-roadmap-the-angstrom-era-and-the-breakthrough-of-super-power-rail-technology\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/markets.financialcontent.com\/stocks\/article\/tokenring-2025-12-31-tsmcs-a16-roadmap-the-angstrom-era-and-the-breakthrough-of-super-power-rail-technology<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Technical Highlights from the 2026 Symposium on VLSI Technology and Circuits, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.vlsisymposium.org\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/2026-VLSI-Technical-Tipsheet-REVISED-FINAL-4.25.26-1-1.pdf\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.vlsisymposium.org\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/2026-VLSI-Technical-Tipsheet-REVISED-FINAL-4.25.26-1-1.pdf<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>The Other Side of the Wafer: Transistor Channel Stress in Backside Power Delivery Networks &#8212; Lam Research Newsroom, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/newsroom.lamresearch.com\/transistor-channel-stress-backside-power-delivery-networks?blog=true\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/newsroom.lamresearch.com\/transistor-channel-stress-backside-power-delivery-networks?blog=true<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>How are the benefits of BSPD affected by 3D stacking? &#8212; SemiWiki, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/semiwiki.com\/forum\/threads\/how-are-the-benefits-of-bspd-affected-by-3d-stacking.23416\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/semiwiki.com\/forum\/threads\/how-are-the-benefits-of-bspd-affected-by-3d-stacking.23416\/<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Thermal Mitigation for Power Delivery Network | PDF | Fluid Dynamics &#8212; Scribd, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.scribd.com\/document\/946244198\/Thermal-Mitigation-Strategy-for-Backside-Power-Delivery-Network\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.scribd.com\/document\/946244198\/Thermal-Mitigation-Strategy-for-Backside-Power-Delivery-Network<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Advanced Nodes Shipments to Capture 60% Share in 2026 as 3nm Leads, 2nm Adoption Rises &#8212; Counterpoint Research, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/counterpointresearch.com\/en\/insights\/advanced-nodes-shipment-to-capture-60-percent-in-2026\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/counterpointresearch.com\/en\/insights\/advanced-nodes-shipment-to-capture-60-percent-in-2026<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Intel announces cancellation of 20A process node for Arrow Lake, goes with external nodes instead, likely TSMC [Updated] | Tom&#8217;s Hardware, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.tomshardware.com\/pc-components\/cpus\/intel-announces-cancellation-of-20a-process-node-for-arrow-lake-goes-with-external-nodes-instead-likely-tsmc\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.tomshardware.com\/pc-components\/cpus\/intel-announces-cancellation-of-20a-process-node-for-arrow-lake-goes-with-external-nodes-instead-likely-tsmc<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Intel goes from bad to worse, giving up on 20A for Arrow Lake &#8212; XDA Developers, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.xda-developers.com\/intel-just-gave-up-on-20a-for-arrow-lake\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.xda-developers.com\/intel-just-gave-up-on-20a-for-arrow-lake\/<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Intel Cancels 20A Manufacturing Process to Focus on 18A &#8212; <a href=\"http:\/\/Thurrott.com\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">Thurrott.com<\/a>, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.thurrott.com\/hardware\/308407\/intel-cancels-20a-manufacturing-process-to-focus-on-18a\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.thurrott.com\/hardware\/308407\/intel-cancels-20a-manufacturing-process-to-focus-on-18a<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Intel 20A Dead &#8212; Arrow Lake Now on TSMC &#8212; Linus Tech Tips, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/linustechtips.com\/topic\/1581783-intel-20a-dead-arrow-lake-now-on-tsmc\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/linustechtips.com\/topic\/1581783-intel-20a-dead-arrow-lake-now-on-tsmc\/<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Intel&#8217;s 18A Era: Reclaiming Silicon Supremacy as Panther Lake Enters High-Volume Manufacturing &#8212; FinancialContent &#8212; Stock Market, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/markets.financialcontent.com\/wral\/article\/tokenring-2026-1-28-intels-18a-era-reclaiming-silicon-supremacy-as-panther-lake-enters-high-volume-manufacturing\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/markets.financialcontent.com\/wral\/article\/tokenring-2026-1-28-intels-18a-era-reclaiming-silicon-supremacy-as-panther-lake-enters-high-volume-manufacturing<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Intel Hits 18A Mass Production: Panther Lake Leads the Charge into the 1.4nm Era, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/markets.chroniclejournal.com\/chroniclejournal\/article\/tokenring-2026-1-21-intel-hits-18a-mass-production-panther-lake-leads-the-charge-into-the-14nm-era\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/markets.chroniclejournal.com\/chroniclejournal\/article\/tokenring-2026-1-21-intel-hits-18a-mass-production-panther-lake-leads-the-charge-into-the-14nm-era<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Can Intel&#8217;s 18A Processors Produce in Time to (Finally) Capitalize on Being First?, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/hyperframeresearch.com\/2026\/01\/21\/can-intels-18a-processors-produce-in-time-to-finally-capitalize-on-being-first\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/hyperframeresearch.com\/2026\/01\/21\/can-intels-18a-processors-produce-in-time-to-finally-capitalize-on-being-first\/<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>VLSI 2026 Preview TSMC A16\/ Intel 18AP &#8212; SemiWiki, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/semiwiki.com\/forum\/threads\/vlsi-2026-preview-tsmc-a16-intel-18ap.25020\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/semiwiki.com\/forum\/threads\/vlsi-2026-preview-tsmc-a16-intel-18ap.25020\/<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>TSMC unveils process technology roadmap through 2029 \u2014 A12 &#8230;, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.tomshardware.com\/tech-industry\/semiconductors\/tsmc-unveils-process-technology-roadmap-through-2029-a12-a13-n2u-announced-a16-slips-to-2027\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.tomshardware.com\/tech-industry\/semiconductors\/tsmc-unveils-process-technology-roadmap-through-2029-a12-a13-n2u-announced-a16-slips-to-2027<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>A16 Technology &#8212; Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.tsmc.com\/english\/dedicatedFoundry\/technology\/logic\/l_A16\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.tsmc.com\/english\/dedicatedFoundry\/technology\/logic\/l_A16<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>TSMC: 1.6nm Process Is on Track for 2026 &#8212; ExtremeTech, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.extremetech.com\/computing\/tsmcs-16nm-process-remains-on-track-for-2026\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.extremetech.com\/computing\/tsmcs-16nm-process-remains-on-track-for-2026<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>[News] TSMC Latest Roadmap: A12, A13 for 2029 Without High-NA EUV; A16 Volume Production Delayed to 2027 &#8212; TrendForce, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.trendforce.com\/news\/2026\/04\/23\/news-tsmc-unveils-latest-roadmap-a12-a13-set-for-2029-without-high-na-euv-a16-volume-production-delayed-to-2027\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.trendforce.com\/news\/2026\/04\/23\/news-tsmc-unveils-latest-roadmap-a12-a13-set-for-2029-without-high-na-euv-a16-volume-production-delayed-to-2027\/<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>TSMC&#8217;s A16 &#8216;1.6nm&#8217; Node Promises 10% Speed Boost or 20% Power Cut Over 2nm, With Backside Power Hitting Production by Q4 2026 &#8212; Wccftech, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/wccftech.com\/tsmc-a16-node-promises-speed-boost-power-cut-over-2nm-backside-power-production-q4-2026\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/wccftech.com\/tsmc-a16-node-promises-speed-boost-power-cut-over-2nm-backside-power-production-q4-2026\/<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Samsung says it will start making second-generation 2nm chips this year &#8212; SamMobile, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.sammobile.com\/news\/samsung-start-making-second-generation-2nm-chips-2026\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.sammobile.com\/news\/samsung-start-making-second-generation-2nm-chips-2026\/<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Samsung Foundry announces new SF2Z node with backside power delivery, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.notebookcheck.net\/Samsung-Foundry-announces-new-SF2Z-node-with-backside-power-delivery.847356.0.html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.notebookcheck.net\/Samsung-Foundry-announces-new-SF2Z-node-with-backside-power-delivery.847356.0.html<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Samsung Showcases AI-Era Vision and Latest Foundry Technologies at SFF 2024, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/news.samsung.com\/global\/samsung-showcases-ai-era-vision-and-latest-foundry-technologies-at-sff-2024\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/news.samsung.com\/global\/samsung-showcases-ai-era-vision-and-latest-foundry-technologies-at-sff-2024<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Samsung Electronics announces that its first backside power supply process node SF2Z will be launched in 2027 &#8212; EEWORLD, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/en.eeworld.com.cn\/news\/manufacture\/eic670269.html\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/en.eeworld.com.cn\/news\/manufacture\/eic670269.html<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Samsung Unveils Turnkey Foundry Service Advanced Nodes for AI Chips &#8212; <a href=\"http:\/\/AiNews.com\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">AiNews.com<\/a>, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.ainews.com\/p\/samsung-unveils-turnkey-foundry-service-advanced-nodes-for-ai-chips\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.ainews.com\/p\/samsung-unveils-turnkey-foundry-service-advanced-nodes-for-ai-chips<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>[News] Samsung Foundry Reportedly Expects 30%+ 2nm Order Growth in 2026; 1.4nm Set for 2029 &#8212; TrendForce, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.trendforce.com\/news\/2026\/01\/29\/news-samsung-foundry-reportedly-expects-30-2nm-order-growth-in-2026-1-4nm-set-for-2029\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.trendforce.com\/news\/2026\/01\/29\/news-samsung-foundry-reportedly-expects-30-2nm-order-growth-in-2026-1-4nm-set-for-2029\/<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Samsung Foundry targets CPO-integrated AI silicon by 2027 &#8212; Converge Digest, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/convergedigest.com\/samsung-targets-cpo-integrated-ai-silicon-by-2027\/\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/convergedigest.com\/samsung-targets-cpo-integrated-ai-silicon-by-2027\/<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>Samsung: 1.4nm by 2027, One-Stop AI Solutions! &#8212; SmBom, accessed May 28, 2026, <a href=\"https:\/\/www.smbom.com\/news\/13721\" rel=\"noopener noreferrer nofollow\">https:\/\/www.smbom.com\/news\/13721<\/a><\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<\/div>\n<\/details>\n<p>\u041d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043e \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0418\u0418<\/p>\n<\/div>\n<p>\u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0440\u0438\u0433\u0438\u043d\u0430\u043b \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438 <a href=\"https:\/\/habr.com\/ru\/articles\/1041558\/\">https:\/\/habr.com\/ru\/articles\/1041558\/<\/a><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>\u0424\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 FinFET \u043d\u0430 \u0441\u0443\u0431-3-\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0440\u0443\u0431\u0435\u0436\u0430\u0445\u041d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0442\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0447\u0435\u043c \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u0438\u043b\u0435\u0442\u0438\u044f \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0441 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u043c (Fin Field-Effect Transistor, FinFET) \u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u043b\u0430 \u0433\u043b\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438.  \u0412\u043d\u0435\u0434\u0440\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043d\u0430 \u0443\u0437\u043b\u0435 22 \u043d\u043c \u0432 2011 \u0433\u043e\u0434\u0443, \u043e\u043d\u0430 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u043b\u0430 \u043f\u0440\u0435\u043e\u0434\u043e\u043b\u0435\u0442\u044c \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0435\u0445\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u043d\u0435\u0433\u043e \u043e\u0445\u0432\u0430\u0442\u0430 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u043c. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u043d\u0438\u0436\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b 3 \u043d\u043c \u0432\u044b\u044f\u0432\u0438\u043b\u043e \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438 FinFET.\u041f\u0440\u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u044f\u0442\u0441\u044f \u0441\u043b\u0438\u0448\u043a\u043e\u043c \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c\u0438. \u042d\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u0435 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u043d\u0430\u0434 \u043d\u0438\u0436\u043d\u0435\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c\u044e \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430, \u043f\u0440\u0438\u043b\u0435\u0433\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043a \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435. \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0435 \u0441\u0442\u043e\u043a\u0430 \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430\u0442\u044c \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e \u0432 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b, \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u044f \u043d\u0435\u0436\u0435\u043b\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u0430, \u0438\u043d\u0434\u0443\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c (Drain-Induced Barrier Lowering, DIBL). \u0421\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u043d\u043e\u0432\u0435\u043d\u0438\u0435 &#171;\u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u043a\u043e\u043b\u0430&#187; (punch-through) &#8212; \u043f\u0430\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0443\u0442\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0435\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043a\u0430 \u0432 \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0434 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u043c, \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0447\u0435\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440 \u043d\u0435\u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u044c.\u0414\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0434\u0435\u0433\u0440\u0430\u0434\u0430\u0446\u0438\u044e \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u043e-\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0442\u0443\u043d\u043d\u0435\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0438 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 1.5 \u043d\u043c \u0438 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u0442\u043e\u043a\u043e\u0432 \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0438 \u0441\u0442\u043e\u043a\u0430, \u0438\u043d\u0434\u0443\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u043c (Gate-Induced Drain Leakage, GIDL). \u041f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u043e\u0434\u043f\u043e\u0440\u043e\u0436\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043a\u043b\u043e\u043d\u0430 (Subthreshold Swing, SS), \u043e\u043f\u0438\u0441\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 &#171;\u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u043e&#187; \u0438 &#171;\u0432\u044b\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u043e&#187;, \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 60-70 \u043c\u0412\/\u0434\u0435\u043a\u0430\u0434\u0443 \u0434\u043e \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 80-100 \u043c\u0412\/\u0434\u0435\u043a\u0430\u0434\u0443. \u0412 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0435\u0442 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e, \u0430 \u043d\u0435\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442, \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u044f \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u043e\u0434\u043e\u043b\u0438\u043c\u044b\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440.\u0414\u043b\u044f \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043d\u0430\u0434 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430 \u043d\u0430 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u0432\u0435\u0434\u0443\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0448\u043b\u0438 \u043a \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 (Gate-All-Around, GAA). \u041a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043f\u0446\u0438\u044f GAAFET \u0431\u0430\u0437\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0449\u0435\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0435\u0434\u0438\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u043e\u043f\u043a\u0443 \u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 (nanosheets) \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0435\u043d\u0442 (nanoribbons), \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043e\u043a\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u043c \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u043c\u0443 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440\u0443 \u043d\u0430 360\u00b0. \u042d\u0442\u043e \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442 \u043f\u0430\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0443\u0442\u0438 \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0438 \u0432 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0443 \u0438 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b.\u0418\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u043e\u043f\u043a\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f () \u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439-\u0433\u0435\u0440\u043c\u0430\u043d\u0438\u044f () \u0441 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432  \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432. \u041d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0437\u043b\u0430\u0445 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f -\u043a- \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0442\u044c \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 , \u0447\u0442\u043e \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0442\u043e\u043d\u0447\u0430\u0439\u0448\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432. \u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0434\u043b\u044f \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0430\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0435\u043c\u043a\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u043c \u0438 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044f\u043c\u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u043a\u0430-\u0441\u0442\u043e\u043a\u0430 \u0432\u043d\u0435\u0434\u0440\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0441\u0438\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438 (low-k inner spacers).\u041f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f GAA-\u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440: MBCFET, RibbonFET \u0438 \u0433\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b\u0412\u0435\u0434\u0443\u0449\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u044b \u043a \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 GAA-\u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440, \u0431\u0430\u043b\u0430\u043d\u0441\u0438\u0440\u0443\u044f \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0440\u0438\u0441\u043a\u043e\u043c \u0438 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f MBCFET (Samsung Electronics)Samsung Electronics \u0441\u0442\u0430\u043b\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u043c \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c, \u0432\u043d\u0435\u0434\u0440\u0438\u0432\u0448\u0438\u043c GAA \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0443\u0437\u043b\u0435 3 \u043d\u043c \u0432 \u0438\u044e\u043d\u0435 2022 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u043f\u043e\u0434 \u043c\u0430\u0440\u043a\u043e\u0439 MBCFET (Multi-Bridge-Channel FET). \u0410\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 MBCFET \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u044b, \u0447\u0442\u043e \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044c \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u0441 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u043c. \u041f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 7-\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u044b\u043c \u0443\u0437\u043b\u043e\u043c FinFET \u043f\u0435\u0440\u0432\u0430\u044f \u0438\u0442\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f MBCFET \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u043b\u0430 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u043d\u0430 45%, \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430  \u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430 35%. \u041d\u0430\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043e\u043f\u044b\u0442 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u043b Samsung \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u0438 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044e \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0443\u0437\u043b\u0435 2 \u043d\u043c (SF2), \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432\u044b\u0438\u0433\u0440\u044b\u0448 \u0432 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f RibbonFET (Intel)\u0412\u043d\u0435\u0434\u0440\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043d\u0430 \u0443\u0437\u043b\u0435 Intel 18A \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 RibbonFET \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u0441\u0442\u043e\u043f\u043a\u0443 \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0435\u043d\u0442, \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u0430 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0432 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u043c \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u0435 (EUV) \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13.5 \u043d\u043c. Intel \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0443\u0435\u0442 \u0441\u0438\u043c\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0443\u044e \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044e \u043a\u0430\u043a \u0434\u043b\u044f NMOS, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0434\u043b\u044f PMOS \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u0430 \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b (CFET), \u0433\u0434\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b \u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0449\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0434\u0440\u0443\u0433 \u043d\u0430\u0434 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u043c. \u0414\u043b\u044f \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u044f\u0447\u0435\u0435\u043a SRAM Intel \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u0443\u044e \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044f\u0446\u0438\u044e \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u044b \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0435\u043d\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u043e \u0432\u0441\u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0446\u0435\u043f\u044f\u0445 \u043a\u043e\u0440\u0440\u0435\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f (read-assist).\u0413\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u0430\u044f \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 N2 (TSMC)\u0412 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043e\u0442 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f TSMC \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043b\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0435\u0440\u0432\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u0443\u044e \u0433\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0435\u0433\u0438\u044e \u0434\u043b\u044f \u0441\u0432\u043e\u0435\u0433\u043e \u0441\u0442\u0430\u0440\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e 2-\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0443\u0437\u043b\u0430 N2 \u0441 \u0446\u0435\u043b\u044c\u044e \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0438\u0441\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430 \u0433\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432. \u0412 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0431\u043b\u043e\u043a\u0430\u0445 \u0438 \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0430\u0445 \u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 (SRAM) \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b GAA \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e.\u0412 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u0439 \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0435 6T-SRAM \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u044b GAA \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432 NMOS-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445 (\u0441\u0442\u0440\u043e\u0431\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0438 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445, \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445 4 \u0438\u0437 6 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0438), \u0432 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a PMOS-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u044e\u0442 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044e FinFET. \u041c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u0430 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0441\u0443\u043c\u043c\u043e\u0439 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u044b \u043f\u043b\u0430\u0432\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0438 \u043c\u0435\u0436\u043f\u043b\u0430\u0432\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u0448\u0430\u0433\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u042d\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0443\u0441\u0442\u043e\u044f\u0432\u0448\u0443\u044e\u0441\u044f \u043a\u043e\u043e\u0440\u0434\u0438\u043d\u0430\u0442\u043d\u0443\u044e \u0441\u0435\u0442\u043a\u0443 FinFET \u0431\u0435\u0437 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0438 \u0431\u0438\u0431\u043b\u0438\u043e\u0442\u0435\u043a \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440Intel RibbonFET (18A) TSMC N2 (GAA) Samsung MBCFET (SF2) \u0413\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430\u041d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0435\u043d\u0442\u044b \u0441 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u044b \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 EUV (13.5 \u043d\u043c).\u041d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u044b \u0441 \u0444\u0438\u043a\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u043e\u0439, \u043f\u0440\u0438\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a \u0448\u0430\u0433\u0443 FinFET.\u0428\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u044b (\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438) \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u044b.\u0420\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f PMOSGAA-\u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0435\u043d\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0432\u0441\u0435\u0445 \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043b\u043e\u0433\u0438\u043a\u0438.\u0422\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f FinFET \u0434\u043b\u044f PMOS \u0432 \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0430\u0445 SRAM.\u041f\u043e\u043b\u043d\u0430\u044f GAA-\u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f NMOS \u0438 PMOS.\u0410\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 SRAM\u041f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 3D-\u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0438.\u041f\u043b\u043e\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0441 \u0437\u0430\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432 NMOS-\u0440\u0435\u0433\u0438\u043e\u043d\u0430\u0445.\u041f\u043b\u043e\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0441 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438.\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0438\u043b\u044b \u0442\u043e\u043a\u0430\u041f\u043b\u0430\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u044b \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0435\u043d\u0442.\u0414\u0438\u0441\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0432 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0441\u0442\u0435\u043a\u0435.\u0418\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u044b \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432.\u0418\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f CFET \u0432 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u0430\u0445\u041f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b \u043d\u0430 3D-\u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u044b \u0438 3T eDRAM \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0438 \u0441\u043e \u0441\u0442\u0435\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c (2024).\u041e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0432 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u0430\u0445 \u0443\u0437\u043b\u0430 N2 (\u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0438\u0435 Angstrom-\u0441\u0435\u043c\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430).\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f\u044b 3D-\u0441\u0442\u0435\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 (3DSFET).\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f (BSPDN) \u043a\u0430\u043a \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b &#171;\u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0443\u043f\u0438\u043a\u0430&#187;\u0418\u0441\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0430 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u044f\u043b\u0438\u0441\u044c \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441 \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b. \u0421 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u043c \u0438\u0445 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u044d\u0442\u0430 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u043b\u0430 \u043a \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u0443\u0437\u043a\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u0441\u0442\u0430 \u0432 \u0441\u043b\u043e\u044f\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 BEOL (Back-End-of-Line). \u0421\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 \u0432\u044b\u043d\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u044b \u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u044c \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e \u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432.\u041f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0442\u043e\u043a \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u043f\u0440\u043e\u0439\u0442\u0438 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0443 \u0432\u043d\u0438\u0437 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 15 \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441\u043e \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c, \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f (IR-drop), \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 7-10% \u043e\u0442 \u043d\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u043b\u0430. \u042d\u0442\u043e \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0430\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.\u0421\u0435\u0442\u044c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f (Backside Power Delivery Network, BSPDN) \u0440\u0430\u0434\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0435\u0448\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0442\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0443 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0446\u0435\u043f\u0435\u0439 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438. \u0412\u0441\u0435 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0448\u0438\u043d\u044b \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u0443\u044e (\u0442\u044b\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e) \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430, \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044f \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u0443\u044e \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0443 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f.\u0422\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 (FSPDN)             \u041e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0430 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f (BSPDN)\u250c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2510                \u250c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2510\u2502     \u0412\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 BEOL     \u2502                \u2502 \u0421\u043b\u043e\u0438 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 BEOL      \u2502\u2502 (\u0421\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044b + \u0428\u0438\u043d\u044b \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f)  \u2502                \u2502    (\u0422\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044b)       \u2502\u251c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2524                \u251c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2524\u2502 \u0410\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432\u2502                \u2502 \u0410\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432\u2502\u251c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2524                \u251c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2524\u2502    \u041a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430    \u2502                \u2502 \u0423\u0442\u043e\u043d\u0447\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430 + nTSV\u2502\u2514\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2518                \u251c\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2524                                             \u2502 \u0421\u043b\u043e\u0438 \u0442\u044b\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 PDN  \u2502                                             \u2502    (\u0422\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u0435)       \u2502                                             \u2514\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2518\u041f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0435\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0443 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0440\u044f\u0434 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432:\u0421\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e &lt;1%: \u0421\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0435 \u043d\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u044b \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u043c\u0438 \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0434\u0435\u043b\u0430\u0442\u044c \u0438\u0445 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0448\u0438\u0440\u0435, \u0442\u043e\u043b\u0449\u0435 \u0438 \u0441 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u043c \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.\u0423\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044f\u0447\u0435\u0435\u043a \u043d\u0430 15-30%: \u0423\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0446\u0435\u043f\u0435\u0439 \u0438 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0441 \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0442\u044c \u0448\u0430\u0433 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 \u044f\u0447\u0435\u0435\u043a \u0438 \u0434\u043e\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e 90% \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435.\u041f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u043d\u0430 4-6%: \u0417\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0430\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u0432\u043e\u0434\u043e\u043a \u043e\u0442 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0435\u043c\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044b \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u0435\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u043e\u043c \u0436\u0435 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u044b \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 BSPDN\u0412 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441\u043e\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u044b\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0435\u0442\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435\u043c \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0432\u044b\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0434\u0432\u0430 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430:\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432 (nTSV): \u042d\u0442\u043e\u0442 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u043b\u0435\u0436\u0438\u0442 \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 PowerVia \u043e\u0442 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 Intel. \u041d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043c \u044d\u0442\u0430\u043f\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b. \u0417\u0430\u0442\u0435\u043c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0432\u043e\u0440\u0430\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0435\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a \u043d\u0435\u0441\u0443\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435 \u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u043d\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441 \u0442\u044b\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b. \u041f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0441 \u0442\u044b\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043f\u0440\u043e\u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0437\u043a\u0438\u0435 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c 100-500 \u043d\u043c \u0438 \u0433\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043e 1-2 \u043c\u043a\u043c (nTSV), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043c (\u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u043e\u043c \u0438\u043b\u0438&#8230;<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[],"tags":[],"class_list":["post-481703","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/481703","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=481703"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/481703\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=481703"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=481703"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/savepearlharbor.com\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=481703"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}